講演抄録/キーワード |
講演名 |
2011-02-07 13:50
スピンコートおよび高周波スパッタリングで成膜した有機薄膜を応用したQCMによる活性酸素モニタリング ○松本裕之・吉野 潔・岩崎達行・木下 忍(岩崎電気)・野田和俊(産総研)・荒井 航・岩森 暁(東海大) OME2010-70 エレソ技報アーカイブへのリンク:OME2010-70 |
抄録 |
(和) |
ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)スピンコート膜およびPTFEをターゲット材として高周波スパッタリング法で水晶基板上に成膜したフッ素系有機薄膜をQCMセンサとして用い,低圧水銀ランプ下で生成する活性酸素をモニターし,各センサ検出感度の評価を行った.その結果,両者間で質量減少挙動,すなわち,活性酸素およびUV光曝露による有機薄膜のエッチング特性に大きな差異があることがわかった.各有機薄膜について, FT-IRによる分子構造の解析を行い,フッ素系有機薄膜のエッチング挙動の差異理由について検討を行った. |
(英) |
To investigate potential as an active oxygen monitor, fluorocarbon polymers prepared by a spin coating and RF sputtering with PTFE target on the quartz crystal substrate were evaluated as the QCM sensor. Active oxygen generated under the low pressure mercury lamp was monitored by each sensor, and its detection sensitivities were estimated. As a result, it was confirmed that there is great difference for mass loss of organic thin film, e.g., film etching characteristic between them. In this study, to clarify molecular structures of these organic thin films, FT-IR analyses were also performed. |
キーワード |
(和) |
活性酸素 / 水晶微小天秤(QCM) / 有機薄膜 / スピンコート / 高周波スパッタリング / / / |
(英) |
active oxygen / quartz crystal microbalance(QCM) / organic thin film / spin coating / RF sputtering / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 110, no. 409, OME2010-70, pp. 11-14, 2011年2月. |
資料番号 |
OME2010-70 |
発行日 |
2011-01-31 (OME) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
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