講演抄録/キーワード |
講演名 |
2011-01-28 13:35
Al2S3:MnとCuを蒸着源に用い多源蒸着法により作製したCuAlS2:Mn赤色蛍光体薄膜の発光特性の改善 ○小柴貴裕・中村祐介・宮本快暢・大観光徳(鳥取大) EID2010-27 エレソ技報アーカイブへのリンク:EID2010-27 |
抄録 |
(和) |
CuとAl2S3:Mnを用いた2源電子線蒸着とH2S供給を組み合わせた多源蒸着法によりCuAlS2:Mn赤色蛍光体薄膜を作製した。作製した薄膜の元素組成、結晶学的特性、フォトルミネッセンス(PL)特性を評価した。十分なH2Sを供給したにも関わらず薄膜中の硫黄組成は非常に少なく、H2S供給の場合では薄膜内に有効に硫黄が取り込まれないことが推察された。そこで不足分の硫黄を補うためAl2S3:Mn蒸着源に硫黄粉末を加えて成膜したところ、作製した薄膜からCuAlS2 (1 1 2)面によるX線回折ピーク、CuAlS2:Mn特有の赤橙色PL発光、さらにCuAlS2のバンド端吸収によるPL励起スペクトルが得られた。 |
(英) |
CuAlS2:Mn red phosphor thin films have been prepared by multi-source deposition method by combining two electron-beam-guns evaporation using Cu metal and Al2S3:Mn source pellets and H2S supply. It has been found that the compositional ratio of sulfur is very little even for the thin films prepared with enough much H2S supply. The fact implies that sulfur is not efficiently incorporated into thin films during the deposition. To compensate the lack of sulfur, Al2S3:Mn pellets mixed with additional sulfur have been used as a evaporation source. The prepared thin films show a X-ray diffraction peak due to the CuAlS2 (112) plane. The films also show a reddish-orange photoluminescence (PL) due to CuAlS2:Mn, and a PL excitation spectra originating from the band-edge absorption of CuAlS2. |
キーワード |
(和) |
CuAlS2:Mn薄膜 / 多源蒸着法 / 赤色蛍光体 / PL / EDX / / / |
(英) |
CuAlS2:Mn thin film / multi source deposition / red phosphor / PL / EDX / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 110, no. 404, EID2010-27, pp. 21-24, 2011年1月. |
資料番号 |
EID2010-27 |
発行日 |
2011-01-21 (EID) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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