講演抄録/キーワード |
講演名 |
2011-01-21 14:15
超音波マイクロスペクトロスコピー技術による合成石英ガラスインゴットの均質性評価 櫛引淳一・○荒川元孝・大橋雄二・丸山由子(東北大)・堀越秀春・森山賢二(東ソー・エスジーエム) US2010-108 |
抄録 |
(和) |
超音波マイクロスペクトロスコピー技術を直接合成法により作製された合成石英(SiO2)ガラスインゴットの均質性評価に適用した。このインゴットの中心軸近傍から用意した試料に対して、900-1150℃の温度で熱処理を行った。これらの試料に対して、縦波音速、LSAW速度、密度を測定することにより音響特性と仮想温度の間の関係を求めた。次に、インゴットの均質性を調べるために、インゴットの径方向に縦波音速とLSAW速度の分布を測定した。赤外分光分析法によりOH濃度と仮想温度、また複屈折の測定を行った。それらの結果、縦波音速によりガラスインゴット内の仮想温度分布が評価できること、LSAW速度により残留応力に起因した変化を評価できる可能性があることを示した。 |
(英) |
Homogeneities of a synthetic silica glass ingot were evaluated by the ultrasonic microspectroscopy technology. Specimens prepared from around the central axis of the ingot were heat-treated at desired annealing temperatures from 900 to 1150°C. Longitudinal velocities (Vl), leaky surface acoustic wave (LSAW) velocities (VLSAW), and densities (ρ) were measured to obtain relationships between acoustic properties and fictive temperatures Tf. Then, distributions of VLSAW and Vl were measured along the radial direction of the ingot. OH concentrations and Tf were measured by infrared spectroscopy. Optical retardations were also measured by optical heterodyne interferometry. From the results, we demonstrated that Tf distributions of glass ingot can be obtained by Vl measurements and variations caused by the residual stresses could be evaluated by VLSAW measurements. |
キーワード |
(和) |
超音波マイクロスペクトロスコピー技術 / 合成石英ガラス / 仮想温度 / 縦波音速 / LSAW速度 / 密度 / / |
(英) |
ultrasonic micro-spectroscopy technology / synthetic silica glass / fictive temperature / longitudinal velocity / leaky surface acoustic wave velocity / density / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 110, no. 366, US2010-108, pp. 95-100, 2011年1月. |
資料番号 |
US2010-108 |
発行日 |
2011-01-13 (US) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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US2010-108 |