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講演抄録/キーワード
講演名 2011-01-21 14:15
超音波マイクロスペクトロスコピー技術による合成石英ガラスインゴットの均質性評価
櫛引淳一・○荒川元孝大橋雄二丸山由子東北大)・堀越秀春森山賢二東ソー・エスジーエムUS2010-108
抄録 (和) 超音波マイクロスペクトロスコピー技術を直接合成法により作製された合成石英(SiO2)ガラスインゴットの均質性評価に適用した。このインゴットの中心軸近傍から用意した試料に対して、900-1150℃の温度で熱処理を行った。これらの試料に対して、縦波音速、LSAW速度、密度を測定することにより音響特性と仮想温度の間の関係を求めた。次に、インゴットの均質性を調べるために、インゴットの径方向に縦波音速とLSAW速度の分布を測定した。赤外分光分析法によりOH濃度と仮想温度、また複屈折の測定を行った。それらの結果、縦波音速によりガラスインゴット内の仮想温度分布が評価できること、LSAW速度により残留応力に起因した変化を評価できる可能性があることを示した。 
(英) Homogeneities of a synthetic silica glass ingot were evaluated by the ultrasonic microspectroscopy technology. Specimens prepared from around the central axis of the ingot were heat-treated at desired annealing temperatures from 900 to 1150°C. Longitudinal velocities (Vl), leaky surface acoustic wave (LSAW) velocities (VLSAW), and densities (ρ) were measured to obtain relationships between acoustic properties and fictive temperatures Tf. Then, distributions of VLSAW and Vl were measured along the radial direction of the ingot. OH concentrations and Tf were measured by infrared spectroscopy. Optical retardations were also measured by optical heterodyne interferometry. From the results, we demonstrated that Tf distributions of glass ingot can be obtained by Vl measurements and variations caused by the residual stresses could be evaluated by VLSAW measurements.
キーワード (和) 超音波マイクロスペクトロスコピー技術 / 合成石英ガラス / 仮想温度 / 縦波音速 / LSAW速度 / 密度 / /  
(英) ultrasonic micro-spectroscopy technology / synthetic silica glass / fictive temperature / longitudinal velocity / leaky surface acoustic wave velocity / density / /  
文献情報 信学技報, vol. 110, no. 366, US2010-108, pp. 95-100, 2011年1月.
資料番号 US2010-108 
発行日 2011-01-13 (US) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685    Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード US2010-108

研究会情報
研究会 EA US  
開催期間 2011-01-20 - 2011-01-21 
開催地(和) 同志社大学京田辺キャンパス医心館 N-A, N-B 
開催地(英) Doshisha Univ. 
テーマ(和) <音響・超音波サブソサイエティ合同研究会> テーマ:一般(応用/電気音響・超音波) 
テーマ(英) [Joint Meeting on Acoustics and Ultrasonics Subsociety] Engineering/Electro Acoustics, Ultrasonic and Underwater Acoustics,and Related Topics 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 US 
会議コード 2011-01-EA-US 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 超音波マイクロスペクトロスコピー技術による合成石英ガラスインゴットの均質性評価 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Homogeneity Evaluation of a Synthetic Silica Glass Ingot by the Ultrasonic Microspectroscopy Technology 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 超音波マイクロスペクトロスコピー技術 / ultrasonic micro-spectroscopy technology  
キーワード(2)(和/英) 合成石英ガラス / synthetic silica glass  
キーワード(3)(和/英) 仮想温度 / fictive temperature  
キーワード(4)(和/英) 縦波音速 / longitudinal velocity  
キーワード(5)(和/英) LSAW速度 / leaky surface acoustic wave velocity  
キーワード(6)(和/英) 密度 / density  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 櫛引 淳一 / Jun-ichi Kushibiki / クシビキ ジュンイチ
第1著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 荒川 元孝 / Mototaka Arakawa / アラカワ モトタカ
第2著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 大橋 雄二 / Yuji Ohashi / オオハシ ユウジ
第3著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 丸山 由子 / Yuko Maruyama / マルヤマ ユウコ
第4著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 堀越 秀春 / Hideharu Horikoshi / ホリコシ ヒデハル
第5著者 所属(和/英) 東ソー・エスジーエム株式会社 (略称: 東ソー・エスジーエム)
Tosoh SGM Co. (略称: Tosoh SGM)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 森山 賢二 / Kenji Moriyama / モリヤマ ケンジ
第6著者 所属(和/英) 東ソー・エスジーエム株式会社 (略称: 東ソー・エスジーエム)
Tosoh SGM Co. (略称: Tosoh SGM)
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講演者 第2著者 
発表日時 2011-01-21 14:15:00 
発表時間 30分 
申込先研究会 US 
資料番号 US2010-108 
巻番号(vol) vol.110 
号番号(no) no.366 
ページ範囲 pp.95-100 
ページ数
発行日 2011-01-13 (US) 


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