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講演抄録/キーワード
講演名 2010-12-17 11:15
ナノゲートIn0.7Ga0.3As/InAs/In0.7Ga0.3AsコンポジットチャネルHEMTに関するモンテカルロ計算
遠藤 聡NICT/富士通研)・渡邊一世NICT)・三村高志富士通研/NICTED2010-168 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2010-168
抄録 (和) InP 基板上のInAlAs/InGaAs 系HEMT を高速化する手段の一つとして,InGaAs チャネル層内に電子の有効質量の軽いInAs 層を導入したInGaAs/InAs/InGaAs コンポジットチャネルHEMT がある.本研究においては,In0.7Ga0.3As/InAs/In0.7Ga0.3As コンポジットチャネルHEMT に関するモンテカルロ計算を行い,チャネル構造のデバイス特性への影響を検討した.In0.7Ga0.3As チャネル層内に厚さ2~8 nm のInAs 層を設けた.InAs 層を2 nm 導入しただけでも,In0.7Ga0.3As チャネルの場合と比較してドレイン電流Ids や相互コンダクタンスgm,遮断周波数fT は2倍程度に増大する.InAs 層を更に厚くした場合,Ids,gm,fT の増大はそれほど大きくはない.Ids,gm,fT の増大は主に,InAs 層の導入によりチャネル層中の電子速度が大幅に増大するためである.一方,チャネル層中の電子密度はInAs 層を導入してもそれほど大きくは変化しないことが分かった.更に,コンポジットチャネルHEMT を実際に作製し,In0.7Ga0.3As チャネルHEMT の場合と比較した. 
(英) To achieve high-speed operations of InP-based InAlAs/InGaAs HEMTs, an InGaAs/InAs/InGaAs composite layer is used as a channel. In this work, we carried out Monte Carlo (MC) simulations of In0.7Ga0.3As/InAs/In0.7Ga0.3As composite channel HEMTs and examined the effect of the channel structure on the device performance. The InAs layer with a thickness range from 2 to 8 nm was introduced into the In0.7Ga0.3As channel. Even for the InAs layer thickness of 2 nm, a twofold increase in the drain-source current Ids , transconductance gm and cutoff frequency fT was seen. With further increasing the InAs layer thickness, the increase of Ids, gm and fT was not so much. The increase in Ids, gm and fT mainly results from the increase in the electron velocity by introducing the InAs layer into the channel. On the other hand, the increase in the electron density by introducing the InAs layer was small. Furthermore, we fabricated composite channel HEMTs and compared their device performance with those of In0.7Ga0.3As channel HEMTs.
キーワード (和) InP系HEMT / In0.7Ga0.3As/InAs/In0.7Ga0.3As / コンポジットチャネル / モンテカルロシミュレーション / ドレイン電流 / 相互コンダクタンス / 遮断周波数 / 電子速度  
(英) In-based HEMTs / In0.7Ga0.3As/InAs/In0.7Ga0.3As / Composite channel / Monte Carlo simulations / Drain-source current / Transconductance / Cutoff frequency / Electron velocity  
文献情報 信学技報, vol. 110, no. 342, ED2010-168, pp. 59-64, 2010年12月.
資料番号 ED2010-168 
発行日 2010-12-09 (ED) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685    Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード ED2010-168 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2010-168

研究会情報
研究会 ED  
開催期間 2010-12-16 - 2010-12-17 
開催地(和) 東北大学 電気通信研究所 
開催地(英) Tohoku University (Research Institute of Electrical Communication) 
テーマ(和) ミリ波・テラヘルツ波デバイス・システム 
テーマ(英) Millimeter wave, terahertz devices and systems 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 ED 
会議コード 2010-12-ED 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) ナノゲートIn0.7Ga0.3As/InAs/In0.7Ga0.3AsコンポジットチャネルHEMTに関するモンテカルロ計算 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Monte Carlo Simulations of Nanogate In0.7Ga0.3As/InAs/In0.7Ga0.3As Composite Channel HEMTs 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) InP系HEMT / In-based HEMTs  
キーワード(2)(和/英) In0.7Ga0.3As/InAs/In0.7Ga0.3As / In0.7Ga0.3As/InAs/In0.7Ga0.3As  
キーワード(3)(和/英) コンポジットチャネル / Composite channel  
キーワード(4)(和/英) モンテカルロシミュレーション / Monte Carlo simulations  
キーワード(5)(和/英) ドレイン電流 / Drain-source current  
キーワード(6)(和/英) 相互コンダクタンス / Transconductance  
キーワード(7)(和/英) 遮断周波数 / Cutoff frequency  
キーワード(8)(和/英) 電子速度 / Electron velocity  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 遠藤 聡 / Akira Endoh / エンドウ アキラ
第1著者 所属(和/英) 情報通信研究機構/富士通研究所 (略称: NICT/富士通研)
National Institute of Information and Communications Technology/Fujitsu Laboratories Ltd. (略称: NICT/Fujitsu Labs.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 渡邊 一世 / Issei Watanabe / ワタナベ イッセイ
第2著者 所属(和/英) 情報通信研究機構 (略称: NICT)
National Institute of Information and Communications Technology (略称: NICT)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 三村 高志 / Takashi Mimura / ミムラ タカシ
第3著者 所属(和/英) 富士通研究所/情報通信研究機構 (略称: 富士通研/NICT)
Fujitsu Laboratories Ltd./National Institute of Information and Communications Technology (略称: Fujitsu Labs./NICT)
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講演者 第1著者 
発表日時 2010-12-17 11:15:00 
発表時間 25分 
申込先研究会 ED 
資料番号 ED2010-168 
巻番号(vol) vol.110 
号番号(no) no.342 
ページ範囲 pp.59-64 
ページ数
発行日 2010-12-09 (ED) 


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