講演抄録/キーワード |
講演名 |
2010-12-17 11:15
ナノゲートIn0.7Ga0.3As/InAs/In0.7Ga0.3AsコンポジットチャネルHEMTに関するモンテカルロ計算 ○遠藤 聡(NICT/富士通研)・渡邊一世(NICT)・三村高志(富士通研/NICT) ED2010-168 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2010-168 |
抄録 |
(和) |
InP 基板上のInAlAs/InGaAs 系HEMT を高速化する手段の一つとして,InGaAs チャネル層内に電子の有効質量の軽いInAs 層を導入したInGaAs/InAs/InGaAs コンポジットチャネルHEMT がある.本研究においては,In0.7Ga0.3As/InAs/In0.7Ga0.3As コンポジットチャネルHEMT に関するモンテカルロ計算を行い,チャネル構造のデバイス特性への影響を検討した.In0.7Ga0.3As チャネル層内に厚さ2~8 nm のInAs 層を設けた.InAs 層を2 nm 導入しただけでも,In0.7Ga0.3As チャネルの場合と比較してドレイン電流Ids や相互コンダクタンスgm,遮断周波数fT は2倍程度に増大する.InAs 層を更に厚くした場合,Ids,gm,fT の増大はそれほど大きくはない.Ids,gm,fT の増大は主に,InAs 層の導入によりチャネル層中の電子速度が大幅に増大するためである.一方,チャネル層中の電子密度はInAs 層を導入してもそれほど大きくは変化しないことが分かった.更に,コンポジットチャネルHEMT を実際に作製し,In0.7Ga0.3As チャネルHEMT の場合と比較した. |
(英) |
To achieve high-speed operations of InP-based InAlAs/InGaAs HEMTs, an InGaAs/InAs/InGaAs composite layer is used as a channel. In this work, we carried out Monte Carlo (MC) simulations of In0.7Ga0.3As/InAs/In0.7Ga0.3As composite channel HEMTs and examined the effect of the channel structure on the device performance. The InAs layer with a thickness range from 2 to 8 nm was introduced into the In0.7Ga0.3As channel. Even for the InAs layer thickness of 2 nm, a twofold increase in the drain-source current Ids , transconductance gm and cutoff frequency fT was seen. With further increasing the InAs layer thickness, the increase of Ids, gm and fT was not so much. The increase in Ids, gm and fT mainly results from the increase in the electron velocity by introducing the InAs layer into the channel. On the other hand, the increase in the electron density by introducing the InAs layer was small. Furthermore, we fabricated composite channel HEMTs and compared their device performance with those of In0.7Ga0.3As channel HEMTs. |
キーワード |
(和) |
InP系HEMT / In0.7Ga0.3As/InAs/In0.7Ga0.3As / コンポジットチャネル / モンテカルロシミュレーション / ドレイン電流 / 相互コンダクタンス / 遮断周波数 / 電子速度 |
(英) |
In-based HEMTs / In0.7Ga0.3As/InAs/In0.7Ga0.3As / Composite channel / Monte Carlo simulations / Drain-source current / Transconductance / Cutoff frequency / Electron velocity |
文献情報 |
信学技報, vol. 110, no. 342, ED2010-168, pp. 59-64, 2010年12月. |
資料番号 |
ED2010-168 |
発行日 |
2010-12-09 (ED) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
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