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講演抄録/キーワード
講演名 2010-10-22 13:25
イオンアシスト蒸着によるフッ素系高分子薄膜の作製
松田 剛東京農工大)・泉田和夫住友精密工業)・田中邦明臼井博明東京農工大OME2010-47 エレソ技報アーカイブへのリンク:OME2010-47
抄録 (和) フッ素系高分子薄膜の新規な形成技術としてイオンアシスト蒸着法を試みた.基板表面に低エネルギーArイオンを照射しつつフッ化アルキルアクリレートモノマーを蒸着した結果,高い撥水性を示すフッ素系高分子薄膜が得られた.これに対しイオン照射なしの蒸着では,薄膜を堆積することはできなかった.金表面では平坦な薄膜が得られたが,ガラス表面では膜表面に凹凸が観察された.これは未反応モノマーの凝集物と考えられ,HCFC-225溶媒で膜表面を洗浄することで平坦性を向上させることができた.本手法を用いてガラス表面に厚さ100 nmの高分子薄膜を形成した結果,光反射率を8%から3%へ低減できた. 
(英) Ion-assisted deposition was employed as a new technique for preparing fuluoropolymer thin films. A fluorinated alkylacrylate monomer was deposited on the substrate surface under irradiation of low energy Ar ions. As a consequence, highly hydrophobic fluoropolymer thin films were obtained. However, no films were accumulated when the monomer was deposited without ion irradiation. The films deposited on Au surface had excellent smoothness. On the other hand, the films deposited on glass substrate had considerable extrusions due probably to coagulation of monomer residue. The roughness was improved by rinsing the film with HCFC-225 solvent. By depositing a 100-nm thick film on glass surface, the reflectance was reduced from 8% to 3%.
キーワード (和) イオンアシスト蒸着 / 蒸着重合 / フッ素系高分子 / フッ化アルキルアクリレート / 反射防止膜 / / /  
(英) ion-assisted deposition / deposition polymerization / fluoropolymer / fluorinated alkylacrylate / antireflective coating / / /  
文献情報 信学技報, vol. 110, no. 243, OME2010-47, pp. 5-10, 2010年10月.
資料番号 OME2010-47 
発行日 2010-10-15 (OME) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
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PDFダウンロード OME2010-47 エレソ技報アーカイブへのリンク:OME2010-47

研究会情報
研究会 OME  
開催期間 2010-10-22 - 2010-10-22 
開催地(和) NTT武蔵野研究開発センター 
開催地(英) NTT Musashino R&D Center 
テーマ(和) 有機デバイス全般・一般 
テーマ(英) Organic Devices, etc 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 OME 
会議コード 2010-10-OME 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) イオンアシスト蒸着によるフッ素系高分子薄膜の作製 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Deposition polymerization of fluoropolymer thin films by ion-assisted vapor deposition 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) イオンアシスト蒸着 / ion-assisted deposition  
キーワード(2)(和/英) 蒸着重合 / deposition polymerization  
キーワード(3)(和/英) フッ素系高分子 / fluoropolymer  
キーワード(4)(和/英) フッ化アルキルアクリレート / fluorinated alkylacrylate  
キーワード(5)(和/英) 反射防止膜 / antireflective coating  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 松田 剛 / Tsuyoshi Matsuda / マツダ ツヨシ
第1著者 所属(和/英) 東京農工大学 (略称: 東京農工大)
Tokyo University of Agriculture and Technology (略称: Tokyo Univ. Agricul. & Technol.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 泉田 和夫 / Kazuo Senda / センダ カズオ
第2著者 所属(和/英) 住友精密工業 (略称: 住友精密工業)
Sumitomo Precision Products Co.,Ltd. (略称: Sumitomo Precision)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 田中 邦明 / Kuniaki Tanaka / タナカ クニアキ
第3著者 所属(和/英) 東京農工大学 (略称: 東京農工大)
Tokyo University of Agriculture and Technology (略称: Tokyo Univ. Agricul. & Technol.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 臼井 博明 / Hiroaki Usui / ウスイ ヒロアキ
第4著者 所属(和/英) 東京農工大学 (略称: 東京農工大)
Tokyo University of Agriculture and Technology (略称: Tokyo Univ. Agricul. & Technol.)
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講演者
発表日時 2010-10-22 13:25:00 
発表時間 25 
申込先研究会 OME 
資料番号 IEICE-OME2010-47 
巻番号(vol) IEICE-110 
号番号(no) no.243 
ページ範囲 pp.5-10 
ページ数 IEICE-6 
発行日 IEICE-OME-2010-10-15 


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