講演抄録/キーワード |
講演名 |
2010-09-13 14:55
周波数変調ΔΣAD変換器を用いたデジタルマイクロフォンセンサの可能性 ○前澤宏一・柴田真吾・高岡和央・森 雅之(富山大) ED2010-126 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2010-126 |
抄録 |
(和) |
周波数変調信号を用いたFMΔΣ アナログ-デジタル(AD) 変換器は,高分解能,高いダイナミックレンジが可能というΔΣAD 変換器の利点に加えて,高周波動作が容易であるという利点もある.また,この方式は,入力信号をFM 信号に変換することにより,容易にアナログ-デジタル変換が可能なため,様々なセンサー応用が可能であ
る.ここでは,コンデンサマイクロフォン自身を共振器の一部に用いて高周波のFM 信号を生成することにより,音響信号を直接デジタル信号に変換できるMEMS デジタルマイクロフォンセンサの可能性について調べた.SU-8 を用いた簡易MEMS マイクロフォンと個別デバイスによりプロトタイプデバイスを作製し,その原理動作を実証した. |
(英) |
A Delta Sigma Analog/Digital converter using frequency modulation (FM) intermediate signal is a promising device for sensor applications. It features high SNR and high dynamic range as well as wide frequency range. In this paper, we report on the application of the FM ΔΣ ADC to microphone sensors. We used the condenser microphone as a capacitor in the LC resonator of the oscillator. This permits us to directly convert sound
signal into FM signal. We fabricated a prototype device and demonstrated proper operation. |
キーワード |
(和) |
ADC / Delta Sigma 変調器 / コンデンサマイクロフォン / / / / / |
(英) |
ADC / Delta Sigma modulator / condenser microphone / / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 110, no. 203, ED2010-126, pp. 19-23, 2010年9月. |
資料番号 |
ED2010-126 |
発行日 |
2010-09-06 (ED) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
PDFダウンロード |
ED2010-126 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2010-126 |