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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2010-09-10 14:15 圧電体膜上への低温多結晶シリコン薄膜トランジスタの作製 ○岡田耕輔・水戸慎一郎・磯谷亮介（豊橋技科大）・高木宏幸（豊田高専）・井上光輝（豊橋技科大）  CPM2010-86 エレソ技報アーカイブへのリンク：CPM2010-86 |
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| 抄録 | （和） | 磁気光学空間光変調器(magneto-optic spatial light modulator : MOSLM) は，磁気光学効果を利用して光の位相・偏光を二次元状に配列されたピクセル毎に制御するデバイスである．磁気光学効果は磁化の向きで制御できるため，nsオーダーの高速駆動が出来る．MOSLMのピクセルの磁化方位を制御する方法に，電流で発生した磁界を磁気光学膜に印加する方法があるが，高消費電力，発熱の問題があった．この問題を解決する方法として，圧電膜(チタン酸ジルコン酸鉛：PZT)ピクセルアレイを用いて反射型磁性フォトニック結晶(MPC)に応力を加えることで，逆磁歪効果で磁化方位を制御する圧電駆動型MOSLMの研究を行ってきた．しかし，以前の研究におけるPZTピクセルアレイの駆動方式はパッシブマトリクスであり，ピクセル数が大規模化した際に動作速度の低下やクロストークの問題が起こると考えられる．本研究では，PZTピクセルアレイをアクティブマトリクス駆動させるため，低温多結晶シリコン薄膜トランジスタ(poly-Si thin film transistor： TFT)を作成し，諸特性を調べた．作製したTFTのドレイン電流は，PZTピクセルを数マイクロ秒オーダーで 駆動するには不十分であったが，一方でブレイクダウン電圧は30 V以上と圧電駆動型MOSLMを駆動するのに十分なものであった．今後はTFTを利用したアクティブマトリクス駆動の圧電駆動MOSLMを作成する． |
| （英） | Spatial phase modulation of light, in which the phase of travelling optical wave is modulated in a two-dimensional pixel image. Recently, we developed voltage driving for the MOSLM with one-dimensional reflection type magneto-photonic crystal (MPC) structure. The MOSLM is driven by a stress from PZT film. In this study, we formed poly-Si TFT for active matrix driven method and we discuss about the performances of TFT. The drain current of the fabricated TFT is short to turn on the PZT pixel within a few microseconds. On the other hand, the brake down voltage of the TFT was over 30 V. This voltage is enough to drive the Voltage driven type MOSLM. | |
| キーワード | （和） | poly-Si TFT / PZT / MOSLM / 圧電駆動 / MPC / / / |
| （英） | poly-Si TFT / PZT / MOSLM / piezoelectric actuation / MPC / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 110, no. 202, CPM2010-86, pp. 31-36, 2010年9月. | |
| 資料番号 | CPM2010-86 | |
| 発行日 | 2010-09-03 (CPM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | CPM2010-86 エレソ技報アーカイブへのリンク：CPM2010-86 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
| 開催期間 | 2010-09-10 - 2010-09-10 |
| 開催地（和） | 機械振興会館 |
| 開催地（英） | Kikai-Shinko-Kaikan Bldg |
| テーマ（和） | 光記録技術・電子材料、一般 |
| テーマ（英） | Optical Data Storage, Electronic Materials, etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | CPM |
| 会議コード | 2010-09-CPM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 圧電体膜上への低温多結晶シリコン薄膜トランジスタの作製 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication of poly-Si thin film transistor on piezo-electric film |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | poly-Si TFT / poly-Si TFT |
| キーワード(2)（和/英） | PZT / PZT |
| キーワード(3)（和/英） | MOSLM / MOSLM |
| キーワード(4)（和/英） | 圧電駆動 / piezoelectric actuation |
| キーワード(5)（和/英） | MPC / MPC |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 岡田 耕輔 / Kosuke Okada / オカダ コウスケ |
| 第1著者 所属（和/英） | 豊橋技術科学大学 (略称： 豊橋技科大) Toyohashi University of Technology (略称： Toyohashi Univ. of Tech.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 水戸 慎一郎 / Shinichiro Mito / ミト シンイチロウ |
| 第2著者 所属（和/英） | 豊橋技術科学大学 (略称： 豊橋技科大) Toyohashi University of Technology (略称： Toyohashi Univ. of Tech.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 磯谷 亮介 / Ryosuke Isogai / イソガイ リョウスケ |
| 第3著者 所属（和/英） | 豊橋技術科学大学 (略称： 豊橋技科大) Toyohashi University of Technology (略称： Toyohashi Univ. of Tech.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 高木 宏幸 / Hiroyuki Takagi / タカギ ヒロユキ |
| 第4著者 所属（和/英） | 豊田工業高等専門学校 (略称： 豊田高専) Toyota National College of Technology (略称： Toyota Nat'l Col. of Tech.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 井上 光輝 / Mitsuteru Inoue / イノウエ ミツテル |
| 第5著者 所属（和/英） | 豊橋技術科学大学 (略称： 豊橋技科大) Toyohashi University of Technology (略称： Toyohashi Univ. of Tech.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2010-09-10 14:15:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | CPM |
| 資料番号 | CPM2010-86 |
| 巻番号（vol） | vol.110 |
| 号番号（no） | no.202 |
| ページ範囲 | pp.31-36 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2010-09-03 (CPM) |
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