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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2010-07-29 15:50 ［招待講演］超臨界流体を用いた多孔質低誘電率薄膜プロセス ～ 細孔の評価と洗浄 ～ ○近藤英一（山梨大）  CPM2010-35 エレソ技報アーカイブへのリンク：CPM2010-35 |
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| 抄録 | （和） | 超臨界二酸化炭素は，ナノレベルの浸透性，表面張力がゼロ，溶媒能などをあわせ持つ特異な流体である．これらの特長は多孔質低誘電率薄膜のプロセスに最適であり，細孔内部の洗浄，ポストドライエッチクリーニング，細孔の内部修飾まで広く適用が可能である．超臨界流体中での細孔エンジニアリングの詳細な研究データはこれまでほとんどない．この研究では，著者らが開発した超臨界流体中のその場エリプソメトリを用いて超臨界中での多孔質薄膜の挙動を考察し洗浄や浸透過程の解析に適用した例について述べている |
| （英） | Supercritical carbon dioxide possesses nano-penetration ability, zero surface tension and solvent capability. These properties are a perfect fit for the processing of porous low-k films from synthesis, through pore cleaning to post-dry etch reparation. Science of surfaces and thin films in supercritical fluids has not been studied very much because of its novelty in microelectronic applications. In-situ ellipsoemtry has been developed in the laboratory, and for this purpose, this technique was applied to investigating the science of porosity engineering of low-k dielectrics with respect to pore characterization and pore cleaning. | |
| キーワード | （和） | 超臨界CO$_2$流体 / エリプソメトリ / 細孔構造解析 / 洗浄 / 凝集 / / / |
| （英） | Supercritical CO$_2$ fluid / ellipsometry / porosimetry / cleaning / condensation / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 110, no. 154, CPM2010-35, pp. 23-28, 2010年7月. | |
| 資料番号 | CPM2010-35 | |
| 発行日 | 2010-07-22 (CPM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | CPM2010-35 エレソ技報アーカイブへのリンク：CPM2010-35 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
| 開催期間 | 2010-07-29 - 2010-07-30 |
| 開催地（和） | 道の駅しゃり 会議室 |
| 開催地（英） | Michino-Eki Shari Meeting Room |
| テーマ（和） | 電子部品・材料，一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | CPM |
| 会議コード | 2010-07-CPM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 超臨界流体を用いた多孔質低誘電率薄膜プロセス |
| サブタイトル（和） | 細孔の評価と洗浄 |
| タイトル（英） | Science in porosity engineering of low-k dielectrics using supercritical carbon dioxide |
| サブタイトル（英） | Pore characterization and pore cleaning |
| キーワード(1)（和/英） | 超臨界CO$_2$流体 / Supercritical CO$_2$ fluid |
| キーワード(2)（和/英） | エリプソメトリ / ellipsometry |
| キーワード(3)（和/英） | 細孔構造解析 / porosimetry |
| キーワード(4)（和/英） | 洗浄 / cleaning |
| キーワード(5)（和/英） | 凝集 / condensation |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 近藤 英一 / Eiichi Kondoh / コンドウ エイイチ |
| 第1著者 所属（和/英） | 山梨大学 (略称： 山梨大) University of Yamanashi (略称： Univ. of Yamanashi.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2010-07-29 15:50:00 |
| 発表時間 | 50分 |
| 申込先研究会 | CPM |
| 資料番号 | CPM2010-35 |
| 巻番号（vol） | vol.110 |
| 号番号（no） | no.154 |
| ページ範囲 | pp.23-28 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2010-07-22 (CPM) |
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