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講演抄録/キーワード
講演名 2010-07-22 10:20
集積型極低温電流比較器の提案
丸山道隆浦野千春大江武彦前澤正明山田隆宏産総研)・日高睦夫佐藤哲朗永沢秀一日野出憲治国際超電導産技研センター)・金子晋久産総研SCE2010-16 エレソ技報アーカイブへのリンク:SCE2010-16
抄録 (和) 超伝導集積回路技術を用いた小型の極低温電流比較器(CCC)を提案する.超精密測定などで広く用いられる従来のCCCは,一般に鉛バルクを用いて構成され,数~十数センチの大きさを持つ.その作製には高い技能を要する上,動作のために液体ヘリウム冷却を必要とする。さらに、機械的な強度が低く耐久性や信頼性が低い、測定において振動の影響を受けやすい、などの欠点を有する.立体的に複雑な構造が必要なCCCは、従来の超伝導薄膜プロセスでは実現できなかった。しかし、超伝導集積回路用に開発された多層化配線プロセスを用いてCCCを集積化すれば,これらの欠点は克服され,小型で冷凍機冷却が可能な,高信頼,高機能な集積型CCC(ICCC)が実現可能である.ICCCの基本原理や設計,作製プロセスについて述べた後,現在までに行われた基礎実験結果を紹介し,将来展望について議論する. 
(英) We propose a small cryogenic current comparator (CCC) using a superconducting integrated circuit technology. Conventional CCCs, which are widely used for high-precision electrical measurements, are usually made with lead bulk, and have the sizes of the order of several to more than ten centimeters. Such the hand-made CCCs require a special skill for their fabrication and liquid helium cooling for their operation. Additionally, they have some problems in durability and reliability due to mechanically soft lead material. In actual measurements, data is easily affected by vibration. The three dimensional structure of CCC is rather complex; it was not realized by normal superconductor thin-film processes. If we could make a CCC with a thin-film structure using a multilayer process which was originally developed for fabricating superconducting integrated circuits, a small-size integrated CCC (ICCC), which can be cooled with a compact cryocooler, with high reliability and increased functions will be realized. This paper proposes the basis, the design and fabrication of the ICCC, shows some experimental results, and discusses prospective views.
キーワード (和) 超伝導 / 極低温電流比較器 / 多層プロセス / 精密計測 / / / /  
(英) Superconductor / Cryogenic Current Comparator / Multilayer Process / Precision Measurement / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 110, no. 139, SCE2010-16, pp. 13-18, 2010年7月.
資料番号 SCE2010-16 
発行日 2010-07-15 (SCE) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685    Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード SCE2010-16 エレソ技報アーカイブへのリンク:SCE2010-16

研究会情報
研究会 SCE  
開催期間 2010-07-22 - 2010-07-22 
開催地(和) 機械振興会館 
開催地(英) Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. 
テーマ(和) 信号処理基盤技術及びその応用、一般 
テーマ(英) Signal processing technologies and their applications, etc. 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 SCE 
会議コード 2010-07-SCE 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 集積型極低温電流比較器の提案 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) An Integrated Cryogenic Current Comparator 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 超伝導 / Superconductor  
キーワード(2)(和/英) 極低温電流比較器 / Cryogenic Current Comparator  
キーワード(3)(和/英) 多層プロセス / Multilayer Process  
キーワード(4)(和/英) 精密計測 / Precision Measurement  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 丸山 道隆 / Michitaka Maruyama / マルヤマ ミチタカ
第1著者 所属(和/英) 産業技術総合研究所 (略称: 産総研)
National Institute of Advanced Industrial and Science Technology (略称: AIST)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 浦野 千春 / Chiharu Urano / ウラノ チハル
第2著者 所属(和/英) 産業技術総合研究所 (略称: 産総研)
National Institute of Advanced Industrial and Science Technology (略称: AIST)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 大江 武彦 / Takehiko Oe / オオエ タケヒコ
第3著者 所属(和/英) 産業技術総合研究所 (略称: 産総研)
National Institute of Advanced Industrial and Science Technology (略称: AIST)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 前澤 正明 / Masaaki Maezawa / マエザワ マサアキ
第4著者 所属(和/英) 産業技術総合研究所 (略称: 産総研)
National Institute of Advanced Industrial and Science Technology (略称: AIST)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 山田 隆宏 / Takahiro Yamada / ヤマダ タカヒロ
第5著者 所属(和/英) 産業技術総合研究所 (略称: 産総研)
National Institute of Advanced Industrial and Science Technology (略称: AIST)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 日高 睦夫 / Mutsuo Hidaka / ヒダカ ムツオ
第6著者 所属(和/英) 国際超電導産業技術研究センター (略称: 国際超電導産技研センター)
International Superconductivity Technology Center (ISTEC) (略称: ISTEC)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) 佐藤 哲朗 / Tetsuro Satoh / サトウ テツロウ
第7著者 所属(和/英) 国際超電導産業技術研究センター (略称: 国際超電導産技研センター)
International Superconductivity Technology Center (ISTEC) (略称: ISTEC)
第8著者 氏名(和/英/ヨミ) 永沢 秀一 / Shuichi Nagasawa / ナガサワ シュウイチ
第8著者 所属(和/英) 国際超電導産業技術研究センター (略称: 国際超電導産技研センター)
International Superconductivity Technology Center (ISTEC) (略称: ISTEC)
第9著者 氏名(和/英/ヨミ) 日野出 憲治 / Kenji Hinode / ヒノデ ケンジ
第9著者 所属(和/英) 国際超電導産業技術研究センター (略称: 国際超電導産技研センター)
International Superconductivity Technology Center (ISTEC) (略称: ISTEC)
第10著者 氏名(和/英/ヨミ) 金子 晋久 / Nobu-hisa Kaneko / カネコ ノブヒサ
第10著者 所属(和/英) 産業技術総合研究所 (略称: 産総研)
National Institute of Advanced Industrial and Science Technology (略称: AIST)
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講演者 第1著者 
発表日時 2010-07-22 10:20:00 
発表時間 25分 
申込先研究会 SCE 
資料番号 SCE2010-16 
巻番号(vol) vol.110 
号番号(no) no.139 
ページ範囲 pp.13-18 
ページ数
発行日 2010-07-15 (SCE) 


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