講演抄録/キーワード |
講演名 |
2010-06-25 16:25
ナノインプリント法を用いたポリマー導波路型ブラッグ波長フィルターの作製と評価 ○橋本隆文・謝 楠・水野 潤・森 弘明・立崎卓也・宇高勝之(早大) OPE2010-19 LQE2010-21 エレソ技報アーカイブへのリンク:OPE2010-19 LQE2010-21 |
抄録 |
(和) |
我々はコア材料にSU-8、クラッド材料にPMGIとし、ポリマー導波路型波長フィルターを作製、そして、その特性評価を行った。素子作製の際、3次元モールドを用い、一括ナノインプリントを用いることでナノ構造を有するグレーティング部分とマイクロ構造を有する導波路部分を一度に作製した。その結果、偏光無依存、1570nm 帯域においてコントラスト-40dbの素子が実現された。また、結合損失を含む挿入損失が12dBであることが確認された。 |
(英) |
We demonstrated polymer waveguide Bragg grating filter by one-step nanoimprint using 3dimentional mold mask. As core and clad material, we selected SU-8 and PMGI respectively. The fabricated filter device provided transmission contrast of 40dB near the expected peak wavelength and showed polarization independent characteristics. |
キーワード |
(和) |
一括ナノインプリント / SU-8 / PMGI / 偏光無依存 / ポリマー導波路型波長フィルター / / / |
(英) |
one-step nanoimprint / SU-8 / PMGI / polarization independent / polymer waveguide / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 110, no. 102, OPE2010-19, pp. 21-24, 2010年6月. |
資料番号 |
OPE2010-19 |
発行日 |
2010-06-18 (OPE, LQE) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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