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講演抄録/キーワード
講演名 2010-06-25 16:25
ナノインプリント法を用いたポリマー導波路型ブラッグ波長フィルターの作製と評価
橋本隆文謝 楠水野 潤森 弘明立崎卓也宇高勝之早大OPE2010-19 LQE2010-21 エレソ技報アーカイブへのリンク:OPE2010-19 LQE2010-21
抄録 (和) 我々はコア材料にSU-8、クラッド材料にPMGIとし、ポリマー導波路型波長フィルターを作製、そして、その特性評価を行った。素子作製の際、3次元モールドを用い、一括ナノインプリントを用いることでナノ構造を有するグレーティング部分とマイクロ構造を有する導波路部分を一度に作製した。その結果、偏光無依存、1570nm 帯域においてコントラスト-40dbの素子が実現された。また、結合損失を含む挿入損失が12dBであることが確認された。 
(英) We demonstrated polymer waveguide Bragg grating filter by one-step nanoimprint using 3dimentional mold mask. As core and clad material, we selected SU-8 and PMGI respectively. The fabricated filter device provided transmission contrast of 40dB near the expected peak wavelength and showed polarization independent characteristics.
キーワード (和) 一括ナノインプリント / SU-8 / PMGI / 偏光無依存 / ポリマー導波路型波長フィルター / / /  
(英) one-step nanoimprint / SU-8 / PMGI / polarization independent / polymer waveguide / / /  
文献情報 信学技報, vol. 110, no. 102, OPE2010-19, pp. 21-24, 2010年6月.
資料番号 OPE2010-19 
発行日 2010-06-18 (OPE, LQE) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード OPE2010-19 LQE2010-21 エレソ技報アーカイブへのリンク:OPE2010-19 LQE2010-21

研究会情報
研究会 OPE LQE  
開催期間 2010-06-25 - 2010-06-25 
開催地(和) 機械振興会館 地下3階研修1号室 
開催地(英) Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. 
テーマ(和) 量子効果デバイス(光信号処理、LD、光増幅、変調等)と集積化技術、一般 「材料デバイスサマーミーティング」 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 OPE 
会議コード 2010-06-OPE-LQE 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) ナノインプリント法を用いたポリマー導波路型ブラッグ波長フィルターの作製と評価 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Fabrication and evaluation of polymer waveguide Bragg filter by nanoimprint 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 一括ナノインプリント / one-step nanoimprint  
キーワード(2)(和/英) SU-8 / SU-8  
キーワード(3)(和/英) PMGI / PMGI  
キーワード(4)(和/英) 偏光無依存 / polarization independent  
キーワード(5)(和/英) ポリマー導波路型波長フィルター / polymer waveguide  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 橋本 隆文 / Takafumi Hashimoto / ハシモト タカフミ
第1著者 所属(和/英) 早稲田大学 理工学術院 (略称: 早大)
Faculty of Science and Engineering, Waseda University (略称: Waseda Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 謝 楠 / Nan Xie / シェ ナン
第2著者 所属(和/英) 早稲田大学 理工学術院 (略称: 早大)
Faculty of Science and Engineering, Waseda University (略称: Waseda Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 水野 潤 / Jun Mizuno / ミズノ ジュン
第3著者 所属(和/英) 早稲田大学 理工学術院 (略称: 早大)
Faculty of Science and Engineering, Waseda University (略称: Waseda Univ.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 森 弘明 / Hirotoshi Mori / モリ ヒロトシ
第4著者 所属(和/英) 早稲田大学 理工学術院 (略称: 早大)
Faculty of Science and Engineering, Waseda University (略称: Waseda Univ.)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 立崎 卓也 / Takuya Tatsuzaki / タツザキ タクヤ
第5著者 所属(和/英) 早稲田大学 ナノ理工学研究機構 (略称: 早大)
Waseda University Institute for Nanoscience and Nanotechnology (略称: Waseda Univ.)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 宇高 勝之 / Katsuyuki Utaka / ウタカ カツユキ
第6著者 所属(和/英) 早稲田大学 理工学術院 (略称: 早大)
Faculty of Science and Engineering, Waseda University (略称: Waseda Univ.)
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講演者
発表日時 2010-06-25 16:25:00 
発表時間 25 
申込先研究会 OPE 
資料番号 IEICE-OPE2010-19,IEICE-LQE2010-21 
巻番号(vol) IEICE-110 
号番号(no) no.102(OPE), no.103(LQE) 
ページ範囲 pp.21-24 
ページ数 IEICE-4 
発行日 IEICE-OPE-2010-06-18,IEICE-LQE-2010-06-18 


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