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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2010-05-27 11:20 静電型超音波トランスデューサでのダンピング効果 ○李 昇穆（Ingen MSL）・車 溥相・奥山雅則（阪大）  EA2010-15 SIP2010-15 SP2010-15 |
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| 抄録 | （和） | 静電型超音波トランスデューサ(CMUT)の変換効率はメンブレンの振動における媒質の機械的抵抗（インピーダンス）の影響を受ける。本研究では、空気中で動作するCMUTデバイスのダンピング効果を有限要素解析法を用いてシミュレーションした。シミュレーションでは、メンブレンに設けられる音響ホールとメンブレンのギャップの変化によるダンピング効果及び変換効率の変化を主に調べた。その結果に基づいて、ダンピング効果がデバイス効率に及ぼす影響を分析し、デバイス構造設計の最適化に関して考察した。 |
| （英） | Acoustic damping of a capacitive micromachined ultrasonic transducer in air makes a mechanical impedance in the membrane vibration, which plays an important role in the transformation efficiency of the device. We present the acoustic damping effect on the transformation efficiency of CMUT device, and those results are compared with the other factors such as capacitance variations originated from the change of air-hole rate (AR) in the total membrane area. Damping ratio of perforated membrane plate is computed under each condition, and the results of that are introduced to the calculation of membrane displacement using finite element method for the consideration of squeeze-film damping effect. Q factor and transformation efficiency of the CMUT device under the various AR of the membrane and device dimension conditions are studied, and the acoustic damping effect is discussed for the design optimization of that. | |
| キーワード | （和） | CMUT / ダンピング / 変換効率 / / / / / |
| （英） | CMUT / Damping / Transformation efficiency / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 110, no. 54, EA2010-15, pp. 85-89, 2010年5月. | |
| 資料番号 | EA2010-15 | |
| 発行日 | 2010-05-19 (EA, SIP, SP) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | EA2010-15 SIP2010-15 SP2010-15 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SP EA SIP |
| 開催期間 | 2010-05-26 - 2010-05-27 |
| 開催地（和） | 甲南大学平生セミナーハウス |
| 開催地（英） | Konan Univ. (Hirao Seminar House) |
| テーマ（和） | 音声，応用/電気音響，信号処理，および一般 |
| テーマ（英） | Speech, Engineering/Electro Acoustics, Signal Processing，and Related Topics |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | EA |
| 会議コード | 2010-05-SP-EA-SIP |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 静電型超音波トランスデューサでのダンピング効果 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Acoustic damping effect on capacitive micromachined ultrasonic transducer |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | CMUT / CMUT |
| キーワード(2)（和/英） | ダンピング / Damping |
| キーワード(3)（和/英） | 変換効率 / Transformation efficiency |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 李 昇穆 / Seung-Mok Lee / イ スンモク |
| 第1著者 所属（和/英） | 株式会社 Ingen MSL (略称： Ingen MSL) Ingen MSL Inc. (略称： Ingen MSL) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 車 溥相 / Bu-Sang Cha / チャ ブサン |
| 第2著者 所属（和/英） | 大阪大学 (略称： 阪大) Osaka University (略称： Osaka Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 奥山 雅則 / Masanori Okuyama / オクヤマ マサノリ |
| 第3著者 所属（和/英） | 大阪大学 (略称： 阪大) Osaka University (略称： Osaka Univ.) |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2010-05-27 11:20:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | EA |
| 資料番号 | EA2010-15, SIP2010-15, SP2010-15 |
| 巻番号（vol） | vol.110 |
| 号番号（no） | no.54(EA), no.55(SIP), no.56(SP) |
| ページ範囲 | pp.85-89 |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2010-05-19 (EA, SIP, SP) |
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