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| 講演名 | 2010-05-13 16:50 放射光直接エッチングによるテフロン導波管BPFの試作と評価 ○岸原充佳（岡山県立大）・池内裕章・村井克弥・内海裕一・河合 正・太田 勲（兵庫県立大）  MW2010-19 エレソ技報アーカイブへのリンク：MW2010-19 |
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| 抄録 | （和） | 放射光を利用したテフロンの直接加工(エッチング)を行い，その表面に金属の蒸着・メッキをすることで，ミリ波・サブミリ波への応用が可能な導波管構造が形成できる．本研究では，放射光エッチングおよび蒸着・メッキから成るプロセスが細いパターンを含むような実用回路素子の製作にも有効であることを示すため，5段チェビシェフ応答を持つアイリス結合型バンドパスフィルタを試作し，そのSパラメータの周波数特性を測定・評価している． |
| （英） | It has been reported that a waveguide structure suitable for millimeter-wave and submillimeter-wave applications can be fabricated by the SR direct etching of PTFE, sputter deposition of metal and electroplating. In this work, an iris-coupled bandpass filter with 5-stage Chebyshev response is fabricated and the frequency characteristic of the S-parameter is measured. It is demonstrated that the present process is available for the fabrication of the practical components inclusive of narrow patterns. | |
| キーワード | （和） | X線リソグラフィ / 導波管フィルタ / 誘電体導波管 / バンドパスフィルタ / / / / |
| （英） | X-ray lithography / waveguide filters / dielectric waveguides / bandpass filters / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 110, no. 25, MW2010-19, pp. 29-33, 2010年5月. | |
| 資料番号 | MW2010-19 | |
| 発行日 | 2010-05-06 (MW) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | MW2010-19 エレソ技報アーカイブへのリンク：MW2010-19 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | MW |
| 開催期間 | 2010-05-13 - 2010-05-14 |
| 開催地（和） | 兵庫県立大学 |
| 開催地（英） | University of Hyogo |
| テーマ（和） | マイクロ波一般 |
| テーマ（英） | Microwave Technologies |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | MW |
| 会議コード | 2010-05-MW |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 放射光直接エッチングによるテフロン導波管BPFの試作と評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication and Evaluation of PTFE-Filled Waveguide Bandpass Filter by SR Direct Etching |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | X線リソグラフィ / X-ray lithography |
| キーワード(2)（和/英） | 導波管フィルタ / waveguide filters |
| キーワード(3)（和/英） | 誘電体導波管 / dielectric waveguides |
| キーワード(4)（和/英） | バンドパスフィルタ / bandpass filters |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 岸原 充佳 / Mitsuyoshi Kishihara / キシハラ ミツヨシ |
| 第1著者 所属（和/英） | 岡山県立大学 (略称： 岡山県立大) Okayama Prefectural University (略称： Okayama Pref. Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 池内 裕章 / Hiroaki Ikeuchi / イケウチ ヒロアキ |
| 第2著者 所属（和/英） | 兵庫県立大学 (略称： 兵庫県立大) University of Hyogo (略称： Univ. of Hyogo) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 村井 克弥 / Katsuya Murai / ムライ カツヤ |
| 第3著者 所属（和/英） | 兵庫県立大学 (略称： 兵庫県立大) University of Hyogo (略称： Univ. of Hyogo) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 内海 裕一 / Yuichi Utsumi / ウツミ ユウイチ |
| 第4著者 所属（和/英） | 兵庫県立大学 (略称： 兵庫県立大) University of Hyogo (略称： Univ. of Hyogo) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 河合 正 / Tadashi Kawai / カワイ タダシ |
| 第5著者 所属（和/英） | 兵庫県立大学 (略称： 兵庫県立大) University of Hyogo (略称： Univ. of Hyogo) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 太田 勲 / Isao Ohta / オオタ イサオ |
| 第6著者 所属（和/英） | 兵庫県立大学 (略称： 兵庫県立大) University of Hyogo (略称： Univ. of Hyogo) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2010-05-13 16:50:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | MW |
| 資料番号 | MW2010-19 |
| 巻番号（vol） | vol.110 |
| 号番号（no） | no.25 |
| ページ範囲 | pp.29-33 |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2010-05-06 (MW) |
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