お知らせ 研究会の開催と会場に参加される皆様へのお願い(2020年10月開催~)
電子情報通信学会 研究会発表申込システム
講演論文 詳細
技報閲覧サービス
[ログイン]
技報アーカイブ
 トップに戻る 前のページに戻る   [Japanese] / [English] 

講演抄録/キーワード
講演名 2010-01-29 14:25
アルミニウム表面プラズモンカラーフィルタ
池田直樹津谷大樹杉本喜正小出康夫物質・材料研究機構)・三浦篤志井上大介野村壮士藤川久喜佐藤和夫豊田中研PN2009-59 OPE2009-197 LQE2009-179 エレソ技報アーカイブへのリンク:OPE2009-197 LQE2009-179
抄録 (和) 本研究では、表面プラズモン共鳴を利用したカラーフィルタの開発を目的とし、高いプラズマ周波数を有し比較的微細加工が容易なアルミニウム薄膜に電子ビーム描画および反応性イオンエッチングを用い周期300~400nm程度の高精度なホールアレイを形成した。ホールアレイは、周期を制御することで可視光全領域をカバーする透過率30%、バンド帯域50nmのフィルタ特性を示した。 
(英) In order to realize surface plasmon color filter we fabricated precise hole array which lattice constant of 300~400nm using electron beam lithography and reactive ion beam etching in Aluminum thin film with high plasma frequency. Transmission thorough hole array which caused by resonance of surface plasmon is controlled by lattice constant. Hole array show filter characteristics of transmission of 30% and band width of 50nm in full visible light region.
キーワード (和) 表面プラズモン / プラズマ周波数 / 電子ビーム描画 / 反応性イオンエッチング / / / /  
(英) Surface plasmon / Plasma frequency / Electron beam lithography / Reactive ion etching / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 109, no. 402, OPE2009-197, pp. 129-132, 2010年1月.
資料番号 OPE2009-197 
発行日 2010-01-21 (PN, OPE, LQE) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード PN2009-59 OPE2009-197 LQE2009-179 エレソ技報アーカイブへのリンク:OPE2009-197 LQE2009-179

研究会情報
研究会 OPE EMT LQE PN IEE-EMT  
開催期間 2010-01-28 - 2010-01-29 
開催地(和) 京大桂キャンパス、Bクラスター事務管理棟 、大会議室_A会場、桂ラウンジ_B会場 
開催地(英)  
テーマ(和) フォトニックNW・デバイス,フォトニック結晶・ファイバとその応用,光集積回路,光導波路素子,光スイッチング,導波路解析,及び一般 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 OPE 
会議コード 2010-01-OPE-EMT-LQE-PN-EMT 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) アルミニウム表面プラズモンカラーフィルタ 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Aluminum surface plasmon color filter 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 表面プラズモン / Surface plasmon  
キーワード(2)(和/英) プラズマ周波数 / Plasma frequency  
キーワード(3)(和/英) 電子ビーム描画 / Electron beam lithography  
キーワード(4)(和/英) 反応性イオンエッチング / Reactive ion etching  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 池田 直樹 / Naoki Ikeda / イケダ ナオキ
第1著者 所属(和/英) 物質・材料研究機構 (略称: 物質・材料研究機構)
National Institute for Materials Science (略称: National Inst. for Materials Science)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 津谷 大樹 / Daiju Tsuya / ツヤダ イジュ
第2著者 所属(和/英) 物質・材料研究機構 (略称: 物質・材料研究機構)
National Institute for Materials Science (略称: National Inst. for Materials Science)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 杉本 喜正 / Yoshimasa Sugimoto / スギモト ヨシマサ
第3著者 所属(和/英) 物質・材料研究機構 (略称: 物質・材料研究機構)
National Institute for Materials Science (略称: National Inst. for Materials Science)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 小出 康夫 / Yasuo Koide / コイデ ヤスオ
第4著者 所属(和/英) 物質・材料研究機構 (略称: 物質・材料研究機構)
National Institute for Materials Science (略称: National Inst. for Materials Science)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 三浦 篤志 / Atsushi Miura / ミウラ アツシ
第5著者 所属(和/英) 豊田中央研究所 (略称: 豊田中研)
Toyota Central R&D Labs.,Inc. (略称: Toyota CRDL)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 井上 大介 / Daisuke Inoue / イノウエ ダイスケ
第6著者 所属(和/英) 豊田中央研究所 (略称: 豊田中研)
Toyota Central R&D Labs.,Inc. (略称: Toyota CRDL)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) 野村 壮士 / Tsuyoshi Nomura / ノムラ ツヨシ
第7著者 所属(和/英) 豊田中央研究所 (略称: 豊田中研)
Toyota Central R&D Labs.,Inc. (略称: Toyota CRDL)
第8著者 氏名(和/英/ヨミ) 藤川 久喜 / Hisayoshi Fujikawa / フジカワ ヒサヨシ
第8著者 所属(和/英) 豊田中央研究所 (略称: 豊田中研)
Toyota Central R&D Labs.,Inc. (略称: Toyota CRDL)
第9著者 氏名(和/英/ヨミ) 佐藤 和夫 / Kazuo Sato / サトウ カズオ
第9著者 所属(和/英) 豊田中央研究所 (略称: 豊田中研)
Toyota Central R&D Labs.,Inc. (略称: Toyota CRDL)
第10著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第10著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第11著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第11著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第12著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第12著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第13著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第13著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第14著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第14著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第15著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第15著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第16著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第16著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第17著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第17著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第18著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第18著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第19著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第19著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第20著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第20著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
講演者
発表日時 2010-01-29 14:25:00 
発表時間 25 
申込先研究会 OPE 
資料番号 IEICE-PN2009-59,IEICE-OPE2009-197,IEICE-LQE2009-179 
巻番号(vol) IEICE-109 
号番号(no) no.401(PN), no.402(OPE), no.403(LQE) 
ページ範囲 pp.129-132 
ページ数 IEICE-4 
発行日 IEICE-PN-2010-01-21,IEICE-OPE-2010-01-21,IEICE-LQE-2010-01-21 


[研究会発表申込システムのトップページに戻る]

[電子情報通信学会ホームページ]


IEICE / 電子情報通信学会