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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2009-12-18 14:55 金属－カーボン系薄膜の電気的・機械的性質 ○松本 宏・鎌田智之・梅村 茂（千葉工大）・矢部光範（日本自動車大）・廣野 滋（MESアフティ）・丹羽 修（産総研）・刀 東風（西安交通大）  EMD2009-110 エレソ技報アーカイブへのリンク：EMD2009-110 |
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| 抄録 | （和） | 金属ドープカーボン薄膜の成膜条件とその基礎的特性の関係を明らかにする一環として，RFスパッタ法によって成膜したNiドープおよびAgドープカーボン薄膜について，電気的・機械的性質および摩擦特性の評価を行った．その結果，Niドープカーボン薄膜およびAgドープカーボン薄膜は金属ドープ濃度の増加に伴い，導電性に優れ，耐摩耗性は劣る結果を示した．また，ノンドープカーボン薄膜と比較しNiドープカーボン薄膜は摩擦係数の増加，Agドープカーボン薄膜は摩擦係数に大きな差がないことを明らかにした． |
| （英） | To clarify the electrical and mechanical properties of various metal-doped carbon thin films, we deposited Ni- and Ag-doped carbon thin films onto silicon substrates. We did this analysis using RF sputtering and we also evaluated resistivily, wear durability and tribological characteristics of the thin films. The resistivity of Ni- and Ag-doped carbon thin films decreased with an increase in the Ni and Ag dopant concentration. The wear durability of Ni- and Ag-doped carbon thin films degraded as the Ni and Ag dopant concentration increased. The friction coefficient of the Ni-doped carbon thin films increased with an increase in the Ni concentration, and Ag-doped carbon thin films did not deteriorate with an increase in the Ag concentration. | |
| キーワード | （和） | RFスパッタリング / カーボン / 薄膜 / 金属ドープ / / / / |
| （英） | RF sputter / Carbon / Thin film / Metal doping / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 109, no. 352, EMD2009-110, pp. 21-24, 2009年12月. | |
| 資料番号 | EMD2009-110 | |
| 発行日 | 2009-12-11 (EMD) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | EMD2009-110 エレソ技報アーカイブへのリンク：EMD2009-110 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | EMD |
| 開催期間 | 2009-12-18 - 2009-12-18 |
| 開催地（和） | 千葉工業大学 津田沼キャンパス |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | EMD |
| 会議コード | 2009-12-EMD |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 金属－カーボン系薄膜の電気的・機械的性質 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Electrical and Mechanical Characteristics of Metal-Doped Carbon Thin Films |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | RFスパッタリング / RF sputter |
| キーワード(2)（和/英） | カーボン / Carbon |
| キーワード(3)（和/英） | 薄膜 / Thin film |
| キーワード(4)（和/英） | 金属ドープ / Metal doping |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 松本 宏 / Hiroshi Matsumoto / マツモト ヒロシ |
| 第1著者 所属（和/英） | 千葉工業大学 (略称： 千葉工大) Chiba Institute of Technology (略称： Chiba Inst. of Tech.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 鎌田 智之 / Tomoyuki Kamata / カマタ トモユキ |
| 第2著者 所属（和/英） | 千葉工業大学 (略称： 千葉工大) Chiba Institute of Technology (略称： Chiba Inst. of Tech.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 梅村 茂 / Shigeru Umemura / ウメムラ シゲル |
| 第3著者 所属（和/英） | 千葉工業大学 (略称： 千葉工大) Chiba Institute of Technology (略称： Chiba Inst. of Tech.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 矢部 光範 / Mitsunori Yabe / ヤベ ミツノリ |
| 第4著者 所属（和/英） | 日本自動車大学校 (略称： 日本自動車大) NIHON AUTOMOBILE COLLEGE (略称： NIHON AUTOMOBILE COLLEGE) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 廣野 滋 / Shigeru Hirono / ヒロノ シゲル |
| 第5著者 所属（和/英） | MESアフティ株式会社 (略称： MESアフティ) MES-AFTY Corporation (略称： MES-AFTY) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 丹羽 修 / Osamu Niwa / ニワ オサム |
| 第6著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 刀 東風 / Diao Dongfeng / |
| 第7著者 所属（和/英） | 西安交通大学 (略称： 西安交通大) Xi'an Jiaotong University (略称： Xi'an Jiaotong University) |
| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2009-12-18 14:55:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | EMD |
| 資料番号 | EMD2009-110 |
| 巻番号（vol） | vol.109 |
| 号番号（no） | no.352 |
| ページ範囲 | pp.21-24 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2009-12-11 (EMD) |
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