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講演抄録/キーワード
講演名 2009-11-13 10:00
自己発熱効果がナノスケールトランジスタの電気特性に与える影響
鎌倉良成森 伸也阪大/JST)・谷口研二阪大SDM2009-142 エレソ技報アーカイブへのリンク:SDM2009-142
抄録 (和) ナノスケールSi-MOSFET 内部における非平衡光学フォノンの発生とそれが電気特性に与える影響を数値シミュレーションを用いて解析した.準弾道伝導領域で動作するチャネル長10 nm 級の微細デバイスでは,ソースから注入された電子は印加電圧から得た運動エネルギーの大半をドレイン内部の局所域(∼ 数10 nm) にて光学フォノンを放出することで失う.光学フォノンは群速度が遅いため,熱が周囲に拡散するためにはフォノン-フォノン散乱による音響フォノンへの変換を待たなければならず,その過程がボトルネックとなった場合,非平衡光学フォノン分布,いわゆるホットフォノンが発生する.ホットフォノンの温度は音響フォノン温度よりも100 K 以上高温となるため信頼性への悪影響が懸念されるが,電流駆動力への影響は比較的軽微である. 
(英) Hot phonon generation and its impact on the current conduction in nanoscale Si-MOSFETs are investigated using numerical simulations. In the quasi-ballistic transport regime, injected electrons from the source lose their energies by emitting optical phonons in the drain. Since the group velocity of the optical phonons are very slow, the heat conduction can occur after the phonon-phonon scattering changes the optical phonons to the acoustic phonons, and if this process is too slow, then the hot phonons are generated. We demonstrate that the hot phonon temperature is larger than that of acoustic phonons by > 100 K, which would become a reliability concern, while its impact on the current conduction is not significant.
キーワード (和) MOSFET / 自己発熱 / ナノ / ホットフォノン / モンテカルロシミュレーション / 熱伝導方程式 / /  
(英) MOSFET / self-heating / nano / hot phonon / Monte Carlo simulation / heat conduction equation / /  
文献情報 信学技報, vol. 109, no. 278, SDM2009-142, pp. 39-44, 2009年11月.
資料番号 SDM2009-142 
発行日 2009-11-05 (SDM) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
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PDFダウンロード SDM2009-142 エレソ技報アーカイブへのリンク:SDM2009-142

研究会情報
研究会 SDM  
開催期間 2009-11-12 - 2009-11-13 
開催地(和) 機械振興会館 
開催地(英) Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. 
テーマ(和) プロセス・デバイス・回路シミュレーションおよび一般 
テーマ(英) Process, Device, Circuit Simulation, etc. 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 SDM 
会議コード 2009-11-SDM 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 自己発熱効果がナノスケールトランジスタの電気特性に与える影響 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Impact of Self-Heating Effect on the Electrical Characteristics of Nanoscale Transistors 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) MOSFET / MOSFET  
キーワード(2)(和/英) 自己発熱 / self-heating  
キーワード(3)(和/英) ナノ / nano  
キーワード(4)(和/英) ホットフォノン / hot phonon  
キーワード(5)(和/英) モンテカルロシミュレーション / Monte Carlo simulation  
キーワード(6)(和/英) 熱伝導方程式 / heat conduction equation  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 鎌倉 良成 / Yoshinari Kamakura / カマクラ ヨシナリ
第1著者 所属(和/英) 大阪大学/独立行政法人科学技術振興機構CREST (略称: 阪大/JST)
Osaka University/JST (略称: Osaka Univ./JST)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 森 伸也 / Nobuya Mori / モリ ノブヤ
第2著者 所属(和/英) 大阪大学/独立行政法人科学技術振興機構CREST (略称: 阪大/JST)
Osaka University/JST (略称: Osaka Univ./JST)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 谷口 研二 / Kenji Taniguchi / タニグチ ケンジ
第3著者 所属(和/英) 大阪大学 (略称: 阪大)
Osaka University (略称: Osaka Univ.)
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講演者
発表日時 2009-11-13 10:00:00 
発表時間 25 
申込先研究会 SDM 
資料番号 IEICE-SDM2009-142 
巻番号(vol) IEICE-109 
号番号(no) no.278 
ページ範囲 pp.39-44 
ページ数 IEICE-6 
発行日 IEICE-SDM-2009-11-05 


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