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講演抄録/キーワード
講演名 2009-11-12 15:30
MEMS等価回路ジェネレータの開発
藤原信代浅海和雄みずほ情報総研)・小池智之マイクロマシンセンター)・土屋智由京大)・橋口 原静岡大SDM2009-140 エレソ技報アーカイブへのリンク:SDM2009-140
抄録 (和) CMOS-MEMS(micro electromechanical system)デバイスの設計効率向上のために「等価回路ジェネレータ」と名づけた設計プラットフォームを開発した.等価回路ジェネレータはMEMSデバイスの等価回路モデル化もとづいている.これにより回路設計技術者は検出回路や駆動回路を含めた回路システム全体での回路シミュレーションを行うことが可能となる.本稿ではMEMSデバイスの機械的,電気的動作特性を表す等価回路導出手法について述べる.本手法では,エネルギー関数を用いて等価回路を導出する.本手法検証のために静電型櫛歯アクチュエータでの共振特性の実測比較を行った.本手法により導出した等価回路で回路シミュレーションを行い得られたアドミタンス特性は実測値とよく一致した. 
(英) In order to improve CMOS-integrated MEMS(micro electromechanical system) devices design efficiency, we developed a design platform, MEMS equivalent circuit generator, based on equivalent circuit model of MEMS devices. By using this design platform, design engineers can simulate complete circuits, including the peripheral circuits such as sensing and driving units. This paper describes equivalent circuit for MEMS for expressing mechanical and electromechanical element within circuit simulation, in order to simulate their dynamic behaviors easily. To obtain equivalent circuits, we have developed the unified procedure that incorporates energy functions. In order to validate this approach, the resonant property of electrostatic comb-drive actuator was simulated using the equivalent circuit generated and measured experimentally. The simulated resonant frequency was in good agreement with the measurement and the admittance characteristics were well described using this circuit.
キーワード (和) 回路シミュレーション / 等価回路 / 櫛歯アクチュエータ / 集積化MEMS / / / /  
(英) circuit simulation / equivalent circuit / comb drive actuator / CMOS-MEMS integration / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 109, no. 278, SDM2009-140, pp. 29-32, 2009年11月.
資料番号 SDM2009-140 
発行日 2009-11-05 (SDM) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
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PDFダウンロード SDM2009-140 エレソ技報アーカイブへのリンク:SDM2009-140

研究会情報
研究会 SDM  
開催期間 2009-11-12 - 2009-11-13 
開催地(和) 機械振興会館 
開催地(英) Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. 
テーマ(和) プロセス・デバイス・回路シミュレーションおよび一般 
テーマ(英) Process, Device, Circuit Simulation, etc. 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 SDM 
会議コード 2009-11-SDM 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) MEMS等価回路ジェネレータの開発 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Development of MEMS and Equivalent Circuit Generator 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 回路シミュレーション / circuit simulation  
キーワード(2)(和/英) 等価回路 / equivalent circuit  
キーワード(3)(和/英) 櫛歯アクチュエータ / comb drive actuator  
キーワード(4)(和/英) 集積化MEMS / CMOS-MEMS integration  
キーワード(5)(和/英) /  
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キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 藤原 信代 / Nobuyo Fujiwara / フジワラ ノブヨ
第1著者 所属(和/英) みずほ情報総研 株式会社 (略称: みずほ情報総研)
Mizuho Information & Research Institute, Inc. (略称: Mizuho Information & Research Institute)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 浅海 和雄 / Kazuo Asaumi / アサウミ カズオ
第2著者 所属(和/英) みずほ情報総研 株式会社 (略称: みずほ情報総研)
Mizuho Information & Research Institute, Inc. (略称: Mizuho Information & Research Institute)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 小池 智之 / Tomoyuki Koike / コイケ トモユキ
第3著者 所属(和/英) 財団法人 マイクロマシンセンター (略称: マイクロマシンセンター)
Micromachine Center (略称: Micromachine Center)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 土屋 智由 / Toshiyuki Tsuchiya / ツチヤ トシユキ
第4著者 所属(和/英) 京都大学 (略称: 京大)
Kyoto University (略称: Kyoto Univ,)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 橋口 原 / Gen Hashiguchi / ハシグチ ゲン
第5著者 所属(和/英) 静岡大学 (略称: 静岡大)
Shizuoka University (略称: Shizuoka Univ.)
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講演者
発表日時 2009-11-12 15:30:00 
発表時間 25 
申込先研究会 SDM 
資料番号 IEICE-SDM2009-140 
巻番号(vol) IEICE-109 
号番号(no) no.278 
ページ範囲 pp.29-32 
ページ数 IEICE-4 
発行日 IEICE-SDM-2009-11-05 


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