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講演抄録/キーワード
講演名 2009-10-29 17:15
大規模アレイTEGを用いた長時間測定によるランダム・テレグラフ・シグナルの統計的評価
藤澤孝文阿部健一渡部俊一宮本直人寺本章伸須川成利大見忠弘東北大SDM2009-123 エレソ技報アーカイブへのリンク:SDM2009-123
抄録 (和) MOSFETの微細化,低ノイズデバイス作製のために,RTSノイズを抑制することが必要である.本報告では短時間で多数個のRTS特性が評価できる大規模アレイテスト回路を用いてRTS特性のゲートバイアス依存性を測定した.ゲートバイアスの減少に伴い,振幅は増大し,捕獲・放出時定数比は大きくなった.時定数比のゲートバイアス依存性から,絶縁膜中のトラップの分布について議論し,時定数比の抽出がトラップのエネルギー準位抽出に有用であることを示した. 
(英) For the development of miniaturizing MOSFET and manufacturing low noise devices, it is important to suppress RTS noise. In this report, we measured the gate bias voltage dependence of RTS characteristic with large-scale array test pattern that we are able to evaluate a large number of RTS characteristic in a short time. The amplitude increases and the time constant ratio increases as gate bias voltage decreases. We discuss the energy level of traps in an insulator film with the gate bias voltage dependence of time constant ratio. Extraction time constant ratio is useful for determination of the energy level of traps.
キーワード (和) MOSFET / ばらつき / ランダム・テレグラフ・シグナル(RTS) / 時定数 / トラップ / / /  
(英) MOSFET / variability / Random Telegraph Signal(RTS) / time constant / trap / / /  
文献情報 信学技報, vol. 109, no. 257, SDM2009-123, pp. 31-36, 2009年10月.
資料番号 SDM2009-123 
発行日 2009-10-22 (SDM) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685    Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード SDM2009-123 エレソ技報アーカイブへのリンク:SDM2009-123

研究会情報
研究会 SDM  
開催期間 2009-10-29 - 2009-10-30 
開催地(和) 東北大学 
開催地(英) Tohoku University 
テーマ(和) プロセス科学と新プロセス技術 
テーマ(英) Semiconductor process science and new technology 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 SDM 
会議コード 2009-10-SDM 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 大規模アレイTEGを用いた長時間測定によるランダム・テレグラフ・シグナルの統計的評価 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Statistical Analysis of Random Telegraph Signal Using a Large-Scale Array TEG with a Long Time Measurement 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) MOSFET / MOSFET  
キーワード(2)(和/英) ばらつき / variability  
キーワード(3)(和/英) ランダム・テレグラフ・シグナル(RTS) / Random Telegraph Signal(RTS)  
キーワード(4)(和/英) 時定数 / time constant  
キーワード(5)(和/英) トラップ / trap  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 藤澤 孝文 / Takafumi Fujisawa / フジサワ タカフミ
第1著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 阿部 健一 / Kenichi Abe / アベ ケンイチ
第2著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 渡部 俊一 / Syunichi Watabe / ワタベ シュンイチ
第3著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 宮本 直人 / Naoto Miyamoto / ミヤモト ナオト
第4著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 寺本 章伸 / Akinobu Teramoto / テラモト アキノブ
第5著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 須川 成利 / Shigetoshi Sugawa / スガワ シゲトシ
第6著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) 大見 忠弘 / Tadahiro Ohmi / オオミ タダヒロ
第7著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
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講演者 第1著者 
発表日時 2009-10-29 17:15:00 
発表時間 30分 
申込先研究会 SDM 
資料番号 SDM2009-123 
巻番号(vol) vol.109 
号番号(no) no.257 
ページ範囲 pp.31-36 
ページ数
発行日 2009-10-22 (SDM) 


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