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講演抄録/キーワード
講演名 2009-10-23 10:15
アモルファスシリコンを用いた積層型方向性結合器の試作
榊原陽一亀井利浩糸賀恵美子岡野 誠金高健二庄司雄哉森 雅彦産総研OCS2009-66 OPE2009-132 LQE2009-91 エレソ技報アーカイブへのリンク:OPE2009-132 LQE2009-91
抄録 (和) アモルファスシリコンは、薄膜堆積を繰り返すことで、立体的な光配線が原理的に作製可能である。本研究では、水素化アモルファスシリコン薄膜の光通信波長帯での光学特性を光吸収と屈折率の面から検討し、i線ステッパを用いた細線導波路微細加工技術を検討し、アモルファスシリコンの細線導波路を上下方向に積層した立体型の方向性結合器の試作を試みた。 
(英) With repeated depositions of amorphous silicon thin layers three-dimensional optical wiring is possible in principle. In this work we investigated the optical properties of the hydrogenated amorphous thin film at the optical telecommunication wavelengths from optical absorption and refractive index. We also investigated the fabrication ability of wire waveguides made of the amorphous silicon with an i-line stepper and a vertical directional coupler.
キーワード (和) アモルファスシリコン / 導波路 / 積層型方向性結合器 / / / / /  
(英) Amorphous Silicon / Waveguide / Vertical Directional Coupler / / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 109, no. 244, OPE2009-132, pp. 125-129, 2009年10月.
資料番号 OPE2009-132 
発行日 2009-10-15 (OCS, OPE, LQE) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード OCS2009-66 OPE2009-132 LQE2009-91 エレソ技報アーカイブへのリンク:OPE2009-132 LQE2009-91

研究会情報
研究会 OPE LQE OCS  
開催期間 2009-10-22 - 2009-10-23 
開催地(和) 九州大学 
開催地(英)  
テーマ(和) 超高速 伝送・変復調・分散補償技術,超高速光信号処理技術,広帯域光増幅・WDM技術、受光デバイス,高光出力伝送技術,一般,(ECOC報告) 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 OPE 
会議コード 2009-10-OPE-LQE-OCS 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) アモルファスシリコンを用いた積層型方向性結合器の試作 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Vertical Directional Coupler Made of Amorphous Silicon Waveguides 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) アモルファスシリコン / Amorphous Silicon  
キーワード(2)(和/英) 導波路 / Waveguide  
キーワード(3)(和/英) 積層型方向性結合器 / Vertical Directional Coupler  
キーワード(4)(和/英) /  
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キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 榊原 陽一 / Youichi Sakakibara / サカキバラ ヨウイチ
第1著者 所属(和/英) 産業技術総合研究所 (略称: 産総研)
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称: AIST)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 亀井 利浩 / Toshihiro Kamei / カメイ トシヒロ
第2著者 所属(和/英) 産業技術総合研究所 (略称: 産総研)
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称: AIST)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 糸賀 恵美子 / Emiko Itoga / イトガ エミコ
第3著者 所属(和/英) 産業技術総合研究所 (略称: 産総研)
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称: AIST)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 岡野 誠 / Makoto Okano / オカノ マコト
第4著者 所属(和/英) 産業技術総合研究所 (略称: 産総研)
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称: AIST)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 金高 健二 / Kenji Kintaka / キンタカ ケンジ
第5著者 所属(和/英) 産業技術総合研究所 (略称: 産総研)
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称: AIST)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 庄司 雄哉 / Yuya Shoji / ショウジ ユウヤ
第6著者 所属(和/英) 産業技術総合研究所 (略称: 産総研)
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称: AIST)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) 森 雅彦 / Masahiko Mori / モリ マサヒコ
第7著者 所属(和/英) 産業技術総合研究所 (略称: 産総研)
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称: AIST)
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講演者
発表日時 2009-10-23 10:15:00 
発表時間 25 
申込先研究会 OPE 
資料番号 IEICE-OCS2009-66,IEICE-OPE2009-132,IEICE-LQE2009-91 
巻番号(vol) IEICE-109 
号番号(no) no.243(OCS), no.244(OPE), no.245(LQE) 
ページ範囲 pp.125-129 
ページ数 IEICE-5 
発行日 IEICE-OCS-2009-10-15,IEICE-OPE-2009-10-15,IEICE-LQE-2009-10-15 


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