| 電子情報通信学会 研究会発表申込システム 講演論文 詳細 |
技報閲覧サービス [ログイン] 技報アーカイブ |
| トップに戻る | 前のページに戻る | [Japanese] / [English] |
| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2009-10-23 10:15 アモルファスシリコンを用いた積層型方向性結合器の試作 ○榊原陽一・亀井利浩・糸賀恵美子・岡野 誠・金高健二・庄司雄哉・森 雅彦（産総研）  OCS2009-66 OPE2009-132 LQE2009-91 エレソ技報アーカイブへのリンク：OPE2009-132 LQE2009-91 |
|
| 抄録 | （和） | アモルファスシリコンは、薄膜堆積を繰り返すことで、立体的な光配線が原理的に作製可能である。本研究では、水素化アモルファスシリコン薄膜の光通信波長帯での光学特性を光吸収と屈折率の面から検討し、ｉ線ステッパを用いた細線導波路微細加工技術を検討し、アモルファスシリコンの細線導波路を上下方向に積層した立体型の方向性結合器の試作を試みた。 |
| （英） | With repeated depositions of amorphous silicon thin layers three-dimensional optical wiring is possible in principle. In this work we investigated the optical properties of the hydrogenated amorphous thin film at the optical telecommunication wavelengths from optical absorption and refractive index. We also investigated the fabrication ability of wire waveguides made of the amorphous silicon with an i-line stepper and a vertical directional coupler. | |
| キーワード | （和） | アモルファスシリコン / 導波路 / 積層型方向性結合器 / / / / / |
| （英） | Amorphous Silicon / Waveguide / Vertical Directional Coupler / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 109, no. 244, OPE2009-132, pp. 125-129, 2009年10月. | |
| 資料番号 | OPE2009-132 | |
| 発行日 | 2009-10-15 (OCS, OPE, LQE) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | OCS2009-66 OPE2009-132 LQE2009-91 エレソ技報アーカイブへのリンク：OPE2009-132 LQE2009-91 |
|
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OPE LQE OCS |
| 開催期間 | 2009-10-22 - 2009-10-23 |
| 開催地（和） | 九州大学 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 超高速 伝送・変復調・分散補償技術，超高速光信号処理技術，広帯域光増幅・WDM技術、受光デバイス，高光出力伝送技術，一般，（ECOC報告） |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | OPE |
| 会議コード | 2009-10-OPE-LQE-OCS |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | アモルファスシリコンを用いた積層型方向性結合器の試作 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Vertical Directional Coupler Made of Amorphous Silicon Waveguides |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | アモルファスシリコン / Amorphous Silicon |
| キーワード(2)（和/英） | 導波路 / Waveguide |
| キーワード(3)（和/英） | 積層型方向性結合器 / Vertical Directional Coupler |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 榊原 陽一 / Youichi Sakakibara / サカキバラ ヨウイチ |
| 第1著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 亀井 利浩 / Toshihiro Kamei / カメイ トシヒロ |
| 第2著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 糸賀 恵美子 / Emiko Itoga / イトガ エミコ |
| 第3著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 岡野 誠 / Makoto Okano / オカノ マコト |
| 第4著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 金高 健二 / Kenji Kintaka / キンタカ ケンジ |
| 第5著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 庄司 雄哉 / Yuya Shoji / ショウジ ユウヤ |
| 第6著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 森 雅彦 / Masahiko Mori / モリ マサヒコ |
| 第7著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第8著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第9著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第9著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第10著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第10著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第11著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第11著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第12著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第12著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第13著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第13著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第14著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第14著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第15著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第15著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第16著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第16著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第17著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第17著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第18著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第18著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2009-10-23 10:15:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | OPE |
| 資料番号 | OCS2009-66, OPE2009-132, LQE2009-91 |
| 巻番号（vol） | vol.109 |
| 号番号（no） | no.243(OCS), no.244(OPE), no.245(LQE) |
| ページ範囲 | pp.125-129 |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2009-10-15 (OCS, OPE, LQE) |
[研究会発表申込システムのトップページに戻る]