| 電子情報通信学会 研究会発表申込システム 講演論文 詳細 |
技報閲覧サービス [ログイン] 技報アーカイブ |
| トップに戻る | 前のページに戻る | [Japanese] / [English] |
| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2009-10-15 15:05 窒化ハフニウム電界放出電子源の動作特性 ○後藤康仁・池田啓太・宮田雄高・遠藤恵介・辻 博司（京大）  ED2009-119 エレソ技報アーカイブへのリンク：ED2009-119 |
|
| 抄録 | （和） | 窒化ハフニウム(HfN)を陰極とする1,024-tipの微小電子源アレイ(FEA)を製作し、 三極管構成でその電子放出特性を調べた。 ゲートを接地し、エミッタに負電圧を与え、 コレクタに正電圧を与えた条件で、電流電圧特性を測定し、 1,024-tipのアレイでは相互コンダクタンス として 2~$\mu$S、コレクタ抵抗 1~G$\Omega$の値を得た。 これらの値から電圧増幅率として最大2,000が得られる計算となる。 実際にこの三極管構成で交流信号の増幅を確認し、電圧利得として7.2dBの値を 得た。 電流電圧特性を室温から300$^\circ$Cの温度範囲において測定し、 特性に変化がほとんど無いことを確かめた。 以上からHfN-FEAが高い温度で動作できる電子デバイスとして期待できることを示した。 |
| （英） | We have fabricated field emitter array (FEA) with hafnium nitride (HfN) cathode. The electron emission characteristics of HfN-FEA were investigated with a triode configuration. The current-voltage characteristics were investigated under the following conditions: the gate was grounded, the emitter and the collector were negatively and positively biased, respectively. The transconductance of 2~$\mu$S, and collector resistance of 1~G$\Omega$ were obtained for 1,024-tip FEA, and the calculated voltage amplification factor reached 2,000. Amplification of an ac signal was experimentally confirmed, and maximum voltage gain of 7.2 dB was obtained. The emission characteristics at the temperature up to 300$^\circ$C were investigated, and little change was observed between the room temperature and 300$^\circ$C. The results suggested that HfN-FEA is possible device which could be operated at an elevated temperatures. |
|
| キーワード | （和） | 窒化ハフニウム / 電界放出電子源 / 電圧電流特性 / 増幅器 / 周波数特性 / 温度特性 / / |
| （英） | hafnium nitride / field emitter array / current-voltage characteristics / amplifier / frequency characteristics / high temperature operation / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 109, no. 230, ED2009-119, pp. 17-20, 2009年10月. | |
| 資料番号 | ED2009-119 | |
| 発行日 | 2009-10-08 (ED) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2009-119 エレソ技報アーカイブへのリンク：ED2009-119 |
|
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
| 開催期間 | 2009-10-15 - 2009-10-16 |
| 開催地（和） | 福井大学 産学官連携本部（旧地域共同研究センター） ３階 研修室 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 電子管と真空ナノエレクトロニクス及びその評価技術 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | ED |
| 会議コード | 2009-10-ED |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 窒化ハフニウム電界放出電子源の動作特性 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Electron emission characteristics of field emitter array with hafnium nitride cathode |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 窒化ハフニウム / hafnium nitride |
| キーワード(2)（和/英） | 電界放出電子源 / field emitter array |
| キーワード(3)（和/英） | 電圧電流特性 / current-voltage characteristics |
| キーワード(4)（和/英） | 増幅器 / amplifier |
| キーワード(5)（和/英） | 周波数特性 / frequency characteristics |
| キーワード(6)（和/英） | 温度特性 / high temperature operation |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 後藤 康仁 / Yasuhito Gotoh / ゴトウ ヤスヒト |
| 第1著者 所属（和/英） | 京都大学 (略称： 京大) Kyoto University (略称： Kyoto Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 池田 啓太 / Keita Ikeda / イケダ ケイタ |
| 第2著者 所属（和/英） | 京都大学 (略称： 京大) Kyoto University (略称： Kyoto Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 宮田 雄高 / Yuko Miyata / ミヤタ ユウコウ |
| 第3著者 所属（和/英） | 京都大学 (略称： 京大) Kyoto University (略称： Kyoto Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 遠藤 恵介 / Keisuke Endo / エンドウ ケイスケ |
| 第4著者 所属（和/英） | 京都大学 (略称： 京大) Kyoto University (略称： Kyoto Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 辻 博司 / Hiroshi Tsuji / ツジ ヒロシ |
| 第5著者 所属（和/英） | 京都大学 (略称： 京大) Kyoto University (略称： Kyoto Univ.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第6著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第7著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第8著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第9著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第9著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第10著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第10著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第11著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第11著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第12著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第12著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第13著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第13著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第14著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第14著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第15著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第15著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第16著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第16著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第17著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第17著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第18著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第18著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2009-10-15 15:05:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | ED |
| 資料番号 | ED2009-119 |
| 巻番号（vol） | vol.109 |
| 号番号（no） | no.230 |
| ページ範囲 | pp.17-20 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2009-10-08 (ED) |
[研究会発表申込システムのトップページに戻る]