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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2009-09-30 11:45 LFB超音波材料解析システムによる石英ガラス上のZnO多結晶薄膜の評価 ○近藤貴則・吉田 翔・高麗友輔・大橋雄二・荒川元孝・櫛引淳一（東北大）・藤井 知（セイコーエプソン）  US2009-53 |
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| 抄録 | （和） | DCスパッタリング法およびRFマグネトロンスパッタリング法により合成石英ガラス基板上に作製した複数の異なる膜厚のZnO多結晶薄膜に対して直線集束ビーム超音波材料解析(LFB-UMC)システムにより漏洩弾性表面波(LSAW)の速度の周波数依存性を測定した。その測定結果は、周波数fと膜厚Hの積fHの依存性の数値計算値と同様な傾向を示した。しかし、膜厚が厚くなるほどLSAW速度の測定値は計算値より小さくなり、fH=1680 Hz·mでは計算値(2672.1 m/s)に対してRF-ZnO filmで27.2 m/s、DC-ZnO filmで42.6 m/sの速度低下が検出された。これは多結晶構造に起因した弾性定数 の低下によるものと考えられ、DC-ZnO filmで約6%、RF-ZnO filmで約3%の低下に相当すると見積もられた。また、225 MHzでLSAW速度の分布測定を行ったところ、4-mm厚のDC-ZnO filmにおいて特に大きな速度分布(約22 m/s)を検出した。LSAW速度のfH依存性を用いて得られた速度分布の結果から膜厚分布を見積もると、DC-ZnO filmは約0.66 µm、RF-ZnO filmは約0.04 µmであった。以上のように、本超音波法により、異なる製法のZnO薄膜に対する特性の違いを検出できることを実証した。 |
| （英） | We evaluated several ZnO polycrystalline films with different thicknesses fabricated on silica glass substrates by DC sputtering and RF magnetron sputtering methods using a line-focus-beam ultrasonic material characterization (LFB-UMC) system. We measured fH (product of frequency f and film thickness H) dependences of leaky surface acoustic wave (LSAW) velocities from 100 to 300 MHz for each ZnO-film specimen. The measured results exhibited an fH dependence similar to the calculated ones. The LSAW velocities decreased from 3424 m/s for silica glass to 2672 m/s for Z-cut ZnO single crystal as fH increased. The measured LSAW velocities became lower than the calculated ones: decreasing of 27.2 m/s for the RF-ZnO film and 42.6 m/s for the DC-ZnO film from a calculated value of 2672.1 m/s at fH=1680 Hz·m. These velocity decreases were explained due to decreases in elastic constant associated with ZnO polycrystalline film structure: about 6% for the DC-ZnO film and about 3% for the RF-ZnO film. We also measured LSAW velocity distributions at 225 MHz and obtained a large velocity variation of about 22 m/s for a 4-mm-thick DC-ZnO film specimen. We estimated film thickness distributions from the fH dependence of LSAW velocities, resulting in about 0.66 µm for the DC-ZnO film and about 0.04 µm for the RF-ZnO film. We demonstrated that our ultrasonic method is useful for evaluating significant difference in acoustic properties between two ZnO films with different c-axis orientations fabricated by different sputtering methods. | |
| キーワード | （和） | ZnO多結晶薄膜 / DCスパッタ法 / RFマグネトロンスパッタ法 / 直線集束ビーム超音波材料解析システム / 漏洩弾性表面波速度 / / / |
| （英） | ZnO polycrystalline film / DC sputtering method / RF magnetron sputtering method / line-focus-beam ultrasonic material characterization system / leaky surface acoustic wave velocity / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 109, no. 213, US2009-53, pp. 89-94, 2009年9月. | |
| 資料番号 | US2009-53 | |
| 発行日 | 2009-09-22 (US) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | US2009-53 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
| 開催期間 | 2009-09-29 - 2009-09-30 |
| 開催地（和） | 祝いの宿 登別グランドホテル 会議室 |
| 開催地（英） | Noboribetsu Grand Hotel |
| テーマ（和） | 一般 |
| テーマ（英） | General |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | US |
| 会議コード | 2009-09-US |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | LFB超音波材料解析システムによる石英ガラス上のZnO多結晶薄膜の評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Characterization of ZnO Polycrystalline Films on Silica Glass by the LFB Ultrasonic Material Characterization System |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | ZnO多結晶薄膜 / ZnO polycrystalline film |
| キーワード(2)（和/英） | DCスパッタ法 / DC sputtering method |
| キーワード(3)（和/英） | RFマグネトロンスパッタ法 / RF magnetron sputtering method |
| キーワード(4)（和/英） | 直線集束ビーム超音波材料解析システム / line-focus-beam ultrasonic material characterization system |
| キーワード(5)（和/英） | 漏洩弾性表面波速度 / leaky surface acoustic wave velocity |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 近藤 貴則 / Takanori Kondo / コンドウ タカノリ |
| 第1著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 吉田 翔 / Sho Yoshida / ヨシダ ショウ |
| 第2著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 高麗 友輔 / Yuusuke Kourai / コウライ ユウスケ |
| 第3著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 大橋 雄二 / Yuji Ohashi / オオハシ ユウジ |
| 第4著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 荒川 元孝 / Mototaka Arakawa / アラカワ モトタカ |
| 第5著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 櫛引 淳一 / Jun-ichi Kushibiki / クシビキ ジュンイチ |
| 第6著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 藤井 知 / Satoshi Fujii / フジイ サトシ |
| 第7著者 所属（和/英） | セイコーエプソン 株式会社 (略称： セイコーエプソン) SEIKO EPSON CORPORATION (略称： SEIKO EPSON) |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2009-09-30 11:45:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | US |
| 資料番号 | US2009-53 |
| 巻番号（vol） | vol.109 |
| 号番号（no） | no.213 |
| ページ範囲 | pp.89-94 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2009-09-22 (US) |
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