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講演抄録/キーワード
講演名 2009-08-21 14:50
スパッタリング法によるErドープTaOx薄膜の作製とその発光特性
三浦健太狩野一総伏木厳穣シン マヤンク花泉 修群馬大EMD2009-53 CPM2009-77 OPE2009-101 LQE2009-60 エレソ技報アーカイブへのリンク:EMD2009-53 CPM2009-77 OPE2009-101 LQE2009-60
抄録 (和) rfスパッタリングによりErドープTaOx薄膜を成膜し,アニール後,波長550nm及び670nm付近の2つの発光ピークが発現することを確認した.他の手法で作製されたErドープTaOxと同様,波長550nm付近の発光ピークが優勢であり,肉眼では緑色発光として観察することができた.更に,Er濃度0.96mol%程度,アニール温度900℃,アニール時間20分とした場合が,波長550nm付近のピーク強度が最大となることがわかった. 
(英) Er-doped TaOx films were prepared by using rf magnetron sputtering. Visible photoluminescence was obtained from the films after annealing under excitation with a He-Cd laser (λ=325 nm). Two peaks having wavelengths around 550 and 670 nm were observed from the films annealed at 800 to 1100 degrees centigrade. The strongest intensity of the 550-nm (green) peak was obtained from the film with 0.96 mol% of Er concentration after annealing at 900 degrees centigrade for 20 min. Such sputtered films which emit visible light can be useful as high-index materials for novel active devices using autocloned photonic crystals.
キーワード (和) 酸化タンタル / エルビウム / スパッタリング / アニール / 可視発光 / / /  
(英) TaOx / Er / Sputtering / Annealing / Visible-light emission / / /  
文献情報 信学技報, vol. 109, no. 175, OPE2009-101, pp. 141-144, 2009年8月.
資料番号 OPE2009-101 
発行日 2009-08-13 (EMD, CPM, OPE, LQE) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685    Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード EMD2009-53 CPM2009-77 OPE2009-101 LQE2009-60 エレソ技報アーカイブへのリンク:EMD2009-53 CPM2009-77 OPE2009-101 LQE2009-60

研究会情報
研究会 OPE EMD CPM LQE  
開催期間 2009-08-20 - 2009-08-21 
開催地(和) 東北大学 
開催地(英)  
テーマ(和) 光部品・電子デバイス実装技術、一般 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 OPE 
会議コード 2009-08-OPE-EMD-CPM-LQE 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) スパッタリング法によるErドープTaOx薄膜の作製とその発光特性 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Light-emitting properties of Er-doped TaOx thin films fabricated by using rf sputtering 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 酸化タンタル / TaOx  
キーワード(2)(和/英) エルビウム / Er  
キーワード(3)(和/英) スパッタリング / Sputtering  
キーワード(4)(和/英) アニール / Annealing  
キーワード(5)(和/英) 可視発光 / Visible-light emission  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 三浦 健太 / Kenta Miura / ミウラ ケンタ
第1著者 所属(和/英) 群馬大学 (略称: 群馬大)
Gunma University (略称: Gunma Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 狩野 一総 / Kazusa Kano / カノウ カズサ
第2著者 所属(和/英) 群馬大学 (略称: 群馬大)
Gunma University (略称: Gunma Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 伏木 厳穣 / Genjyo Fusegi / フセギ ゲンジョウ
第3著者 所属(和/英) 群馬大学 (略称: 群馬大)
Gunma University (略称: Gunma Univ.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) シン マヤンク / Mayank Singh / シン マヤンク
第4著者 所属(和/英) 群馬大学 (略称: 群馬大)
Gunma University (略称: Gunma Univ.)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 花泉 修 / Osamu Hanaizumi / ハナイズミ オサム
第5著者 所属(和/英) 群馬大学 (略称: 群馬大)
Gunma University (略称: Gunma Univ.)
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講演者 第1著者 
発表日時 2009-08-21 14:50:00 
発表時間 25分 
申込先研究会 OPE 
資料番号 EMD2009-53, CPM2009-77, OPE2009-101, LQE2009-60 
巻番号(vol) vol.109 
号番号(no) no.173(EMD), no.174(CPM), no.175(OPE), no.176(LQE) 
ページ範囲 pp.141-144 
ページ数
発行日 2009-08-13 (EMD, CPM, OPE, LQE) 


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