講演抄録/キーワード |
講演名 |
2009-08-21 14:50
スパッタリング法によるErドープTaOx薄膜の作製とその発光特性 ○三浦健太・狩野一総・伏木厳穣・シン マヤンク・花泉 修(群馬大) EMD2009-53 CPM2009-77 OPE2009-101 LQE2009-60 エレソ技報アーカイブへのリンク:EMD2009-53 CPM2009-77 OPE2009-101 LQE2009-60 |
抄録 |
(和) |
rfスパッタリングによりErドープTaOx薄膜を成膜し,アニール後,波長550nm及び670nm付近の2つの発光ピークが発現することを確認した.他の手法で作製されたErドープTaOxと同様,波長550nm付近の発光ピークが優勢であり,肉眼では緑色発光として観察することができた.更に,Er濃度0.96mol%程度,アニール温度900℃,アニール時間20分とした場合が,波長550nm付近のピーク強度が最大となることがわかった. |
(英) |
Er-doped TaOx films were prepared by using rf magnetron sputtering. Visible photoluminescence was obtained from the films after annealing under excitation with a He-Cd laser (λ=325 nm). Two peaks having wavelengths around 550 and 670 nm were observed from the films annealed at 800 to 1100 degrees centigrade. The strongest intensity of the 550-nm (green) peak was obtained from the film with 0.96 mol% of Er concentration after annealing at 900 degrees centigrade for 20 min. Such sputtered films which emit visible light can be useful as high-index materials for novel active devices using autocloned photonic crystals. |
キーワード |
(和) |
酸化タンタル / エルビウム / スパッタリング / アニール / 可視発光 / / / |
(英) |
TaOx / Er / Sputtering / Annealing / Visible-light emission / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 109, no. 175, OPE2009-101, pp. 141-144, 2009年8月. |
資料番号 |
OPE2009-101 |
発行日 |
2009-08-13 (EMD, CPM, OPE, LQE) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
PDFダウンロード |
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研究会情報 |
研究会 |
OPE EMD CPM LQE |
開催期間 |
2009-08-20 - 2009-08-21 |
開催地(和) |
東北大学 |
開催地(英) |
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テーマ(和) |
光部品・電子デバイス実装技術、一般 |
テーマ(英) |
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講演論文情報の詳細 |
申込み研究会 |
OPE |
会議コード |
2009-08-OPE-EMD-CPM-LQE |
本文の言語 |
日本語 |
タイトル(和) |
スパッタリング法によるErドープTaOx薄膜の作製とその発光特性 |
サブタイトル(和) |
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タイトル(英) |
Light-emitting properties of Er-doped TaOx thin films fabricated by using rf sputtering |
サブタイトル(英) |
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キーワード(1)(和/英) |
酸化タンタル / TaOx |
キーワード(2)(和/英) |
エルビウム / Er |
キーワード(3)(和/英) |
スパッタリング / Sputtering |
キーワード(4)(和/英) |
アニール / Annealing |
キーワード(5)(和/英) |
可視発光 / Visible-light emission |
キーワード(6)(和/英) |
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キーワード(7)(和/英) |
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キーワード(8)(和/英) |
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第1著者 氏名(和/英/ヨミ) |
三浦 健太 / Kenta Miura / ミウラ ケンタ |
第1著者 所属(和/英) |
群馬大学 (略称: 群馬大)
Gunma University (略称: Gunma Univ.) |
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) |
狩野 一総 / Kazusa Kano / カノウ カズサ |
第2著者 所属(和/英) |
群馬大学 (略称: 群馬大)
Gunma University (略称: Gunma Univ.) |
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) |
伏木 厳穣 / Genjyo Fusegi / フセギ ゲンジョウ |
第3著者 所属(和/英) |
群馬大学 (略称: 群馬大)
Gunma University (略称: Gunma Univ.) |
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) |
シン マヤンク / Mayank Singh / シン マヤンク |
第4著者 所属(和/英) |
群馬大学 (略称: 群馬大)
Gunma University (略称: Gunma Univ.) |
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) |
花泉 修 / Osamu Hanaizumi / ハナイズミ オサム |
第5著者 所属(和/英) |
群馬大学 (略称: 群馬大)
Gunma University (略称: Gunma Univ.) |
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第7著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第8著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第9著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第10著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第11著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第12著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第13著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第14著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第15著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第16著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第20著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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講演者 |
第1著者 |
発表日時 |
2009-08-21 14:50:00 |
発表時間 |
25分 |
申込先研究会 |
OPE |
資料番号 |
EMD2009-53, CPM2009-77, OPE2009-101, LQE2009-60 |
巻番号(vol) |
vol.109 |
号番号(no) |
no.173(EMD), no.174(CPM), no.175(OPE), no.176(LQE) |
ページ範囲 |
pp.141-144 |
ページ数 |
4 |
発行日 |
2009-08-13 (EMD, CPM, OPE, LQE) |