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講演抄録/キーワード
講演名 2009-08-10 16:30
原子状水素照射によるダイヤモンドライクカーボン膜の化学結合状態の変化
遲澤遼一中澤日出樹奥崎知秀佐藤直之遠田義晴弘前大)・末光眞希東北大エレソ技報アーカイブへのリンク:CPM2009-37
抄録 (和) KrFエキシマレーザーを用いたレーザーアブレーション法によりSi基板上にダイヤモンドライクカーボン(diamond-like carbon; DLC)膜を作製し、原子状水素を照射して膜表面の化学結合・電子状態および構造の変化を調べた。膜表面の化学結合・電子状態および構造は、それぞれシンクロトロン放射光を用いた光電子分光(photoelectron spectroscopy; PES)およびラマン分光により調べた。C 1s および価電子帯PESスペクトルから、原子状水素の照射時間の増加に伴い基板温度400$^{\circ}$Cでは膜表面のsp$^3$成分は増加し、700$^{\circ}$Cではsp$^3$ 成分は減少することがわかった。また、400$^{\circ}$Cにおいても表面近傍の膜内部ではsp$^2$炭素のクラスタリングが進行していることがわかった。 
(英) We have deposited diamond-like carbon (DLC) films on Si substrate by pulsed laser deposition using KrF excimer laser, and investigated the effects of atomic-hydrogen irradiation on the chemical bonding and electronic states and the structure of the films by photoelectron spectroscopy (PES) using synchrotron radiation and Raman spectroscopy. The fraction of sp$^3$ bonds at the film surface, as evaluated from C1s and valence-band PES spectra, increased at a substrate temperature of 400$^{\circ}$C with increasing atomic-hydrogen exposure time, whereas the sp$^3$ fraction decreased at 700$^{\circ}$C with the exposure time. The Raman spectrum for the film exposed to atomic hydrogen at 400$^{\circ}$C showed that the clustering of sp$^2$ carbon progressed in the film near the surface at the low temperature.
キーワード (和) ダイヤモンドライクカーボン / 光電子分光 / 原子状水素 / / / / /  
(英) Diamond-like carbon / Photoelectron spectroscopy / Atomic hydrogen / / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 109, no. 171, CPM2009-37, pp. 19-24, 2009年8月.
資料番号 CPM2009-37 
発行日 2009-08-03 (CPM) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
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研究会情報
研究会 CPM  
開催期間 2009-08-10 - 2009-08-11 
開催地(和) 弘前大学 
開催地(英) Hirosaki Univ. 
テーマ(和) 電子部品・材料,一般 
テーマ(英) Electronic Component Parts and Materials, etc. 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 CPM 
会議コード 2009-08-CPM 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 原子状水素照射によるダイヤモンドライクカーボン膜の化学結合状態の変化 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Changes in Chemical Bonding States of Diamond-Like Carbon Films by Atomic Hydrogen Irradiation 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) ダイヤモンドライクカーボン / Diamond-like carbon  
キーワード(2)(和/英) 光電子分光 / Photoelectron spectroscopy  
キーワード(3)(和/英) 原子状水素 / Atomic hydrogen  
キーワード(4)(和/英) /  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 遲澤 遼一 / Ryoichi Osozawa / オソザワ リョウイチ
第1著者 所属(和/英) 弘前大学 (略称: 弘前大)
Hirosaki University (略称: Hirosaki Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 中澤 日出樹 / Hideki Nakazawa / ナカザワ ヒデキ
第2著者 所属(和/英) 弘前大学 (略称: 弘前大)
Hirosaki University (略称: Hirosaki Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 奥崎 知秀 / Tomohide Okuzaki / オクザキ トモヒデ
第3著者 所属(和/英) 弘前大学 (略称: 弘前大)
Hirosaki University (略称: Hirosaki Univ.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 佐藤 直之 / Naoyuki Satoh / サトウ ナオユキ
第4著者 所属(和/英) 弘前大学 (略称: 弘前大)
Hirosaki University (略称: Hirosaki Univ.)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 遠田 義晴 / Yoshiharu Enta / エンタ ヨシハル
第5著者 所属(和/英) 弘前大学 (略称: 弘前大)
Hirosaki University (略称: Hirosaki Univ.)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 末光 眞希 / Maki Suemitsu / スエミツ マキ
第6著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
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講演者
発表日時 2009-08-10 16:30:00 
発表時間 25 
申込先研究会 CPM 
資料番号 IEICE-CPM2009-37 
巻番号(vol) IEICE-109 
号番号(no) no.171 
ページ範囲 pp.19-24 
ページ数 IEICE-6 
発行日 IEICE-CPM-2009-08-03 


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