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講演抄録/キーワード
講演名 2009-07-31 11:40
電磁場Cuめっきを用いた環境発電MEMS用マイクロコイルの作製プロセス
大井直樹青木秀充久保英太郎鄭 鍾ヒョン木村千春杉野 隆阪大ED2009-112 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2009-112
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文献情報 信学技報, vol. 109, no. 157, ED2009-112, pp. 51-55, 2009年7月.
資料番号 ED2009-112 
発行日 2009-07-23 (ED) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685    Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
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研究会情報
研究会 ED  
開催期間 2009-07-30 - 2009-07-31 
開催地(和) 大阪大学(銀杏会館) 
開催地(英) Osaka Univ. Icho-Kaikan 
テーマ(和) センサーデバイス,MEMS,一般 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 ED 
会議コード 2009-07-ED 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 電磁場Cuめっきを用いた環境発電MEMS用マイクロコイルの作製プロセス 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Process technology of MEMS microscale-coil structure for energy harvesting with Cu electroplating adding magnetic fields 
サブタイトル(英)  
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第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 大井 直樹 / Naoki Ooi / オオイ ナオキ
第1著者 所属(和/英) 大阪大学 (略称: 阪大)
Osaka Univrsity (略称: Osaka Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 青木 秀充 / Hidemitsu Aoki / アオキ ヒデミツ
第2著者 所属(和/英) 大阪大学 (略称: 阪大)
Osaka Univrsity (略称: Osaka Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 久保 英太郎 / Eitaro Kubo / クボ エイタロウ
第3著者 所属(和/英) 大阪大学 (略称: 阪大)
Osaka Univrsity (略称: Osaka Univ.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 鄭 鍾ヒョン / Jong-Hyeon Jeong / ゾン ジョンヒョン
第4著者 所属(和/英) 大阪大学 (略称: 阪大)
Osaka Univrsity (略称: Osaka Univ.)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 木村 千春 / Chiharu Kimura / キムラ チハル
第5著者 所属(和/英) 大阪大学 (略称: 阪大)
Osaka Univrsity (略称: Osaka Univ.)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 杉野 隆 / Takashi Sugino / スギノ タカシ
第6著者 所属(和/英) 大阪大学 (略称: 阪大)
Osaka Univrsity (略称: Osaka Univ.)
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講演者 第1著者 
発表日時 2009-07-31 11:40:00 
発表時間 25分 
申込先研究会 ED 
資料番号 ED2009-112 
巻番号(vol) vol.109 
号番号(no) no.157 
ページ範囲 pp.51-55 
ページ数
発行日 2009-07-23 (ED) 


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