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講演抄録/キーワード
講演名 2009-07-23 13:25
イオン照射アシストによる蒸着重合膜の作製
臼井博明外輪俊介田中邦明東京農工大)・泉田和夫東京農工大/住友精密工業OME2009-29 エレソ技報アーカイブへのリンク:OME2009-29
抄録 (和) 低分子モノマーの物理蒸着とイオン照射を組み合わせ,新規な高分子製膜技術を開発した.高真空槽内でモノマー材料として亜鉛アクリレート(ZnAc)を蒸着すると同時に,電子照射型イオン源を用いて基板表面に窒素イオンを照射した.基板材料としては,金蒸着ガラス基板とPETフィルムを用い,基板温度は室温とした.製膜条件としては,ZnAc蒸着速度を0.8 nm/min,イオン電流を約0.5 A/cm2,イオン加速電圧を500~2000 Vとした.蒸着膜のIRスペクトルを測定した結果,イオンエネルギーを増大すると共にビニル基の吸収が減少した.さらにイオン照射によって膜は有機溶媒に不溶となり,表面粗さが減少することも観察された.これらの結果からイオン照射アシストを用いると,基板の表面改質に加えて基板表面での重合反応を促進でき,均質な高分子薄膜を形成するための新たな手法として利用できるものと期待される. 
(英) A new method of polymer deposition was developed by combining physical vapor deposition of acryl monomer and ion irradiation to the substrate. In a high-vacuum chamber, zinc acrylate (ZnAc) monomer was evaporated at a deposition rate of 0.8 nm/min, while nitrogen ions were irradiated on the substrate surface at a current density of 0.5 A/cm2 and energy of 500 to 2000 eV from an electron-bombardment type ion source. The films were prepared on Au-coated glass plates and PET films. Infrared spectra of the deposited films showed that the absorption of vinyl group decreases with increasing ion energy. It was also found that the solubility of the film to an organic solvent decreases and film surface roughness is improved with increasing ion energy. These results suggest that ion irradiation can assist the polymerization of deposited monomer, and is effective for preparing uniform and smooth polymeric thin films.
キーワード (和) イオン照射 / 蒸着重合 / 高分子薄膜 / アクリルモノマー / / / /  
(英) ion irradiation / deposition polymerization / polymer thin film / acryl monomer / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 109, no. 147, OME2009-29, pp. 5-8, 2009年7月.
資料番号 OME2009-29 
発行日 2009-07-16 (OME) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード OME2009-29 エレソ技報アーカイブへのリンク:OME2009-29

研究会情報
研究会 OME  
開催期間 2009-07-23 - 2009-07-23 
開催地(和) (財)加藤科学振興会軽井沢研修所 
開催地(英) Karuizawa Kensyujyo, Kato Foundation for Promotion of Science 
テーマ(和) 有機薄膜・複合膜とデバイス応用,一般 
テーマ(英) Applications of Organic and Composite Films, etc. 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 OME 
会議コード 2009-07-OME 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) イオン照射アシストによる蒸着重合膜の作製 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Preparation of Polymeric Thin Films by Ion-Assisted Vapor Deposition 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) イオン照射 / ion irradiation  
キーワード(2)(和/英) 蒸着重合 / deposition polymerization  
キーワード(3)(和/英) 高分子薄膜 / polymer thin film  
キーワード(4)(和/英) アクリルモノマー / acryl monomer  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 臼井 博明 / Hiroaki Usui / ウスイ ヒロアキ
第1著者 所属(和/英) 東京農工大学 (略称: 東京農工大)
Tokyo University of Agriculture and Technology (略称: Tokyo Univ. Agricul. & Technol.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 外輪 俊介 / Shyunsuke Sotowa / ソトワ シュンスケ
第2著者 所属(和/英) 東京農工大学 (略称: 東京農工大)
Tokyo University of Agriculture and Technology (略称: Tokyo Univ. Agricul. & Technol.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 田中 邦明 / Kuniaki Tanaka / タナカ クニアキ
第3著者 所属(和/英) 東京農工大学 (略称: 東京農工大)
Tokyo University of Agriculture and Technology (略称: Tokyo Univ. Agricul. & Technol.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 泉田 和夫 / Kazuo Senda / センダ カズオ
第4著者 所属(和/英) 東京農工大学 (略称: 東京農工大/住友精密工業)
Tokyo University of Agriculture and Technology (略称: Tokyo Univ. Agricul. & Technol.)
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講演者
発表日時 2009-07-23 13:25:00 
発表時間 25 
申込先研究会 OME 
資料番号 IEICE-OME2009-29 
巻番号(vol) IEICE-109 
号番号(no) no.147 
ページ範囲 pp.5-8 
ページ数 IEICE-4 
発行日 IEICE-OME-2009-07-16 


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