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講演抄録/キーワード
講演名 2009-06-19 09:30
五層非対称結合量子井戸マイクロリング共振器波長フィルタの試作
槙野太郎長谷川 亮荒川太郎國分泰雄横浜国大OPE2009-17 LQE2009-20 エレソ技報アーカイブへのリンク:OPE2009-17 LQE2009-20
抄録 (和) InGaAs/InAlAs 五層非対称結合量子井戸(FACQW)をコアに持つマイクロリング共振器チューナブル波長フィルタを提案し,その設計および試作を行った.結合効率の柔軟な選択が出来るよう,リング導波路とバスライン導波路との結合部はエッチングをコアの途中で止める方向性結合型を採用した.共振波長間隔(FSR)が3.65nm,半値全幅(FWHM)が0.32nmのフィルタ特性を得るために,結合効率Kを0.221とした.その時のリングの周回損失$\alpha$tは0.89 dB/roundと見積もられる.理論波長チューニング特性を計算したところ,FACQWの電界屈折率効果の屈折率変化による共振波長シフトは印加電圧2.2Vで0.83 nmと予想された.
設計した波長フィルタを2段階のドライエッチングプロセスを用いて試作した.透過特性から結合効率,周回損失を求めると,K=0.155,$\alpha$t =1.884 dB/roundとなった.結合効率の設計値からのずれは,結合部の溝のエッチング深さdeが設計値よりもやや深くなったためと思われる.印加電圧13Vで共振波長シフトは0.9 nmであった.期待された動作電圧よりもかなり高かったものの,電圧による波長チューニング特性を得ることに成功した. 
(英) We propose a tunable microring wavelength filter with InGaAs/InAlAs five-layer asymmetric coupled quantum wells (FACQWs) in a waveguide core. The free spectral range (FSR) and a full width at half maximum (FWHM) were designed to be 3.65 nm and 0.32 nm, respectively. The coupler between a microring and a busline waveguide is a directional coupler with a shallow groove. Tunable filtering characteristics were theoretically analyzed, and it was found that the tuning wavelength of 0.83 nm is expected when an applied voltage is 2.2 V. The designed tunable wavelength filter was fabricated using molecular beam epitaxy (MBE) and dry etching process. The coupling efficiency K at the directional coupler and loss per round $\alpha$t estimated from the experimental transmittance characteristics were 0.155 and 1.88 dB/round, respectively. Wavelength tuning was also achieved though the operating voltage is higher than expected. The wavelength tuning of 0.9 nm was obtained at 13 V.
キーワード (和) マイクロリング共振器 / 量子井戸 / InGaAs / 五層非対称結合量子井戸 / 波長フィルタ / 電界屈折率効果 / /  
(英) Microring resonator / Quantum Well / InGaAs / Five-Layer Asymmetric Coupled Quantum Well / Wavelength filter / Electrorefractive Effect / /  
文献情報 信学技報, vol. 109, no. 92, OPE2009-17, pp. 7-12, 2009年6月.
資料番号 OPE2009-17 
発行日 2009-06-12 (OPE, LQE) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685    Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード OPE2009-17 LQE2009-20 エレソ技報アーカイブへのリンク:OPE2009-17 LQE2009-20

研究会情報
研究会 LQE OPE  
開催期間 2009-06-19 - 2009-06-19 
開催地(和) 機械振興会館6階66号室 
開催地(英) Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. 
テーマ(和) 量子効果デバイス(光信号処理、LD、光増幅、変調等)と集積化技術、一般 「材料デバイスサマーミーティング」 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 OPE 
会議コード 2009-06-LQE-OPE 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 五層非対称結合量子井戸マイクロリング共振器波長フィルタの試作 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Fabrication of Five-Layer Asymmetric Coupled Quantum Well Microring Resonator Wavelength Filter 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) マイクロリング共振器 / Microring resonator  
キーワード(2)(和/英) 量子井戸 / Quantum Well  
キーワード(3)(和/英) InGaAs / InGaAs  
キーワード(4)(和/英) 五層非対称結合量子井戸 / Five-Layer Asymmetric Coupled Quantum Well  
キーワード(5)(和/英) 波長フィルタ / Wavelength filter  
キーワード(6)(和/英) 電界屈折率効果 / Electrorefractive Effect  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 槙野 太郎 / Taro Makino / マキノ タロウ
第1著者 所属(和/英) 横浜国立大学 (略称: 横浜国大)
Yokohama National University (略称: Yokohama National Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 長谷川 亮 / Ryo Hasegawa / ハセガワ リョウ
第2著者 所属(和/英) 横浜国立大学 (略称: 横浜国大)
Yokohama National University (略称: Yokohama National Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 荒川 太郎 / Taro Arakawa / アラカワ タロウ
第3著者 所属(和/英) 横浜国立大学 (略称: 横浜国大)
Yokohama National University (略称: Yokohama National Univ.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 國分 泰雄 / Yasuo Kokubun / コクブン ヤスオ
第4著者 所属(和/英) 横浜国立大学 (略称: 横浜国大)
Yokohama National University (略称: Yokohama National Univ.)
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講演者 第1著者 
発表日時 2009-06-19 09:30:00 
発表時間 25分 
申込先研究会 OPE 
資料番号 OPE2009-17, LQE2009-20 
巻番号(vol) vol.109 
号番号(no) no.92(OPE), no.93(LQE) 
ページ範囲 pp.7-12 
ページ数
発行日 2009-06-12 (OPE, LQE) 


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