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講演名 |
2009-06-19 09:30
五層非対称結合量子井戸マイクロリング共振器波長フィルタの試作 ○槙野太郎・長谷川 亮・荒川太郎・國分泰雄(横浜国大) OPE2009-17 LQE2009-20 エレソ技報アーカイブへのリンク:OPE2009-17 LQE2009-20 |
抄録 |
(和) |
InGaAs/InAlAs 五層非対称結合量子井戸(FACQW)をコアに持つマイクロリング共振器チューナブル波長フィルタを提案し,その設計および試作を行った.結合効率の柔軟な選択が出来るよう,リング導波路とバスライン導波路との結合部はエッチングをコアの途中で止める方向性結合型を採用した.共振波長間隔(FSR)が3.65nm,半値全幅(FWHM)が0.32nmのフィルタ特性を得るために,結合効率Kを0.221とした.その時のリングの周回損失$\alpha$tは0.89 dB/roundと見積もられる.理論波長チューニング特性を計算したところ,FACQWの電界屈折率効果の屈折率変化による共振波長シフトは印加電圧2.2Vで0.83 nmと予想された.
設計した波長フィルタを2段階のドライエッチングプロセスを用いて試作した.透過特性から結合効率,周回損失を求めると,K=0.155,$\alpha$t =1.884 dB/roundとなった.結合効率の設計値からのずれは,結合部の溝のエッチング深さdeが設計値よりもやや深くなったためと思われる.印加電圧13Vで共振波長シフトは0.9 nmであった.期待された動作電圧よりもかなり高かったものの,電圧による波長チューニング特性を得ることに成功した. |
(英) |
We propose a tunable microring wavelength filter with InGaAs/InAlAs five-layer asymmetric coupled quantum wells (FACQWs) in a waveguide core. The free spectral range (FSR) and a full width at half maximum (FWHM) were designed to be 3.65 nm and 0.32 nm, respectively. The coupler between a microring and a busline waveguide is a directional coupler with a shallow groove. Tunable filtering characteristics were theoretically analyzed, and it was found that the tuning wavelength of 0.83 nm is expected when an applied voltage is 2.2 V. The designed tunable wavelength filter was fabricated using molecular beam epitaxy (MBE) and dry etching process. The coupling efficiency K at the directional coupler and loss per round $\alpha$t estimated from the experimental transmittance characteristics were 0.155 and 1.88 dB/round, respectively. Wavelength tuning was also achieved though the operating voltage is higher than expected. The wavelength tuning of 0.9 nm was obtained at 13 V. |
キーワード |
(和) |
マイクロリング共振器 / 量子井戸 / InGaAs / 五層非対称結合量子井戸 / 波長フィルタ / 電界屈折率効果 / / |
(英) |
Microring resonator / Quantum Well / InGaAs / Five-Layer Asymmetric Coupled Quantum Well / Wavelength filter / Electrorefractive Effect / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 109, no. 92, OPE2009-17, pp. 7-12, 2009年6月. |
資料番号 |
OPE2009-17 |
発行日 |
2009-06-12 (OPE, LQE) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
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