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講演抄録/キーワード
講演名 2009-06-19 14:30
MEMSを位相制御器としたマッハ・ツェンダ干渉型光スイッチ素子の検討
稲本 慎丸山武男飯山宏一金沢大OPE2009-23 LQE2009-26 エレソ技報アーカイブへのリンク:OPE2009-23 LQE2009-26
抄録 (和) Si光導波路を用いたマッハ・ツェンダ干渉型光スイッチ素子の位相制御器は、一般的に熱光学効果を用いているが、消費電力が大きいという問題が生じている。そこで光スイッチ素子の位相制御器として、MEMS位相制御器を提案する。MEMS位相制御器はエアブリッジ導波路を備えており、電圧印加により導波路をたわませることで導波路長を伸張させるしくみを持つ。構造上、定常電流が流れないため、低消費電力化が期待できる。MEMS位相制御器の動作について、平行平板電極モデルを用いて解析を行った。この解析により、電圧100Vで1段当たり70nmの伸張が可能となり、7段縦続することで光スイッチングが可能となることを明らかにした。 
(英) We proposed and simulated the novel type Mach-Zehnder interferometric optical switching device using MEMS phase shifter. The phase shifter has an air-bridge waveguide and is able to stretch the length of the waveguide by applied voltage. As the analytical result, the amount of stretch length is 70nm at the applied voltage of 100V. The -shift is achieved using cascade connections of 7 shifters. This switching device is very promising for the realization of low power consumption photonic integrated circuits.
キーワード (和) 光スイッチ / マッハ・ツェンダ干渉 / マイクロマシン / Si細線導波路 / / / /  
(英) Optical switch / Mach-Zehnder interferometer / Micro-electro mechanical systems / Si wire waveguide / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 109, no. 93, LQE2009-26, pp. 41-44, 2009年6月.
資料番号 LQE2009-26 
発行日 2009-06-12 (OPE, LQE) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
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PDFダウンロード OPE2009-23 LQE2009-26 エレソ技報アーカイブへのリンク:OPE2009-23 LQE2009-26

研究会情報
研究会 LQE OPE  
開催期間 2009-06-19 - 2009-06-19 
開催地(和) 機械振興会館6階66号室 
開催地(英) Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. 
テーマ(和) 量子効果デバイス(光信号処理、LD、光増幅、変調等)と集積化技術、一般 「材料デバイスサマーミーティング」 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 LQE 
会議コード 2009-06-LQE-OPE 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) MEMSを位相制御器としたマッハ・ツェンダ干渉型光スイッチ素子の検討 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Mach-Zehnder type optical switch using MEMS phase shifter 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 光スイッチ / Optical switch  
キーワード(2)(和/英) マッハ・ツェンダ干渉 / Mach-Zehnder interferometer  
キーワード(3)(和/英) マイクロマシン / Micro-electro mechanical systems  
キーワード(4)(和/英) Si細線導波路 / Si wire waveguide  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 稲本 慎 / Makoto Inamoto / イナモト マコト
第1著者 所属(和/英) 金沢大学 (略称: 金沢大)
Kanazawa University (略称: Kanazawa Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 丸山 武男 / Takeo Maruyama / マルヤマ タケオ
第2著者 所属(和/英) 金沢大学 (略称: 金沢大)
Kanazawa University (略称: Kanazawa Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 飯山 宏一 / Koichi Iiyama / イイヤマ コウイチ
第3著者 所属(和/英) 金沢大学 (略称: 金沢大)
Kanazawa University (略称: Kanazawa Univ.)
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講演者
発表日時 2009-06-19 14:30:00 
発表時間 25 
申込先研究会 LQE 
資料番号 IEICE-OPE2009-23,IEICE-LQE2009-26 
巻番号(vol) IEICE-109 
号番号(no) no.92(OPE), no.93(LQE) 
ページ範囲 pp.41-44 
ページ数 IEICE-4 
発行日 IEICE-OPE-2009-06-12,IEICE-LQE-2009-06-12 


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