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講演抄録/キーワード
講演名 2009-04-17 16:00
波長選択スイッチ(WSS)用MEMSミラーアレイモジュール
碓氷光男内山真吾橋本 悦葉玉恒一石井雄三松浦伸昭阪田知巳下山展弘松浦 徹下川房男NTTR2009-7 CPM2009-7 OPE2009-7 エレソ技報アーカイブへのリンク:CPM2009-7 OPE2009-7
抄録 (和) 波長選択スイッチ(WSS:Wavelength Selective Switch)用として、高フィルファクタで狭ピッチ・多チャネル化に適する二軸回転可能なMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)ミラーアレイモジュールを開発した。MEMSミラーアレイの隣接チャネル間で発生する電気的な干渉を低減するため、電極構造の最適設計を行った。さらに、MEMSミラーアレイをモジュール化するために必要な、小型気密封止パッケージ構造、および高密度フレキシブル電気インタフェース構造を開発した。これらの技術を適用して試作した50ch-MEMSミラーアレイモジュールの基本特性を評価した結果、設計仕様を満たす良好な回転特性、および電気干渉低減効果を確認した。 
(英) We developed a new two-axis microelectromechanical-systems (MEMS) mirror array module for wavelength selective switches (WSS). This MEMS mirror array module has a suitable structure for narrow-pitch and high fill-factor. We designed a new electrode structure to reduce electric interference between adjacent channels. To fabricate the MEMS mirror array module, we developed a small sealing package and a high density, flexible, electrical interface. We fabricated a 50ch-MEMS mirror array module using these technologies, and confirmed that the module has good characteristics. We also confirmed the electric interference reduction in the fabricated MEMS mirror array module.
キーワード (和) 波長選択スイッチ(WSS) / MEMS / ミラーアレイ / 電気干渉 / モジュール化技術 / / /  
(英) Wavelength Selective Switches (WSS) / MEMS / Mirror Array / Electrical Interference / Packaging Technology / / /  
文献情報 信学技報, vol. 109, no. 8, OPE2009-7, pp. 35-39, 2009年4月.
資料番号 OPE2009-7 
発行日 2009-04-10 (R, CPM, OPE) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード R2009-7 CPM2009-7 OPE2009-7 エレソ技報アーカイブへのリンク:CPM2009-7 OPE2009-7

研究会情報
研究会 OPE CPM R  
開催期間 2009-04-17 - 2009-04-17 
開催地(和) 機械振興会館 
開催地(英) Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. 
テーマ(和) 光部品の実装・信頼性、一般 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 OPE 
会議コード 2009-04-OPE-CPM-R 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 波長選択スイッチ(WSS)用MEMSミラーアレイモジュール 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) MEMS Mirror Array Module for Wavelength Selective Switches (WSS) 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 波長選択スイッチ(WSS) / Wavelength Selective Switches (WSS)  
キーワード(2)(和/英) MEMS / MEMS  
キーワード(3)(和/英) ミラーアレイ / Mirror Array  
キーワード(4)(和/英) 電気干渉 / Electrical Interference  
キーワード(5)(和/英) モジュール化技術 / Packaging Technology  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 碓氷 光男 / Mitsuo Usui / ウスイ ミツオ
第1著者 所属(和/英) 日本電信電話株式会社 (略称: NTT)
NTT Corporation. (略称: NTT Corp.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 内山 真吾 / Shingo Uchiyama / ウチヤマ シンゴ
第2著者 所属(和/英) 日本電信電話株式会社 (略称: NTT)
NTT Corporation. (略称: NTT Corp.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 橋本 悦 / Etsu Hashimoto / ハシモト エツ
第3著者 所属(和/英) 日本電信電話株式会社 (略称: NTT)
NTT Corporation. (略称: NTT Corp.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 葉玉 恒一 / Koichi Hadama / ハダマ コウイチ
第4著者 所属(和/英) 日本電信電話株式会社 (略称: NTT)
NTT Corporation. (略称: NTT Corp.)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 石井 雄三 / Yuzo Ishii / イシイ ユウゾウ
第5著者 所属(和/英) 日本電信電話株式会社 (略称: NTT)
NTT Corporation. (略称: NTT Corp.)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 松浦 伸昭 / Nobuaki Matsuura / マツウラ ノブアキ
第6著者 所属(和/英) 日本電信電話株式会社 (略称: NTT)
NTT Corporation. (略称: NTT Corp.)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) 阪田 知巳 / Tomomi Sakata / サカタ トモミ
第7著者 所属(和/英) 日本電信電話株式会社 (略称: NTT)
NTT Corporation. (略称: NTT Corp.)
第8著者 氏名(和/英/ヨミ) 下山 展弘 / Nobuhiro Shimoyama / シモヤマ ノブヒロ
第8著者 所属(和/英) 日本電信電話株式会社 (略称: NTT)
NTT Corporation. (略称: NTT Corp.)
第9著者 氏名(和/英/ヨミ) 松浦 徹 / Tohru Matsuura / マツウラ トオル
第9著者 所属(和/英) 日本電信電話株式会社 (略称: NTT)
NTT Corporation. (略称: NTT Corp.)
第10著者 氏名(和/英/ヨミ) 下川 房男 / Fusao Shimokawa / シモカワ フサオ
第10著者 所属(和/英) 日本電信電話株式会社 (略称: NTT)
NTT Corporation. (略称: NTT Corp.)
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講演者
発表日時 2009-04-17 16:00:00 
発表時間 25 
申込先研究会 OPE 
資料番号 IEICE-R2009-7,IEICE-CPM2009-7,IEICE-OPE2009-7 
巻番号(vol) IEICE-109 
号番号(no) no.6(R), no.7(CPM), no.8(OPE) 
ページ範囲 pp.35-39 
ページ数 IEICE-5 
発行日 IEICE-R-2009-04-10,IEICE-CPM-2009-04-10,IEICE-OPE-2009-04-10 


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