講演抄録/キーワード |
講演名 |
2009-04-17 16:00
波長選択スイッチ(WSS)用MEMSミラーアレイモジュール ○碓氷光男・内山真吾・橋本 悦・葉玉恒一・石井雄三・松浦伸昭・阪田知巳・下山展弘・松浦 徹・下川房男(NTT) R2009-7 CPM2009-7 OPE2009-7 エレソ技報アーカイブへのリンク:CPM2009-7 OPE2009-7 |
抄録 |
(和) |
波長選択スイッチ(WSS:Wavelength Selective Switch)用として、高フィルファクタで狭ピッチ・多チャネル化に適する二軸回転可能なMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)ミラーアレイモジュールを開発した。MEMSミラーアレイの隣接チャネル間で発生する電気的な干渉を低減するため、電極構造の最適設計を行った。さらに、MEMSミラーアレイをモジュール化するために必要な、小型気密封止パッケージ構造、および高密度フレキシブル電気インタフェース構造を開発した。これらの技術を適用して試作した50ch-MEMSミラーアレイモジュールの基本特性を評価した結果、設計仕様を満たす良好な回転特性、および電気干渉低減効果を確認した。 |
(英) |
We developed a new two-axis microelectromechanical-systems (MEMS) mirror array module for wavelength selective switches (WSS). This MEMS mirror array module has a suitable structure for narrow-pitch and high fill-factor. We designed a new electrode structure to reduce electric interference between adjacent channels. To fabricate the MEMS mirror array module, we developed a small sealing package and a high density, flexible, electrical interface. We fabricated a 50ch-MEMS mirror array module using these technologies, and confirmed that the module has good characteristics. We also confirmed the electric interference reduction in the fabricated MEMS mirror array module. |
キーワード |
(和) |
波長選択スイッチ(WSS) / MEMS / ミラーアレイ / 電気干渉 / モジュール化技術 / / / |
(英) |
Wavelength Selective Switches (WSS) / MEMS / Mirror Array / Electrical Interference / Packaging Technology / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 109, no. 8, OPE2009-7, pp. 35-39, 2009年4月. |
資料番号 |
OPE2009-7 |
発行日 |
2009-04-10 (R, CPM, OPE) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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