講演抄録/キーワード |
講演名 |
2009-04-17 13:00
[特別講演]フレキシブルシリコーンゴム基板上へのマイクロ光学部品の集積化 ○大越昌幸・井上成美(防衛大) R2009-1 CPM2009-1 OPE2009-1 エレソ技報アーカイブへのリンク:CPM2009-1 OPE2009-1 |
抄録 |
(和) |
F2レーザー(波長157 nm),ArFレーザー(波長193 nm)およびNd:YAGレーザーの第4高調波(波長266 nm)誘起光化学反応を基にして,シリカガラス(SiO2)光導波路およびマイクロ白色光源などのマイクロ光学素子を,シリコーン(ポリジメチルシロキサン)ゴムチップ上に集積化するための基礎的手法について述べる. |
(英) |
Photochemical surface modifications of silicone ([SiO(CH3)2]n) rubber have been successfully demonstrated by using various UV pulsed lasers; a 157-nm F2 laser, and a 193-nm ArF, and by using the 266-nm fourth harmonic of a Nd:YAG laser. The F2 laser modified silicone into transparent silica (SiO2). By switching the light source from a F2 laser to an ArF excimer laser or to the fourth harmonic of a Nd:YAG laser, we could modify the surface of the silicone rubber into a photoluminescent material or into amorphous carbon, respectively. Based on the photochemical modifications, micron-sized silica optical waveguides and white light sources could be integrated into a silicone rubber chip. |
キーワード |
(和) |
レーザー / シリコーンゴム / 表面改質 / SiO2光導波路 / 白色光源 / / / |
(英) |
Laser / Silicone Rubber / Surface Modification / SiO2 Optical Waveguide / White Light Source / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 109, no. 6, R2009-1, pp. 1-5, 2009年4月. |
資料番号 |
R2009-1 |
発行日 |
2009-04-10 (R, CPM, OPE) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
PDFダウンロード |
R2009-1 CPM2009-1 OPE2009-1 エレソ技報アーカイブへのリンク:CPM2009-1 OPE2009-1 |
研究会情報 |
研究会 |
OPE CPM R |
開催期間 |
2009-04-17 - 2009-04-17 |
開催地(和) |
機械振興会館 |
開催地(英) |
Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. |
テーマ(和) |
光部品の実装・信頼性、一般 |
テーマ(英) |
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講演論文情報の詳細 |
申込み研究会 |
R |
会議コード |
2009-04-OPE-CPM-R |
本文の言語 |
日本語 |
タイトル(和) |
フレキシブルシリコーンゴム基板上へのマイクロ光学部品の集積化 |
サブタイトル(和) |
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タイトル(英) |
Integration of Micro-Optical Components into Flexible Silicone Rubber Substrate |
サブタイトル(英) |
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キーワード(1)(和/英) |
レーザー / Laser |
キーワード(2)(和/英) |
シリコーンゴム / Silicone Rubber |
キーワード(3)(和/英) |
表面改質 / Surface Modification |
キーワード(4)(和/英) |
SiO2光導波路 / SiO2 Optical Waveguide |
キーワード(5)(和/英) |
白色光源 / White Light Source |
キーワード(6)(和/英) |
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キーワード(7)(和/英) |
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キーワード(8)(和/英) |
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第1著者 氏名(和/英/ヨミ) |
大越 昌幸 / Masayuki Okoshi / オオコシ マサユキ |
第1著者 所属(和/英) |
防衛大学校 (略称: 防衛大)
National Defense Academy (略称: National Defense Academy) |
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) |
井上 成美 / Narumi Inoue / イノウエ ナルミ |
第2著者 所属(和/英) |
防衛大学校 (略称: 防衛大)
National Defense Academy (略称: National Defense Academy) |
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第20著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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講演者 |
第1著者 |
発表日時 |
2009-04-17 13:00:00 |
発表時間 |
40分 |
申込先研究会 |
R |
資料番号 |
R2009-1, CPM2009-1, OPE2009-1 |
巻番号(vol) |
vol.109 |
号番号(no) |
no.6(R), no.7(CPM), no.8(OPE) |
ページ範囲 |
pp.1-5 |
ページ数 |
5 |
発行日 |
2009-04-10 (R, CPM, OPE) |
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