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講演抄録/キーワード
講演名
2009-03-14 16:00
自己参照に基づくパターン欠陥検査法
○
淺海徹哉
・
和田俊和
(
和歌山大
)・
酒井 薫
・
前田俊二
(
日立
)
PRMU2008-283
抄録
(和)
(まだ登録されていません)
(英)
(Not available yet)
キーワード
(和)
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(英)
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文献情報
信学技報, vol. 108, no. 484, PRMU2008-283, pp. 287-292, 2009年3月.
資料番号
PRMU2008-283
発行日
2009-03-06 (PRMU)
ISSN
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード
PRMU2008-283
研究会情報
研究会
PRMU
開催期間
2009-03-13 - 2009-03-14
開催地(和)
東北工業大
開催地(英)
Tohoku Institute of Technology
テーマ(和)
コンピュータビジョンとパターン認識のための学習理論
テーマ(英)
講演論文情報の詳細
申込み研究会
PRMU
会議コード
2009-03-PRMU
本文の言語
日本語
タイトル(和)
自己参照に基づくパターン欠陥検査法
サブタイトル(和)
タイトル(英)
Defect detection based on self reference for wafer inspection
サブタイトル(英)
キーワード(1)(和/英)
/
キーワード(2)(和/英)
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キーワード(3)(和/英)
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キーワード(4)(和/英)
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キーワード(5)(和/英)
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キーワード(6)(和/英)
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キーワード(7)(和/英)
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キーワード(8)(和/英)
/
第1著者 氏名(和/英/ヨミ)
淺海 徹哉
/
Tetsuya Asami
/
アサミ テツヤ
第1著者 所属(和/英)
和歌山大学
(略称:
和歌山大
)
Wakayama University
(略称:
Wakayama Univ.
)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ)
和田 俊和
/
Toshikazu Wada
/
ワダ トシカズ
第2著者 所属(和/英)
和歌山大学
(略称:
和歌山大
)
Wakayama University
(略称:
Wakayama Univ.
)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ)
酒井 薫
/
Kaoru Sakai
/
サカイ カオル
第3著者 所属(和/英)
日立製作所生産技術研究所
(略称:
日立
)
Hitachi, LTD., Production Engineering Research Laboratory
(略称:
Hitachi, LTD.
)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ)
前田 俊二
/
Shunji Maeda
/
マエダ シュンジ
第4著者 所属(和/英)
日立製作所生産技術研究所
(略称:
日立
)
Hitachi, LTD., Production Engineering Research Laboratory
(略称:
Hitachi, LTD.
)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第5著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第6著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第6著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第7著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第7著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第8著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第8著者 所属(和/英)
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(略称: )
第9著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第9著者 所属(和/英)
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(略称: )
第10著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第10著者 所属(和/英)
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第11著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第11著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第12著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第12著者 所属(和/英)
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(略称: )
第13著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第13著者 所属(和/英)
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第14著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第14著者 所属(和/英)
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第15著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第15著者 所属(和/英)
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第16著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第16著者 所属(和/英)
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第17著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第17著者 所属(和/英)
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第18著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第18著者 所属(和/英)
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第19著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第19著者 所属(和/英)
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第20著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第20著者 所属(和/英)
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(略称: )
講演者
第1著者
発表日時
2009-03-14 16:00:00
発表時間
30分
申込先研究会
PRMU
資料番号
PRMU2008-283
巻番号(vol)
vol.108
号番号(no)
no.484
ページ範囲
pp.287-292
ページ数
6
発行日
2009-03-06 (PRMU)
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