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講演抄録/キーワード
講演名 2009-03-10 10:25
Derivation of Dynamical Equations of Coupled MEMS Gyroscopes
Suketu NaikTakashi HikiharaKyoto Univ.NLP2008-152
抄録 (和) Vibratory gyroscopes are utilized to detect angles of rotation or rates of angular rotation. A typical gyroscope includes drive mode and sense mode which allows the measurement of rotational force, known as the Coriolis force, applied orthogonally to the plane of motion. In the presence of this force, the gyroscope produces a change in acceleration in drive mode which in turn causes motion in sense mode. This motion can be converted into angular rate and the input force can be estimated. Such angular rate sensors can be coupled to enhance their sensitivities by allowing them to act as a system of sensors. To help understand the dynamics underlying such coupled system, prototype devices have been fabricated in open ended coupling scheme in PolyMUMPs process. In this research, coupled dynamics of these particular devices are targeted. Furthermore, the global behavior of the coupled system will be numerically investigated in various regimes where the devices can be operated. 
(英) Vibratory gyroscopes are utilized to detect angles of rotation or rates of angular rotation. A typical gyroscope includes drive mode and sense mode which allows the measurement of rotational force, known as the Coriolis force, applied orthogonally to the plane of motion. In the presence of this force, the gyroscope produces a change in acceleration in drive mode which in turn causes motion in sense mode. This motion can be converted into angular rate and the input force can be estimated. Such angular rate sensors can be coupled to enhance their sensitivities by allowing them to act as a system of sensors. To help understand the dynamics underlying such coupled system, prototype devices have been fabricated in open ended coupling scheme in PolyMUMPs process. In this research, coupled dynamics of these particular devices are targeted. Furthermore, the global behavior of the coupled system will be numerically investigated in various regimes where the devices can be operated.
キーワード (和) Nonlinear Dynamics / Gyroscope / Coriolis Force / MEMS / Sensors / / /  
(英) Nonlinear Dynamics / Gyroscope / Coriolis Force / MEMS / Sensors / / /  
文献情報 信学技報, vol. 108, no. 477, NLP2008-152, pp. 7-12, 2009年3月.
資料番号 NLP2008-152 
発行日 2009-03-03 (NLP) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685    Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード NLP2008-152

研究会情報
研究会 NLP  
開催期間 2009-03-10 - 2009-03-11 
開催地(和) キャンパスプラザ京都 
開催地(英)  
テーマ(和) 生命現象、一般 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 NLP 
会議コード 2009-03-NLP 
本文の言語 英語 
タイトル(和)  
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Derivation of Dynamical Equations of Coupled MEMS Gyroscopes 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) Nonlinear Dynamics / Nonlinear Dynamics  
キーワード(2)(和/英) Gyroscope / Gyroscope  
キーワード(3)(和/英) Coriolis Force / Coriolis Force  
キーワード(4)(和/英) MEMS / MEMS  
キーワード(5)(和/英) Sensors / Sensors  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) Suketu Naik / Suketu Naik /
第1著者 所属(和/英) Kyoto University (略称: 京大)
Kyoto University (略称: Kyoto Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) Takashi Hikihara / Takashi Hikihara /
第2著者 所属(和/英) Kyoto University (略称: 京大)
Kyoto University (略称: Kyoto Univ.)
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講演者 第1著者 
発表日時 2009-03-10 10:25:00 
発表時間 25分 
申込先研究会 NLP 
資料番号 NLP2008-152 
巻番号(vol) vol.108 
号番号(no) no.477 
ページ範囲 pp.7-12 
ページ数
発行日 2009-03-03 (NLP) 


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