講演抄録/キーワード |
講演名 |
2009-03-06 16:15
CVD法による垂直配向カーボンナノチューブの成長と磁性薄膜触媒の磁気特性 久田大二郎・伊藤幸祐(三重大)・杉森大祐(大同工大)・○藤原裕司・佐藤英樹(三重大)・神保睦子(大同工大)・小林 正(三重大) MR2008-67 エレソ技報アーカイブへのリンク:MR2008-67 |
抄録 |
(和) |
Plasma enhanced CVD法で成長させたカーボンナノチューブ(CNT)には触媒の磁気性金属微粒子が内包される.本研究では,FeもしくはFeCo薄膜を触媒としてCNT薄膜を作製し,その構造と磁気特性を評価した.Fe触媒を用いて成長したCNTにはFeの単結晶微粒子が内包されていた.また,FeCNT薄膜はCNTに内包された微粒子の形状を反映した磁気異方性を示した.組成を変化させたFeCo合金薄膜を触媒としてCNT薄膜を作製したところ,Co組成の増加とともにCNTの成長速度が低下した.FeCo合金薄膜の膜厚の増加とともに,CNT薄膜の磁化が大きくなった.これは触媒薄膜の表面のみがCNTの成長に寄与し,基板表面に残留する薄膜の膜厚が増加するためであると考えられる |
(英) |
Small catalyst particles are observed in carbon nanotubes (CNTs) synthesized by plasma enhanced CVD (PECVD) technique. In this work, structures and magnetic properties of CNT thin films prepared by PECVD techniques were investigated. The FeCNT film showed a shape magnetic anisotropy originated from the nano-particle observed in the CNTs. The length of CNTs decreased with increasing the Co content owing to a difference of C solubility limit between Fe and Co. The magnetization of FeCoCNT films increased with increasing the thickness of catalyst layers. |
キーワード |
(和) |
CNT / CVD / 微粒子 / 磁気異方性 / / / / |
(英) |
CNT / CVD / nano particle / magnetic anisotropy / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 108, 2009年3月. |
資料番号 |
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発行日 |
2009-02-27 (MR) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
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