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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2009-01-29 14:15 超音波マイクロスペクトロスコピー技術による六方晶系6mm単結晶の音響関連物理定数決定法の検討 櫛引淳一・○大橋雄二・荒川元孝・田中智也（東北大）  US2008-77 |
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| 抄録 | （和） | 超音波マイクロスペクトロスコピー(UMS)技術により得られるバルク波音速や漏洩弾性表面波(LSAW)速度を用いて, 六方晶系圧電単結晶(点群6mm)の音響関連物理定数の高精度決定方法について理論的・数値的な検討を行なった. ２つの誘電率ε11S, ε33Sと密度ρの測定に加えて, ５つの弾性定数 c11E, c12E, c13E, c33E, c44E, ３つの圧電定数e15, e31, e33を決定するための８つの音速の適切な伝搬モード・伝搬方向の選択手順についてZnOを取り上げて議論した. Y板とZ板, いくつかの回転Y板に対するバルク波音速のみを用いる場合, c13E, c33E, e31, e33に対する決定精度が最もよくなった. (101)面と(102)面のような２つの回転Y板を用いるようないくつかの組合せの場合においても比較的精度の良い定数が決定できる. 導電性のある(001)面と(102)面の試料, および高抵抗の(103)面の試料を用いることで, バルク波音速測定をより簡便にし, 結果として非常によい定数決定精度が得られる. 導電性のある(001)面試料を用い, LSAW速度を併用することで, 定数決定手順を簡単化でき, 許容できる程度の精度の定数c13Eが得られる. Y板とZ板の２枚の試料のみで, バルク波音速とLSAW速度の測定から, ある程度の精度の低下（とりわけe31, e33において）はあるものの全ての定数が決定できる. これは貴重な試料に対する予備的な定数決定において有用である. |
| （英） | We theoretically and numerically investigated procedures of accurately determining the acoustical physical constants of the piezoelectric hexagonal (class 6mm) crystals using bulk-wave velocities and leaky surface-acoustic-wave (LSAW) velocities by the ultrasonic microspectroscopy (UMS) technology. Taking ZnO as an example, selection of proper propagation modes and directions for eight velocity measurements was discussed for accurate determination of five elastic constants c11E, c12E, c13E, c33E, and c44E, and three piezoelectric constants e15, e31, and e33, in addition to measurements of two dielectric constants ε11S and ε33S and density ρ. Using only bulk-wave velocities measured for Y-cut, Z-cut, and several rotated Y-cut crystalline plane specimens could provide the best determination accuracies for the constants c13E, c33E, e31, and e33, and favorable determination accuracies using several sets of two rotated Y-cut crystalline plane specimens such as (101) and (102). Conductive specimens of (001) and (102) with a resistive (103) specimen made bulk-wave measurements simpler, resulting in much improved determination accuracies. Additional use of LSAW velocity with one conductive (001) specimen enabled simplifying the accurate determination procedures with acceptable accuracy for c13E. Measurements of bulk-wave velocities and LSAW velocities for only two resistive Y-cut and Z-cut specimens could determine all the constants with some deteriorations in accuracy especially for e31 and e33, but this was useful for preliminary determination of the constants for the precious crystals. | |
| キーワード | （和） | 六方晶系圧電単結晶 / 超音波マイクロスペクトロスコピー / 音響関連物理定数 / 抵抗率 / バルク波音速 / 漏洩弾性表面波速度 / / |
| （英） | piezoelectric hexagonal single crystals / ultrasonic microspectroscopy technology / acoustical physical constants / resistivity / bulk wave velocity / leaky surface acoustic wave velocity / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 108, no. 410, US2008-77, pp. 27-32, 2009年1月. | |
| 資料番号 | US2008-77 | |
| 発行日 | 2009-01-22 (US) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | US2008-77 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | EA US |
| 開催期間 | 2009-01-29 - 2009-01-30 |
| 開催地（和） | 同志社大学 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 応用（電気）音響／超音波 （音響・超音波サブソサイエティ合同研究会） |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | US |
| 会議コード | 2009-01-EA-US |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 超音波マイクロスペクトロスコピー技術による六方晶系6mm単結晶の音響関連物理定数決定法の検討 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Investigation of Determination Procedures of Acoustical Physical Constants of Class 6mm Single Crystals by the Ultrasonic Microspectroscopy Technology |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 六方晶系圧電単結晶 / piezoelectric hexagonal single crystals |
| キーワード(2)（和/英） | 超音波マイクロスペクトロスコピー / ultrasonic microspectroscopy technology |
| キーワード(3)（和/英） | 音響関連物理定数 / acoustical physical constants |
| キーワード(4)（和/英） | 抵抗率 / resistivity |
| キーワード(5)（和/英） | バルク波音速 / bulk wave velocity |
| キーワード(6)（和/英） | 漏洩弾性表面波速度 / leaky surface acoustic wave velocity |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 櫛引 淳一 / Jun-ichi Kushibiki / クシビキ ジュンイチ |
| 第1著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 大橋 雄二 / Yuji Ohashi / オオハシ ユウジ |
| 第2著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 荒川 元孝 / Mototaka Arakawa / アラカワ モトタカ |
| 第3著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 田中 智也 / Tomoya Tanaka / タナカ トモヤ |
| 第4著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
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| 講演者 | 第2著者 |
| 発表日時 | 2009-01-29 14:15:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | US |
| 資料番号 | US2008-77 |
| 巻番号（vol） | vol.108 |
| 号番号（no） | no.410 |
| ページ範囲 | pp.27-32 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2009-01-22 (US) |
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