講演抄録/キーワード |
講演名 |
2008-11-27 10:20
選択領域有機金属気相成長の気相拡散効果を用いたInGaN系多波長発光素子の検討 ○塩田倫也・富田祐貴・杉山正和・霜垣幸浩・中野義昭(東大) ED2008-154 CPM2008-103 LQE2008-98 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2008-154 CPM2008-103 LQE2008-98 |
抄録 |
(和) |
有機金属気相成長(MOVPE: Metal-Organic Vapor Phase Epitaxy)の選択成長(Selective Area Growth)を用いることで,1回の結晶成長で同一基板面内に異なる組成(波長,歪み)や膜厚を持つ多波長発光素子を作成することが可能である.本論文では大きな気相拡散効果を生じる広幅(>10$\mu$m)なマスクに着目し,マスク周辺における膜厚・発光波長分布を調べた.一方で,選択成長を数理化した気相拡散モデルを用い,製膜種の気相拡散の振る舞いを定量的に解析した.その結果InGaN成長条件下においては,GaN製膜種の拡散長が10$\mu$m程度と短く,大きな面内膜厚変調を生じることを見出した.更に,マスク上でのGaNの核発生を抑制するために水素添加を提案し,良好な選択性を達成した.選択性向上により気相拡散の効果が促進され,バルクInGaNの成長増大係数の最大値4.8,発光波長54 nm(組成比換算11%)シフトを得た. |
(英) |
Selective area metal-organic vapor phase epitaxy (SA-MOVPE) allows in-plane control of layer composition and thickness. We have analyzed thickness and photoluminescence (PL) profiles of InGaN layers around the relatively wide (>10$\mu$m) selective masks. Numerical simulation using vapor phase diffusion model was also carried out. To obtain deposition selectivity between masks and crystal surface, in-situ etching using hydrogen is effective because it prevents GaN nucleation on mask. Consequently, the maximum growth rate enhancement of 4.8 and photoluminescence peak shift of 54 nm (nominal 11% indium composition shift) were achieved for InGaN bulk layer. |
キーワード |
(和) |
有機金属気相成長 / 選択成長 / GaN / InGaN / 反応速度論的解析 / 成長モデル / モノリシック集積 / |
(英) |
Metal-organic vapor phase epitaxy / selective area growth / gallium nitride / indium gallium nitride / kinetics analysis / growth model / monolithic integration / |
文献情報 |
信学技報, vol. 108, no. 323, LQE2008-98, pp. 13-16, 2008年11月. |
資料番号 |
LQE2008-98 |
発行日 |
2008-11-20 (ED, CPM, LQE) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
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