講演抄録/キーワード |
講演名 |
2008-11-21 15:25
分割円筒空洞共振器によるPZT厚膜の複素誘電率測定における試料挿入部の影響に関する検討 ○柴田幸司(八戸工大)・飯島高志(産総研)・増田陽一郎(八戸工大名誉教授) MW2008-144 エレソ技報アーカイブへのリンク:MW2008-144 |
抄録 |
(和) |
TE011分割円筒空洞共振器法による直径50mm、厚さ0.2mmの鏡面研磨されたアルミナ基板上に化学溶液法により合成した2μm厚のPZT膜の複素誘電率の推定において、共振周波数と誘電体Qの計算に横共振法および摂動法を適用した場合について、TE波解析による電磁界解析による計算結果との比較により試料を挿入する縁端部の影響について評価した。その結果、PZTの比誘電率およびtanδはアルミナ基板の比誘電率の測定値が大きく影響することを確認した。 |
(英) |
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キーワード |
(和) |
複素誘電率 / 円筒空洞共振器 / モード整合法 / モード整合法 / モード解析 / / / |
(英) |
Complex Permittivity / Cylindrical Cavity Resonator / Mode-Matching Technique / Mode-Matching Method / Modal Analysis / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 108, no. 311, MW2008-144, pp. 149-154, 2008年11月. |
資料番号 |
MW2008-144 |
発行日 |
2008-11-13 (MW) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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