講演抄録/キーワード |
講演名 |
2008-10-31 09:00
Al下地膜上へのSrAl2O4薄膜の剥離抑制の検討 ○張 鋒・纐纈正和・清水英彦・岩野春男・川上貴浩(新潟大) CPM2008-82 エレソ技報アーカイブへのリンク:CPM2008-82 |
抄録 |
(和) |
本研究では,Al薄膜の上にSrAl2O4薄膜をスパッタ堆積した後,熱処理を行う方法によるアSrAl2O4薄膜の剥離や亀裂の抑制の検討を行った。その結果,Al下地膜及びスパッタ膜堆積時の酸素分圧は,熱処理によりSrAl2O4薄膜を作製する場合の結晶性向上や配向性制御や剥離や亀裂の抑制,発光強度の増加に有効であった。 |
(英) |
In order to suppress that SrAl2O4 films on Al underlayer detach from substrate, SrAl2O4 thin films were attempted by post-annealing in
vacuum of the films deposited on Al underlayer using reactive sputtering method. As a result, The Al film was effective to the crystallinity improvement, control of orientation and increase of the luminescence intensity of the SrAl2O4 film. |
キーワード |
(和) |
SrAl2O4薄膜 / 長残光性蛍光体 / 真空熱処理 / 剥離 / / / / |
(英) |
SrAl2O4 thin film / long persistent phosphor / post-annealing in vacuum / detach / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 108, no. 269, CPM2008-82, pp. 41-46, 2008年10月. |
資料番号 |
CPM2008-82 |
発行日 |
2008-10-23 (CPM) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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