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講演抄録/キーワード
講演名
2008-10-09 14:00
高精度CMP終点検出方法の検討
谷 クン
・○
根本剛直
(
東北大
)・
Ara Philipossian
・
Yasa Adi Sampurno
(
Univ. of Arizona/Araca
)・
Jiang Cheng
(
Araca
)・
Yun Zhuang
(
Univ. of Arizona/Araca
)・
寺本章伸
・
伊藤隆司
・
大見忠弘
(
東北大
)
SDM2008-150
エレソ技報アーカイブへのリンク:
SDM2008-150
抄録
(和)
(まだ登録されていません)
(英)
(Not available yet)
キーワード
(和)
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(英)
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文献情報
信学技報, vol. 108, no. 236, SDM2008-150, pp. 7-12, 2008年10月.
資料番号
SDM2008-150
発行日
2008-10-02 (SDM)
ISSN
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード
SDM2008-150
エレソ技報アーカイブへのリンク:
SDM2008-150
研究会情報
研究会
SDM
開催期間
2008-10-09 - 2008-10-10
開催地(和)
東北大学
開催地(英)
Tohoku Univ.
テーマ(和)
プロセス科学と新プロセス技術
テーマ(英)
Process Science and Novel Process Technologies
講演論文情報の詳細
申込み研究会
SDM
会議コード
2008-10-SDM
本文の言語
英語(日本語タイトルあり)
タイトル(和)
高精度CMP終点検出方法の検討
サブタイトル(和)
タイトル(英)
Investigation of Novel End-Point-Detection for Ta/Cu CMP
サブタイトル(英)
キーワード(1)(和/英)
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キーワード(2)(和/英)
/
キーワード(3)(和/英)
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キーワード(4)(和/英)
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キーワード(5)(和/英)
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キーワード(6)(和/英)
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キーワード(7)(和/英)
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キーワード(8)(和/英)
/
第1著者 氏名(和/英/ヨミ)
谷 クン
/
Xun Gu
/
コク クン
第1著者 所属(和/英)
東北大学
(略称:
東北大
)
Tohoku Univ.
(略称:
Tohoku Univ.
)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ)
根本 剛直
/
Takenao Nemoto
/
ネモト タケナオ
第2著者 所属(和/英)
東北大学
(略称:
東北大
)
Tohoku Univ.
(略称:
Tohoku Univ.
)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ)
Ara Philipossian
/
Ara Philipossian
/
第3著者 所属(和/英)
University of Arizona/Araca Incorporated
(略称:
Univ. of Arizona/Araca
)
Araca Incorporated
(略称:
Univ. of Arizona/Araca
)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ)
Yasa Adi Sampurno
/
Yasa Adi Sampurno
/
第4著者 所属(和/英)
University of Arizona/Araca Incorporated
(略称:
Univ. of Arizona/Araca
)
Araca Incorporated
(略称:
Univ. of Arizona/Araca
)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ)
Jiang Cheng
/
Jiang Cheng
/
第5著者 所属(和/英)
Araca Incorporated
(略称:
Araca
)
Araca Incorporated
(略称:
Araca
)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ)
Yun Zhuang
/
Yun Zhuang
/
第6著者 所属(和/英)
University of Arizona/Araca Incorporated
(略称:
Univ. of Arizona/Araca
)
Araca Incorporated
(略称:
Univ. of Arizona/Araca
)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ)
寺本 章伸
/
Akinobu Teramoto
/
テラモト アキノブ
第7著者 所属(和/英)
東北大学
(略称:
東北大
)
Tohoku Univ.
(略称:
Tohoku Univ.
)
第8著者 氏名(和/英/ヨミ)
伊藤 隆司
/
Takashi Ito
/
イトウ タカシ
第8著者 所属(和/英)
東北大学
(略称:
東北大
)
Tohoku Univ.
(略称:
Tohoku Univ.
)
第9著者 氏名(和/英/ヨミ)
大見 忠弘
/
Tadahiro Ohmi
/
オオミ タダヒロ
第9著者 所属(和/英)
東北大学
(略称:
東北大
)
Tohoku Univ.
(略称:
Tohoku Univ.
)
第10著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第10著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第11著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第11著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第12著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第12著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第13著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第13著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第14著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第14著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第15著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第15著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第16著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第16著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第17著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第17著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第18著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第18著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第19著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第19著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第20著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第20著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
講演者
第2著者
発表日時
2008-10-09 14:00:00
発表時間
30分
申込先研究会
SDM
資料番号
SDM2008-150
巻番号(vol)
vol.108
号番号(no)
no.236
ページ範囲
pp.7-12
ページ数
6
発行日
2008-10-02 (SDM)
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