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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2008-05-30 14:30 直線集束ビーム超音波材料解析システムを用いたスート法により作製したTiO2-SiO2超低膨張ガラスの評価 櫛引淳一・○荒川元孝（東北大）・上田哲司・藤ノ木 朗（信越石英）  US2008-12 |
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| 抄録 | （和） | 本報では、スート法によりTiO2-SiO2ガラスインゴットを作製した。さらに、それを帯域溶融法により均質化した。直線集束ビーム超音波材料解析システムを用いて、225 MHzにおいて漏洩弾性表面波(LSAW)速度を測定することにより、作製したガラスの均質性の評価を行った。均質化した試料に対するLSAW速度の二次元分布の平均値は3304.08 m/s、最大差は3.85 m/s以内であり、脈理は見られなかった。LSAW速度の線膨張係数(CTE)に対する感度{4.41 (ppb/K)/(m/s)}から、速度差は、17.0 ppb/KのCTEの変化と見積もられた。端部を除くほとんどの領域で、LSAW速度分布は、EUVL用のガラスの仕様である±5 ppb/K以内のCTEに対応する±1.13 m/s以内となった。均質化したガラスの一部に対して熱処理を行い、LSAW速度と仮想温度との間の関係を検討した。 |
| （英） | In this paper, we tried to fabricate a TiO2-doped SiO2 (TiO2-SiO2) glass ingot by the soot method, and homogenized the glass ingot by the zone-melting method. Homogeneities of the specimens were evaluated by measuring leaky surface acoustic wave (LSAW) velocity using the line-focus-beam ultrasonic material characterization system at 225 MHz. Two-dimensional LSAW velocity distributions having an average velocity of 3304.08 m/s with a maximum velocity difference of 3.85 m/s were measured for a homogenized specimen. Striae were not observed for the specimen. The velocity difference corresponds to 17.0 ppb/K from the sensitivity of the LSAW velocity to the CTE {4.41 (ppb/K)/(m/s)}. However, the velocity distributions excluding the edge parts were within ±1.13 m/s, corresponding to the CTE specification of ±5 ppb/K required for EUVL-grade glass. We also discussed the relationship between LSAW velocities and fictive temperatures by heat-treating a part of the homogenized specimen. | |
| キーワード | （和） | 直線集束ビーム超音波材料解析システム / 速度測定 / 漏洩弾性表面波 / TiO2-SiO2超低膨張ガラス / CTE評価 / EUVLシステム / 均質化処理 / 仮想温度 |
| （英） | Line-focus-beam ultrasonic material characterization system / Velocity measurement / Leaky surface acoustic waves / TiO2-SiO2 ultra-low-expansion glass / CTE evaluation / EUVL system / Homogenization process / Fictive temperature | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 108, no. 73, US2008-12, pp. 11-16, 2008年5月. | |
| 資料番号 | US2008-12 | |
| 発行日 | 2008-05-23 (US) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | US2008-12 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
| 開催期間 | 2008-05-30 - 2008-05-30 |
| 開催地（和） | 機械振興会館 |
| 開催地（英） | Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. |
| テーマ（和） | 一般 |
| テーマ（英） | General |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | US |
| 会議コード | 2008-05-US |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 直線集束ビーム超音波材料解析システムを用いたスート法により作製したTiO2-SiO2超低膨張ガラスの評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Evaluation of TiO2-SiO2 Ultra-Low-Expansion Glass Fabricated by the Soot Method Using the Line-Focus-Beam Ultrasonic Material Characterization System |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 直線集束ビーム超音波材料解析システム / Line-focus-beam ultrasonic material characterization system |
| キーワード(2)（和/英） | 速度測定 / Velocity measurement |
| キーワード(3)（和/英） | 漏洩弾性表面波 / Leaky surface acoustic waves |
| キーワード(4)（和/英） | TiO2-SiO2超低膨張ガラス / TiO2-SiO2 ultra-low-expansion glass |
| キーワード(5)（和/英） | CTE評価 / CTE evaluation |
| キーワード(6)（和/英） | EUVLシステム / EUVL system |
| キーワード(7)（和/英） | 均質化処理 / Homogenization process |
| キーワード(8)（和/英） | 仮想温度 / Fictive temperature |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 櫛引 淳一 / Jun-ichi Kushibiki / クシビキ ジュンイチ |
| 第1著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 荒川 元孝 / Mototaka Arakawa / アラカワ モトタカ |
| 第2著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 上田 哲司 / Tetsuji Ueda / ウエダ テツジ |
| 第3著者 所属（和/英） | 信越石英株式会社 (略称： 信越石英) Shin-Etsu Quartz Products Co., Ltd. (略称： Shin-Etsu Quartz) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 藤ノ木 朗 / Akira Fujinoki / フジノキ アキラ |
| 第4著者 所属（和/英） | 信越石英株式会社 (略称： 信越石英) Shin-Etsu Quartz Products Co., Ltd. (略称： Shin-Etsu Quartz) |
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| 講演者 | 第2著者 |
| 発表日時 | 2008-05-30 14:30:00 |
| 発表時間 | 30分 |
| 申込先研究会 | US |
| 資料番号 | US2008-12 |
| 巻番号（vol） | vol.108 |
| 号番号（no） | no.73 |
| ページ範囲 | pp.11-16 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2008-05-23 (US) |
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