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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2008-05-30 14:00 逆プロトン交換LiNbO3基板上の漏洩弾性表面波伝搬特性 垣尾省司・○清水秀徳・中川恭彦（山梨大）  US2008-11 |
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| 抄録 | （和） | 逆プロトン交換法を利用すると，弾性定数が低減したプロトン交換層を基板内部に埋め込むことができるため，バルクと同等の特性をもつ表層の逆プロトン交換層で結合係数の低減を防ぎ，埋め込んだプロトン交換層で漏洩弾性表面波(Leaky SAW: LSAW)の伝搬減衰を抑圧させる基板構造が期待できる．本報告では，まず，回転YカットLiNbO$_3$(LN)に対して「空気/バルクLN層/弾性定数が低減したLN基板」の3層構造を仮定しLSAW特性を計算した．短絡表面ではゼロ減衰を示すY軸からの回転角が64$^{\circ}$から5$^{\circ}$までシフトすること，自由表面の位相速度が速い横波速度を超える回転角の範囲が拡大し，その境界では伝搬減衰が消失することを明らかにした．次に，41$^{\circ}$ Y-X LN基板上のLSAW伝搬損失を測定した結果，短絡表面ではプロトン交換層を埋め込むことによって，未処理の0.036dB/$\lambda$から0.015dB/$\lambda$に減少した．自由表面においても伝搬損失の減少が観測された． |
| （英） | A proton-exchanged layer with an elastically soft property can be buried into a substrate by a reverse proton exchange (RPE) process. It can be expected that the RPE layer with a property similar to that of bulk LiNbO$_3$ (LN) prevents the degradation of the coupling factor and the buried PE layer reduces the leaky SAW (LSAW) attenuation. In this study, first, a layered structure of air/bulk LN/softened LN was assumed for the rotated Y-X LN and the LSAW attenuation was calculated. The rotation angle from the Y-axis giving zero attenuation shifted from 64$^{\circ}$ toward 5$^{\circ}$ for a metallized surface. The range of the rotation angles which the LSAW phase velocity exceeds that of a fast shear bulk wave markedly expanded for a free surface, and the attenuation vanished at these boundaries. Next, the LSAW propagation loss $PL$ was measured on 41$^{\circ}$ Y-X LN. The $PL$ was decreased by carrying out the RPE process. |
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| キーワード | （和） | 漏洩弾性表面波 / 伝搬減衰 / 伝搬損失 / 逆プロトン交換 / 埋込プロトン交換層 / / / |
| （英） | leaky surface acoustic wave / attenuation / propagation loss / reverse proton exchange / buried proton-exchanged layer / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 108, no. 73, US2008-11, pp. 5-10, 2008年5月. | |
| 資料番号 | US2008-11 | |
| 発行日 | 2008-05-23 (US) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | US2008-11 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
| 開催期間 | 2008-05-30 - 2008-05-30 |
| 開催地（和） | 機械振興会館 |
| 開催地（英） | Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. |
| テーマ（和） | 一般 |
| テーマ（英） | General |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | US |
| 会議コード | 2008-05-US |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 逆プロトン交換LiNbO3基板上の漏洩弾性表面波伝搬特性 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Propagation characteristics of Leaky Surface Acoustic Wave on Reverse-Proton-Exchanged LiNbO3 |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 漏洩弾性表面波 / leaky surface acoustic wave |
| キーワード(2)（和/英） | 伝搬減衰 / attenuation |
| キーワード(3)（和/英） | 伝搬損失 / propagation loss |
| キーワード(4)（和/英） | 逆プロトン交換 / reverse proton exchange |
| キーワード(5)（和/英） | 埋込プロトン交換層 / buried proton-exchanged layer |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 垣尾 省司 / Shoji Kakio / カキオ ショウジ |
| 第1著者 所属（和/英） | 山梨大学 (略称： 山梨大) University of Yamanashi (略称： Univ. Yamanashi) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 清水 秀徳 / Hidenori Shimizu / シミズ ヒデノリ |
| 第2著者 所属（和/英） | 山梨大学 (略称： 山梨大) University of Yamanashi (略称： Univ. Yamanashi) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 中川 恭彦 / Yasuhiko Nakagawa / ナカガワ ヤスヒコ |
| 第3著者 所属（和/英） | 山梨大学 (略称： 山梨大) University of Yamanashi (略称： Univ. Yamanashi) |
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| 講演者 | 第2著者 |
| 発表日時 | 2008-05-30 14:00:00 |
| 発表時間 | 30分 |
| 申込先研究会 | US |
| 資料番号 | US2008-11 |
| 巻番号（vol） | vol.108 |
| 号番号（no） | no.73 |
| ページ範囲 | pp.5-10 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2008-05-23 (US) |
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