講演抄録/キーワード |
講演名 |
2008-05-09 10:00
ECRスパッタ法により作製したLiCoO2正極膜を用いた薄膜型リチウム二次電池の電気化学特性 ○林 政彦・高橋雅也・正代尊久(NTT) |
抄録 |
(和) |
薄膜型リチウム二次電池用正極膜の新規な作製法として電子サイクロトロン共鳴(ECR)プラズマスパッタリング法を用いて、ポストアニーリング無しで高結晶性LiCoO2膜を作製することに成功した。このLiCoO2正極膜上に、LiPON固体電解質膜、Li負極膜を積層することによって薄膜型リチウム二次電池を作製した。本電池は、約1mWh/cm2の大きなエネルギー密度を有し、かつ安定した充放電サイクル特性を示した。しかしながら、得られた放電容量から、LiCoO2正極の利用効率を求めたところ、その値は約55%となり、正極中に多量の不活性な不純物が含まれていることが示唆された。そこで、Li過剰なLi2.0CoO2(LiCoO2とLi2CO3の混合物)ターゲットを用いて正極膜を作製したところ、定比組成のLiCoO2単相膜が得られ、ほぼ100%の正極利用効率を示した。 |
(英) |
Well-crystallized positive LiCoO2 films for thin-film lithium secondary batteries were obtained without a post-annealing process by employing an electron cyclotron resonance (ECR) plasma sputtering method as a novel deposition technique. The thin-film batteries were fabricated by depositing a LiPON electrolyte film and a negative Li film in sequence on the positive LiCoO2 film. The batteries exhibited large energy densities of about 1 mWh/cm2 and good charge/discharge cycle performance. The utilization of the positive film, which was estimated from the discharge capacities of the batteries, was about 60 %, and consequently the film was found to contain a large amount of inactive Co3O4 impurity phase. The positive film was prepared by using a Li-excess Li2.0CoO2 (a mixture of LiCoO2 and Li2CO3) target to increase the utilization of the positive film. The films thus obtained were stoichiometric LiCoO2 phase films that exhibited a utilization of almost 100 %. |
キーワード |
(和) |
薄膜型リチウム二次電池 / コバルト酸リチウム(LiCoO2) / 電子サイクロトロン共鳴(ECR)プラズマスパッタリング法 / 高エネルギー密度 / / / / |
(英) |
Thin-film lithium secondary batteries / lithium cobaltite (LiCoO2) / electron cyclotron resonance (ECR) plasma sputtering method / high energy density / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 108, pp. 1-6, 2008年5月. |
資料番号 |
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発行日 |
2008-05-02 (EE) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
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