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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2008-03-13 10:00 光電子デバイスのための真空スプレー法による高分子薄膜作製 ～ スプレービームと製膜初期過程の解析 ～ 莫 暁亮・溝黒登志子・○谷垣宣孝・平賀 隆（産総研）・梅原 登・高木一義・山本純夫（テクニカルサポート）  OME2007-89 エレソ技報アーカイブへのリンク：OME2007-89 |
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| 抄録 | （和） | 有機薄膜作製技術である真空スプレー法を改良するため，スプレービーム，製膜の初期過程を評価した．真空スプレー法において重要なノズル部分について，ピンホール径の違い（10，20μmの２種）による影響を調べた．真空槽内に噴霧される溶液ミストにレーザー光を照射することでスプレービーム形状を評価した．散乱されたレーザー光をみることでスプレービームの発散角を測定し，送液の圧力との関係を調べた．共役系高分子poly[2-methoxy-5-(2'-ethylhexoxy)-1,4-phenylenevinylene] (MEH-PPV)のクロロホルム溶液を基板に対し短時間噴霧し，製膜初期における基板表面におけるMEH-PPVポリマー微粒子の堆積状態を光学顕微鏡および原子間力顕微鏡によって評価した．２種類のピンホール径の違いによりスプレービームの発散角，基板表面に形成される微粒子の形状に大きな違いがあった．10μm径ピンホールを用いた場合，スプレービームの開き角は大きくなり，形成される微粒子のサイズは小さくなり，サイズ分布も均一になった． |
| （英） | In order to improve the vacuum spray method, we investigated a spray beam and the initial stage of thin-film preparation. As the key parts, two types of pinhole nozzle with diameters of 10 and 20 μm were used. The spray solution beam in a vacuum chamber was irradiated with a green laser. By measuring the length of the laser-scattered part, the divergence angle of the spray beam and the relationship between the beam width and pump pressure were investigated. After diluted poly[2-methoxy-5-(2'-ethylhexoxy)-1,4-phenylenevinylene] (MEH-PPV) in a chloroform solution was injected onto the heated substrates in a short time period, the MEH-PPV particles on the substrates were analyzed by optical microscopy and atomic force microscopy. Compared with the nozzle with a pinhole with a diameter of 20 μm, the 10-μm-pinhole generated a spray beam with a big divergence angle, and the MEH-PPV particles on the substrate were smaller and more uniform in size. | |
| キーワード | （和） | 真空スプレー法 / 有機薄膜 / 共役系高分子 / ポリマー微粒子 / ポリ（フェニレンビニレン） / / / |
| （英） | Vacuum Spray Method / Organic Thin Film / Conjugated Polymers / Polymer Particle / Poly(phenylene vinylene) / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 107, no. 546, OME2007-89, pp. 1-6, 2008年3月. | |
| 資料番号 | OME2007-89 | |
| 発行日 | 2008-03-06 (OME) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | OME2007-89 エレソ技報アーカイブへのリンク：OME2007-89 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME |
| 開催期間 | 2008-03-13 - 2008-03-13 |
| 開催地（和） | 京都リサーチパーク(KRP) |
| 開催地（英） | Kyoto Research Park |
| テーマ（和） | ポリマー光回路、光機能性材料、一般 |
| テーマ（英） | Polymer Optical Circuit, etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | OME |
| 会議コード | 2008-03-OME |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 光電子デバイスのための真空スプレー法による高分子薄膜作製 |
| サブタイトル（和） | スプレービームと製膜初期過程の解析 |
| タイトル（英） | Polymer Thin Film Preparation by Vacuum Spray Method for Opto-Electronic Devices |
| サブタイトル（英） | Analyses of Spray Beam and Initial Stage of Thin-Film Preparation |
| キーワード(1)（和/英） | 真空スプレー法 / Vacuum Spray Method |
| キーワード(2)（和/英） | 有機薄膜 / Organic Thin Film |
| キーワード(3)（和/英） | 共役系高分子 / Conjugated Polymers |
| キーワード(4)（和/英） | ポリマー微粒子 / Polymer Particle |
| キーワード(5)（和/英） | ポリ（フェニレンビニレン） / Poly(phenylene vinylene) |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 莫 暁亮 / Mo Xiaoliang / モウ シャオリャン |
| 第1著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 溝黒 登志子 / Toshiko Mizokuro / ミゾクロ トシコ |
| 第2著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 谷垣 宣孝 / Nobutaka Tanigaki / タニガキ ノブタカ |
| 第3著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 平賀 隆 / Takashi Hiraga / ヒラガ タカシ |
| 第4著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 梅原 登 / Noboru Umehara / ウメハラ ノボル |
| 第5著者 所属（和/英） | 株式会社テクニカルサポート (略称： テクニカルサポート) Technical Support. Co., LTD (略称： Technical Support) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 高木 一義 / Kazuyoshi Takagi / タカギ カズヨシ |
| 第6著者 所属（和/英） | 株式会社テクニカルサポート (略称： テクニカルサポート) Technical Support. Co., LTD (略称： Technical Support) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 山本 純夫 / Sumio Yamamoto / ヤマモト スミオ |
| 第7著者 所属（和/英） | 株式会社テクニカルサポート (略称： テクニカルサポート) Technical Support. Co., LTD (略称： Technical Support) |
| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
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| 講演者 | 第3著者 |
| 発表日時 | 2008-03-13 10:00:00 |
| 発表時間 | 20分 |
| 申込先研究会 | OME |
| 資料番号 | OME2007-89 |
| 巻番号（vol） | vol.107 |
| 号番号（no） | no.546 |
| ページ範囲 | pp.1-6 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2008-03-06 (OME) |
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