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| 講演名 | 2008-02-15 10:40 簡易ESD装置の開発とその適用検討 ～ ESD破壊現象の特定 ～ ○山崎規雄・真田 克（高知工科大）  R2007-59 EMD2007-114 エレソ技報アーカイブへのリンク：EMD2007-114 |
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| 抄録 | （和） | ESD耐量の調査と破壊防止を目的とした簡易なESD試験装置を試作した。装置は高電圧供給源とリレースイッチ及び、信号制御回路を有する。任意のモジュールを組込むことで代表的な3種類の静電気モデル（機械帯電モデル、人体帯電モデル、デバイス帯電モデル）を実現できる。この装置を用いて市販LSIの耐量や故障解析用サンプル造りに利用する。又、入出力回路部の短絡箇所検出のためのTLP評価試験の適用を検討する。 |
| （英） | Simple Electro Static Discharge(ESD) tester has been developed for evaluating ESD sensitivity of LSI and studying ESD protection of it. The tester system consists of high voltage power supply, relay switch, and signal control circuit. Representative three types of electro static mode: Machine model、Human body model and Charged device model、are built in the system. The tester is applied to measure ESD sensitive value of commercially LSI, to fabricate fault LSI with ESD damage, and to evaluate TPL test for fault portion detection of IN-OUT put circuit. , , , |
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| キーワード | （和） | LSI / 静電破壊 / ESD試験装置 / 信頼性 / 故障解析 / / / |
| （英） | LSI / Electrostatic discharge(ESD) / EDS tester / Reliability / Failure analysis / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 107, no. 484, R2007-59, pp. 1-6, 2008年2月. | |
| 資料番号 | R2007-59 | |
| 発行日 | 2008-02-08 (R, EMD) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | R2007-59 EMD2007-114 エレソ技報アーカイブへのリンク：EMD2007-114 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | EMD R |
| 開催期間 | 2008-02-15 - 2008-02-15 |
| 開催地（和） | オムロン京都センタービル啓真館 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 機構デバイスの信頼性,信頼性一般 （共催：継電器・コンタクトテクノロジ研究会，IEEE CPMT JAPAN) |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | R |
| 会議コード | 2008-02-EMD-R |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 簡易ESD装置の開発とその適用検討 |
| サブタイトル（和） | ESD破壊現象の特定 |
| タイトル（英） | Development of Simple ESD Checker and it's Application |
| サブタイトル（英） | Detection of ESD Checker and it's Application |
| キーワード(1)（和/英） | LSI / LSI |
| キーワード(2)（和/英） | 静電破壊 / Electrostatic discharge(ESD) |
| キーワード(3)（和/英） | ESD試験装置 / EDS tester |
| キーワード(4)（和/英） | 信頼性 / Reliability |
| キーワード(5)（和/英） | 故障解析 / Failure analysis |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 山崎 規雄 / Norio Yamasaki / ヤマサキ ノリオ |
| 第1著者 所属（和/英） | 高知工科大学 (略称： 高知工科大) Kochi University of Technology (略称： KUT) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 真田 克 / Masaru Sanada / サナダ マサル |
| 第2著者 所属（和/英） | 高知工科大学 (略称： 高知工科大) Kochi University of Technology (略称： KUT) |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2008-02-15 10:40:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | R |
| 資料番号 | R2007-59, EMD2007-114 |
| 巻番号（vol） | vol.107 |
| 号番号（no） | no.484(R), no.485(EMD) |
| ページ範囲 | pp.1-6 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2008-02-08 (R, EMD) |
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