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講演抄録/キーワード
講演名 2007-12-14 16:30
シリコンリング共振器を用いた電界駆動光変調素子
徳永智大田主裕一朗雨宮嘉照横山 新広島大エレソ技報アーカイブへのリンク:OPE2007-143
抄録 (和) SOIウエハを用い直径20umのマルチモードシリコンリング共振器(共振波長1500nm付近)を製作した。導波路幅は0.6~1um、厚さ0.3umである。750℃の減圧(LP)CVDSi3N4膜(0.26um)および700℃のLPCVDTEOS酸化膜(1um)で導波路を覆いストレスを印加した。下部BOX層は1umで縦方向の電界を印加した。電圧印加によってドロップポートの共振光出力が減少し、波長1501.6nm、電圧200Vで光変調率30%を得た。共振波長の短波長側シフトも観測された。 
(英) Multimode Si ring resonators (20um in diameter and resonance wavelength of 1500nm) were fabricated on SOI wafers. The waveguide width is 0.6~1.0um, and the thickness is 0.3um. The waveguide was covered with LPCVD Si3N4 film (0.26um) deposited at 750℃ and LPCVD TEOS SiO2 film deposited at 700℃, and the mechanical stress was induced. The electric field in the vertical direction was applied to the Si waveguide through the bottom cladding layer (1um thick SiO2). The optical output from the drop port at the resonance wavelength was decreased by applied voltage. At a wavelength of 1501.6nm, the optical modulation of 30% was obtained at 200V. The resonance wavelength shift toward short wavelength side was also observed.
キーワード (和) シリコンリング共振器 / 光出力変調 / 電界駆動 / キャリア濃度変調 / 減圧CVDSi3N4 / / /  
(英) Si-ring resonator / Optical modulation / Electiric-field drive / Carrier concentration modulation / LPCVD Si3N4 / / /  
文献情報 信学技報, vol. 107, no. 389, OPE2007-143, pp. 41-46, 2007年12月.
資料番号 OPE2007-143 
発行日 2007-12-07 (OPE) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
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技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード エレソ技報アーカイブへのリンク:OPE2007-143

研究会情報
研究会 OPE  
開催期間 2007-12-14 - 2007-12-14 
開催地(和) 機械振興会館 
開催地(英) Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. 
テーマ(和) 光パッシブコンポネント(フィルタ,コネクタ,MEMS)、シリコンフォトニクス、光ファイバ、一般 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 OPE 
会議コード 2007-12-OPE 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) シリコンリング共振器を用いた電界駆動光変調素子 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Electric-Field Drive Optical Modulator Using Si Ring Resonator 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) シリコンリング共振器 / Si-ring resonator  
キーワード(2)(和/英) 光出力変調 / Optical modulation  
キーワード(3)(和/英) 電界駆動 / Electiric-field drive  
キーワード(4)(和/英) キャリア濃度変調 / Carrier concentration modulation  
キーワード(5)(和/英) 減圧CVDSi3N4 / LPCVD Si3N4  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 徳永 智大 / Tomohiro Tokunaga / トクナガ トモヒロ
第1著者 所属(和/英) 広島大学 (略称: 広島大)
Hiroshima University (略称: Hiroshima Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 田主 裕一朗 / Yuichiro Tanushi / タヌシ ユウイチロウ
第2著者 所属(和/英) 広島大学 (略称: 広島大)
Hiroshima University (略称: Hiroshima Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 雨宮 嘉照 / Yoshiteru Amemiya / アメミヤ ヨシテル
第3著者 所属(和/英) 広島大学 (略称: 広島大)
Hiroshima University (略称: Hiroshima Univ.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 横山 新 / Shin Yokoyama / ヨコヤマ シン
第4著者 所属(和/英) 広島大学 (略称: 広島大)
Hiroshima University (略称: Hiroshima Univ.)
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講演者
発表日時 2007-12-14 16:30:00 
発表時間 25 
申込先研究会 OPE 
資料番号 IEICE-OPE2007-143 
巻番号(vol) IEICE-107 
号番号(no) no.389 
ページ範囲 pp.41-46 
ページ数 IEICE-6 
発行日 IEICE-OPE-2007-12-07 


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