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講演抄録/キーワード
講演名 2007-11-17 14:05
ケミカルバス法によるZnS薄膜の作製 ~ 膜厚の制御 ~
上條和隆小林敏志坪井 望新潟大CPM2007-124 エレソ技報アーカイブへのリンク:CPM2007-124
抄録 (和) アンモニアとヒドラジン一水和物を錯化剤として用いたケミカルバス(CBD)法によってZnS薄膜の作製を行った。このとき、溶液のpHをパラメータとして変化させて、どのような作製条件で膜成長がよく起こるのかを調べた。そして、反応溶液のpHを高く維持することにより、厚い膜を作製できることがわかった。 
(英) ZnS thin films are prepared by chemical bath deposition (CBD) technique using ammonia and hydrazine monohydrate as complexing agent. The growth rate of ZnS films is investigated controlling the pH value of solution. Keeping pH of solution high, thicker films are doposited.
キーワード (和) ZnS / 薄膜 / ケミカルバス(CBD)法 / ヒドラジン一水和物 / / / /  
(英) ZnS / thin film / chemical bath deposition(CBD) / hydrazine monohydrate / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 107, no. 325, CPM2007-124, pp. 97-101, 2007年11月.
資料番号 CPM2007-124 
発行日 2007-11-09 (CPM) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685    Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード CPM2007-124 エレソ技報アーカイブへのリンク:CPM2007-124

研究会情報
研究会 CPM  
開催期間 2007-11-16 - 2007-11-17 
開催地(和) 長岡技術科学大学 
開催地(英) Nagaoka University of Technology 
テーマ(和) 薄膜プロセス・材料、一般 
テーマ(英) Process of Thin Film formation and Materials, etc. 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 CPM 
会議コード 2007-11-CPM 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) ケミカルバス法によるZnS薄膜の作製 
サブタイトル(和) 膜厚の制御 
タイトル(英) Preparation of ZnS Thin Films by Chemical Bath Method 
サブタイトル(英) Experiments for Thicker Films 
キーワード(1)(和/英) ZnS / ZnS  
キーワード(2)(和/英) 薄膜 / thin film  
キーワード(3)(和/英) ケミカルバス(CBD)法 / chemical bath deposition(CBD)  
キーワード(4)(和/英) ヒドラジン一水和物 / hydrazine monohydrate  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 上條 和隆 / Kazutaka Kamijo / カミジョウ カズタカ
第1著者 所属(和/英) 新潟大学 (略称: 新潟大)
Niigata University (略称: Niigata Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 小林 敏志 / Satoshi Kobayashi / コバヤシ サトシ
第2著者 所属(和/英) 新潟大学 (略称: 新潟大)
Niigata University (略称: Niigata Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 坪井 望 / Nozomu Tsuboi / ツボイ ノゾム
第3著者 所属(和/英) 新潟大学 (略称: 新潟大)
Niigata University (略称: Niigata Univ.)
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講演者 第1著者 
発表日時 2007-11-17 14:05:00 
発表時間 25分 
申込先研究会 CPM 
資料番号 CPM2007-124 
巻番号(vol) vol.107 
号番号(no) no.325 
ページ範囲 pp.97-101 
ページ数
発行日 2007-11-09 (CPM) 


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