講演抄録/キーワード |
講演名 |
2007-11-17 14:05
ケミカルバス法によるZnS薄膜の作製 ~ 膜厚の制御 ~ ○上條和隆・小林敏志・坪井 望(新潟大) CPM2007-124 エレソ技報アーカイブへのリンク:CPM2007-124 |
抄録 |
(和) |
アンモニアとヒドラジン一水和物を錯化剤として用いたケミカルバス(CBD)法によってZnS薄膜の作製を行った。このとき、溶液のpHをパラメータとして変化させて、どのような作製条件で膜成長がよく起こるのかを調べた。そして、反応溶液のpHを高く維持することにより、厚い膜を作製できることがわかった。 |
(英) |
ZnS thin films are prepared by chemical bath deposition (CBD) technique using ammonia and hydrazine monohydrate as complexing agent. The growth rate of ZnS films is investigated controlling the pH value of solution. Keeping pH of solution high, thicker films are doposited. |
キーワード |
(和) |
ZnS / 薄膜 / ケミカルバス(CBD)法 / ヒドラジン一水和物 / / / / |
(英) |
ZnS / thin film / chemical bath deposition(CBD) / hydrazine monohydrate / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 107, no. 325, CPM2007-124, pp. 97-101, 2007年11月. |
資料番号 |
CPM2007-124 |
発行日 |
2007-11-09 (CPM) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
PDFダウンロード |
CPM2007-124 エレソ技報アーカイブへのリンク:CPM2007-124 |
研究会情報 |
研究会 |
CPM |
開催期間 |
2007-11-16 - 2007-11-17 |
開催地(和) |
長岡技術科学大学 |
開催地(英) |
Nagaoka University of Technology |
テーマ(和) |
薄膜プロセス・材料、一般 |
テーマ(英) |
Process of Thin Film formation and Materials, etc. |
講演論文情報の詳細 |
申込み研究会 |
CPM |
会議コード |
2007-11-CPM |
本文の言語 |
日本語 |
タイトル(和) |
ケミカルバス法によるZnS薄膜の作製 |
サブタイトル(和) |
膜厚の制御 |
タイトル(英) |
Preparation of ZnS Thin Films by Chemical Bath Method |
サブタイトル(英) |
Experiments for Thicker Films |
キーワード(1)(和/英) |
ZnS / ZnS |
キーワード(2)(和/英) |
薄膜 / thin film |
キーワード(3)(和/英) |
ケミカルバス(CBD)法 / chemical bath deposition(CBD) |
キーワード(4)(和/英) |
ヒドラジン一水和物 / hydrazine monohydrate |
キーワード(5)(和/英) |
/ |
キーワード(6)(和/英) |
/ |
キーワード(7)(和/英) |
/ |
キーワード(8)(和/英) |
/ |
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) |
上條 和隆 / Kazutaka Kamijo / カミジョウ カズタカ |
第1著者 所属(和/英) |
新潟大学 (略称: 新潟大)
Niigata University (略称: Niigata Univ.) |
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) |
小林 敏志 / Satoshi Kobayashi / コバヤシ サトシ |
第2著者 所属(和/英) |
新潟大学 (略称: 新潟大)
Niigata University (略称: Niigata Univ.) |
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) |
坪井 望 / Nozomu Tsuboi / ツボイ ノゾム |
第3著者 所属(和/英) |
新潟大学 (略称: 新潟大)
Niigata University (略称: Niigata Univ.) |
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) |
/ / |
第4著者 所属(和/英) |
(略称: )
(略称: ) |
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) |
/ / |
第5著者 所属(和/英) |
(略称: )
(略称: ) |
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) |
/ / |
第6著者 所属(和/英) |
(略称: )
(略称: ) |
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) |
/ / |
第7著者 所属(和/英) |
(略称: )
(略称: ) |
第8著者 氏名(和/英/ヨミ) |
/ / |
第8著者 所属(和/英) |
(略称: )
(略称: ) |
第9著者 氏名(和/英/ヨミ) |
/ / |
第9著者 所属(和/英) |
(略称: )
(略称: ) |
第10著者 氏名(和/英/ヨミ) |
/ / |
第10著者 所属(和/英) |
(略称: )
(略称: ) |
第11著者 氏名(和/英/ヨミ) |
/ / |
第11著者 所属(和/英) |
(略称: )
(略称: ) |
第12著者 氏名(和/英/ヨミ) |
/ / |
第12著者 所属(和/英) |
(略称: )
(略称: ) |
第13著者 氏名(和/英/ヨミ) |
/ / |
第13著者 所属(和/英) |
(略称: )
(略称: ) |
第14著者 氏名(和/英/ヨミ) |
/ / |
第14著者 所属(和/英) |
(略称: )
(略称: ) |
第15著者 氏名(和/英/ヨミ) |
/ / |
第15著者 所属(和/英) |
(略称: )
(略称: ) |
第16著者 氏名(和/英/ヨミ) |
/ / |
第16著者 所属(和/英) |
(略称: )
(略称: ) |
第17著者 氏名(和/英/ヨミ) |
/ / |
第17著者 所属(和/英) |
(略称: )
(略称: ) |
第18著者 氏名(和/英/ヨミ) |
/ / |
第18著者 所属(和/英) |
(略称: )
(略称: ) |
第19著者 氏名(和/英/ヨミ) |
/ / |
第19著者 所属(和/英) |
(略称: )
(略称: ) |
第20著者 氏名(和/英/ヨミ) |
/ / |
第20著者 所属(和/英) |
(略称: )
(略称: ) |
講演者 |
第1著者 |
発表日時 |
2007-11-17 14:05:00 |
発表時間 |
25分 |
申込先研究会 |
CPM |
資料番号 |
CPM2007-124 |
巻番号(vol) |
vol.107 |
号番号(no) |
no.325 |
ページ範囲 |
pp.97-101 |
ページ数 |
5 |
発行日 |
2007-11-09 (CPM) |