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講演抄録/キーワード
講演名 2007-11-16 13:25
フッ化水素と有機溶媒の混合液を用いた積層メタルゲートのガルバニックコロージョン抑制
渡邊大祐青木秀充堀田沙織木村千春杉野 隆阪大R2007-47 ED2007-180 SDM2007-215 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2007-180 SDM2007-215
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文献情報 信学技報, vol. 107, no. 319, ED2007-180, pp. 7-11, 2007年11月.
資料番号 ED2007-180 
発行日 2007-11-09 (R, ED, SDM) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685    Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
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研究会情報
研究会 SDM R ED  
開催期間 2007-11-16 - 2007-11-16 
開催地(和) 中央電気倶楽部 
開催地(英)  
テーマ(和) 半導体表面・界面制御・評価と電子デバイスの信頼性 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 ED 
会議コード 2007-11-SDM-R-ED 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) フッ化水素と有機溶媒の混合液を用いた積層メタルゲートのガルバニックコロージョン抑制 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Galvanic Corrosion Suppression of High-k/Metal Gates 
サブタイトル(英)  
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第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 渡邊 大祐 / Daisuke Watanabe / ワタナベ ダイスケ
第1著者 所属(和/英) 大阪大学 (略称: 阪大)
Osaka University (略称: Osaka Univ)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 青木 秀充 / Hidemitsu Aoki / アオキ ヒデミツ
第2著者 所属(和/英) 大阪大学 (略称: 阪大)
Osaka University (略称: Osaka Univ)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 堀田 沙織 / Saori Hotta / ホッタ サオリ
第3著者 所属(和/英) 大阪大学 (略称: 阪大)
Osaka University (略称: Osaka Univ)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 木村 千春 / Chiharu Kimura / キムラ チハル
第4著者 所属(和/英) 大阪大学 (略称: 阪大)
Osaka University (略称: Osaka Univ)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 杉野 隆 / Takashi Sugino / スギノ タカシ
第5著者 所属(和/英) 大阪大学 (略称: 阪大)
Osaka University (略称: Osaka Univ)
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講演者 第1著者 
発表日時 2007-11-16 13:25:00 
発表時間 25分 
申込先研究会 ED 
資料番号 R2007-47, ED2007-180, SDM2007-215 
巻番号(vol) vol.107 
号番号(no) no.318(R), no.319(ED), no.320(SDM) 
ページ範囲 pp.7-11 
ページ数
発行日 2007-11-09 (R, ED, SDM) 


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