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講演抄録/キーワード
講演名 2007-10-04 16:55
機械的歪み印加によるSrTiO3MIMキャパシタ誘電率変調
黒木伸一郎小谷光司伊藤隆司東北大エレソ技報アーカイブへのリンク:SDM2007-179
抄録 (和) ペロブスカイト酸化物誘電体薄膜における歪印加効果について報告する。ペロブスカイト高誘電率薄膜において、不純物添加起因の歪みによる誘電特性変化が報告されている。本研究では、ペロブスカイト高誘電率薄膜の誘電特性の歪み依存性を調べるために、MOCVD成膜SrTiO3薄膜を用いたMIMキャパシタに機械的一軸性歪を印加・誘電特性を測定し、引張応力印加による誘電率増大を実験的に示した。またこの結果を微視的誘電体モデルに対応させ、歪印加によりイオン振動の減衰係数が低減していることを理論的に示した。 
(英) The effect of tensile strain on SrTiO3 high-k insulator was discussed. The tensile strain on SrTiO3 thin films increased dielectric constant, and as a frequency became higher, the increment of dielectric constant increased. The mechanism of the tensile strain-induced capacitance increase was also discussed. The tensile strain reduced a damping of titanium-oxygen oscillator in SrTiO3 film, and titanium-oxygen dipole moment was increased.
キーワード (和) ペロブスカイト高誘電率薄膜 / SrTiO3 / 引張り歪み / / / / /  
(英) Perovskite high-k dielectric film / SrTiO3 / Tensile strain / / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 107, no. 245, SDM2007-179, pp. 23-24, 2007年10月.
資料番号 SDM2007-179 
発行日 2007-09-27 (SDM) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
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研究会情報
研究会 SDM  
開催期間 2007-10-04 - 2007-10-05 
開催地(和) 東北大学 
開催地(英) Tohoku Univ. 
テーマ(和) プロセス科学と新プロセス技術 
テーマ(英) Process Science and Novel Process Technologies 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 SDM 
会議コード 2007-10-SDM 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 機械的歪み印加によるSrTiO3MIMキャパシタ誘電率変調 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Modulation of Dielectric Constant on Mechanically Strained SrTiO3 MIM Capacitor 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) ペロブスカイト高誘電率薄膜 / Perovskite high-k dielectric film  
キーワード(2)(和/英) SrTiO3 / SrTiO3  
キーワード(3)(和/英) 引張り歪み / Tensile strain  
キーワード(4)(和/英) /  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 黒木 伸一郎 / Shin-Ichiro Kuroki / クロキ シンイチロウ
第1著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 小谷 光司 / Koji Kotani / コタニ コウジ
第2著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 伊藤 隆司 / Takashi Ito / イトウ タカシ
第3著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
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講演者
発表日時 2007-10-04 16:55:00 
発表時間 25 
申込先研究会 SDM 
資料番号 IEICE-SDM2007-179 
巻番号(vol) IEICE-107 
号番号(no) no.245 
ページ範囲 pp.23-24 
ページ数 IEICE-2 
発行日 IEICE-SDM-2007-09-27 


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