講演抄録/キーワード |
講演名 |
2007-09-14 10:30
SEM中マイクロプラズマによる材料プロセス 大井秀宣・岡崎康朗・高橋那欣・○八田章光(高知工科大) R2007-29 |
抄録 |
(和) |
走査型電子顕微鏡の低真空モードを用いて、試料近傍にマイクロサイズのガスノズルから局所的なガス供給を行ない、マイクロプラズマを発生させる。反射電子像を観ながらマイクロプラズマによる材料加工を試みる。 |
(英) |
It has been demonstrated that microplasma was generated in SEM operated under low vacuum mode using micro-gas nozzle for local gas supply. We will try material processing with in-situ observation of SEM image. |
キーワード |
(和) |
マイクロプラズマ / 走査型電子顕微鏡 / プラズマプロセス / / / / / |
(英) |
Microplasma / Scanning Electron Microscope / Plasma Processing / / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 107, no. 213, R2007-29, pp. 1-4, 2007年9月. |
資料番号 |
R2007-29 |
発行日 |
2007-09-07 (R) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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R2007-29 |