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講演抄録/キーワード
講演名 2007-08-10 09:15
ひずみセンサ一体型ダイアフラム構造水素ガスセンサの作製
渡辺優太奥山澄雄原田知親松下浩一山形大エレソ技報アーカイブへのリンク:CPM2007-44
抄録 (和) SOI(silicon on insulator)基板上にPdを蒸着したダイアフラムをマイクロマシニングによって形成し、水素吸蔵によるPdの膨張をダイアフラム上に作製したピエゾ抵抗を用いたひずみセンサで検出する形の水素ガスセンサを作製している。素子はp型SOI基板を用い、支持基板層側にTMAH(tetra methyl ammonium hydroxide、水酸化テトラメチルアンモニウム)水溶液による異方性エッチングで底面が2mm×2mm、深さ350mのダイアフラムを作製した後、SOI層側にリンを熱拡散することでピエゾ抵抗を作製し、最後にダイアフラム側にPdをスパッタにより成膜することで作製した。この素子の作製方法、真空中で水素を導入したときの測定結果について報告する。 
(英) We are developing a Si-diaphragm structure hydrogen gas sensor which detects the expansion of Pd thin film by the integrated strain gauge. The 2mm x 2mm x 350um silicon diaphragm was made using the p-type Si substrate by the anisotropic etching by tetramethylammnonium hydroxide (TMAH). The piezoresistance was produced by thermal diffusion of the phosphorus. In this paper, we report manufacture method and measurement result in introducing the hydrogen of the element.
キーワード (和) 水素 / 水素ガスセンサ / シリコン / マイクロマシンニング / / / /  
(英) hydrogen / hydrogen gas sensor / silicon / maicromachining / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 107, no. 178, CPM2007-44, pp. 45-48, 2007年8月.
資料番号 CPM2007-44 
発行日 2007-08-02 (CPM) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)

研究会情報
研究会 CPM  
開催期間 2007-08-09 - 2007-08-10 
開催地(和) 山形大学 
開催地(英) Yamagata Univ. 
テーマ(和) 電子部品・材料,一般 
テーマ(英) Electronic Component Parts and Materials, etc. 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 CPM 
会議コード 2007-08-CPM 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) ひずみセンサ一体型ダイアフラム構造水素ガスセンサの作製 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Fabrication of the strain gauge integrated Si-diaphragm structure hydrogen gas sensor 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 水素 / hydrogen  
キーワード(2)(和/英) 水素ガスセンサ / hydrogen gas sensor  
キーワード(3)(和/英) シリコン / silicon  
キーワード(4)(和/英) マイクロマシンニング / maicromachining  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 渡辺 優太 / Yuta Watanabe / ワタナベ ユウタ
第1著者 所属(和/英) 山形大学 (略称: 山形大)
Yamagata University (略称: Yamagata Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 奥山 澄雄 / Sumio Okuyama / オクヤマ スミオ
第2著者 所属(和/英) 山形大学 (略称: 山形大)
Yamagata University (略称: Yamagata Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 原田 知親 / Tomochika Harada / ハラダ トモチカ
第3著者 所属(和/英) 山形大学 (略称: 山形大)
Yamagata University (略称: Yamagata Univ.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 松下 浩一 / Koichi Matsushita / マツシタ コウイチ
第4著者 所属(和/英) 山形大学 (略称: 山形大)
Yamagata University (略称: Yamagata Univ.)
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講演者
発表日時 2007-08-10 09:15:00 
発表時間 25 
申込先研究会 CPM 
資料番号 IEICE-CPM2007-44 
巻番号(vol) IEICE-107 
号番号(no) no.178 
ページ範囲 pp.45-48 
ページ数 IEICE-4 
発行日 IEICE-CPM-2007-08-02 


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