講演抄録/キーワード |
講演名 |
2007-08-09 16:35
スパッタ法により作製したMg-Ni薄膜の特性 ○愛甲隆史・長浜大作・平田 真・清水英彦・丸山武男・岩野春男・川上貴浩(新潟大) CPM2007-43 エレソ技報アーカイブへのリンク:CPM2007-43 |
抄録 |
(和) |
加熱基板上にMgとNiを積層させることによりMg-Ni合金薄膜の作製を試み,微細構造と光学的特性との関係性を検討した。その結果,どの積層数の膜においても基板温度150℃においてMg(002)面,Mg2Ni(003)面の回折ピークが観測され,Mgとの混晶膜となっていた。また,積層構造の変化に伴い,スパッタ粒子の堆積エネルギーによるNi粒子の拡散が生じると考えられる。そして,膜表面粗さRa,抵抗率においては,積層数を変化させたことによる変化は見られなかったが,基板温度200度ではどの膜もRaの値と抵抗率が大きく上昇し, Mgの再蒸発が生じていると考えられる。すべての膜において,水素化時の透過率は1%未満であり,調光ミラー特性は得られなかった。 |
(英) |
We formed making Mg-Ni alloy thin films on the heated substrate by alternate deposition of Mg film and Ni film, and examined relation of that microstructure and optical characteristic. As a result, the films had excellent c-axis orientation of articles is caused changing the laminated structure in the substrate temperature of 150℃. Surface roughness (Ra) and resistivity did not get the change by having changed the number Mg and Mg2Ni, and It was a mix crystal film with Mg. Moreover, it is thought that the diffusion of the Ni particle by the energy of sputtered p of lamination layer, but Ra and resistivity rose greatly in any film in the substrate temperature of 200℃, so the film is thought to cause re-evaporation of Mg. In all the films, the transmittance at the hydrogenation was less than 1%, and the characteristic of switching mirror was not obtained. |
キーワード |
(和) |
Mg-Ni / 積層 / 調光ミラー特性 / / / / / |
(英) |
Mg-Ni / Alternate Deposition / Characteristics of Switching mirror / / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 107, no. 178, CPM2007-43, pp. 39-44, 2007年8月. |
資料番号 |
CPM2007-43 |
発行日 |
2007-08-02 (CPM) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
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