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講演抄録/キーワード
講演名 2007-08-09 16:35
スパッタ法により作製したMg-Ni薄膜の特性
愛甲隆史長浜大作平田 真清水英彦丸山武男岩野春男川上貴浩新潟大エレソ技報アーカイブへのリンク:CPM2007-43
抄録 (和) 加熱基板上にMgとNiを積層させることによりMg-Ni合金薄膜の作製を試み,微細構造と光学的特性との関係性を検討した。その結果,どの積層数の膜においても基板温度150℃においてMg(002)面,Mg2Ni(003)面の回折ピークが観測され,Mgとの混晶膜となっていた。また,積層構造の変化に伴い,スパッタ粒子の堆積エネルギーによるNi粒子の拡散が生じると考えられる。そして,膜表面粗さRa,抵抗率においては,積層数を変化させたことによる変化は見られなかったが,基板温度200度ではどの膜もRaの値と抵抗率が大きく上昇し, Mgの再蒸発が生じていると考えられる。すべての膜において,水素化時の透過率は1%未満であり,調光ミラー特性は得られなかった。 
(英) We formed making Mg-Ni alloy thin films on the heated substrate by alternate deposition of Mg film and Ni film, and examined relation of that microstructure and optical characteristic. As a result, the films had excellent c-axis orientation of articles is caused changing the laminated structure in the substrate temperature of 150℃. Surface roughness (Ra) and resistivity did not get the change by having changed the number Mg and Mg2Ni, and It was a mix crystal film with Mg. Moreover, it is thought that the diffusion of the Ni particle by the energy of sputtered p of lamination layer, but Ra and resistivity rose greatly in any film in the substrate temperature of 200℃, so the film is thought to cause re-evaporation of Mg. In all the films, the transmittance at the hydrogenation was less than 1%, and the characteristic of switching mirror was not obtained.
キーワード (和) Mg-Ni / 積層 / 調光ミラー特性 / / / / /  
(英) Mg-Ni / Alternate Deposition / Characteristics of Switching mirror / / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 107, no. 178, CPM2007-43, pp. 39-44, 2007年8月.
資料番号 CPM2007-43 
発行日 2007-08-02 (CPM) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
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研究会情報
研究会 CPM  
開催期間 2007-08-09 - 2007-08-10 
開催地(和) 山形大学 
開催地(英) Yamagata Univ. 
テーマ(和) 電子部品・材料,一般 
テーマ(英) Electronic Component Parts and Materials, etc. 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 CPM 
会議コード 2007-08-CPM 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) スパッタ法により作製したMg-Ni薄膜の特性 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Characteristics of Mg-Ni thin films deposited by sputtering method 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) Mg-Ni / Mg-Ni  
キーワード(2)(和/英) 積層 / Alternate Deposition  
キーワード(3)(和/英) 調光ミラー特性 / Characteristics of Switching mirror  
キーワード(4)(和/英) /  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 愛甲 隆史 / Takashi Aikoh / アイコウ タカシ
第1著者 所属(和/英) 新潟大学 (略称: 新潟大)
Niigata University (略称: Niigata Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 長浜 大作 / Daisaku Nagahama / ナガハマ ダイサク
第2著者 所属(和/英) 新潟大学 (略称: 新潟大)
Niigata University (略称: Niigata Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 平田 真 / Makoto Hirata / ヒラタ マコト
第3著者 所属(和/英) 新潟大学 (略称: 新潟大)
Niigata University (略称: Niigata Univ.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 清水 英彦 / Hidehiko Shimizu / シミズ ヒデヒコ
第4著者 所属(和/英) 新潟大学 (略称: 新潟大)
Niigata University (略称: Niigata Univ.)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 丸山 武男 / Takeo Maruyama / マルヤマ タケオ
第5著者 所属(和/英) 新潟大学 (略称: 新潟大)
Niigata University (略称: Niigata Univ.)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 岩野 春男 / Haruo Iwano / イワノ ハルオ
第6著者 所属(和/英) 新潟大学 (略称: 新潟大)
Niigata University (略称: Niigata Univ.)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) 川上 貴浩 / Takahiro Kawakami / カワカミ タカヒロ
第7著者 所属(和/英) 新潟大学 (略称: 新潟大)
Niigata University (略称: Niigata Univ.)
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講演者
発表日時 2007-08-09 16:35:00 
発表時間 25 
申込先研究会 CPM 
資料番号 IEICE-CPM2007-43 
巻番号(vol) IEICE-107 
号番号(no) no.178 
ページ範囲 pp.39-44 
ページ数 IEICE-6 
発行日 IEICE-CPM-2007-08-02 


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