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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2007-08-09 14:30 ［招待講演］陽極酸化により作製したアルミニウムナノドットからのクーロン階段の室温観測 木村康男・庭野道夫（東北大）  CPM2007-39 エレソ技報アーカイブへのリンク：CPM2007-39 |
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| 抄録 | （和） | 適切な場所に室温動作するナノデバイスを構築するためにはボトムアッププロセスとトップダウンプロセスとを組み合わせた新しいプロセス技術の開発が不可欠である。本研究では、幅3 µmのアルミニウムマイクロワイヤを部分的に陽極酸化することにより、ソース－ドレイン電極の作製と同時にアルミニウムナノドットをその2つの電極の間に自己組織的に作製し、その電極間の電気的特性を評価した。その結果、クーロンエネルギーが2 eVにも及ぶ明瞭なクーロン階段が室温にて観測された。この非常に大きなクーロンエネルギーは陽極酸化によって作製することによって得られるデバイスの構造による。これらの結果は、ボトムアッププロセスとトップダウンプロセスとを組み合わせることにより、適切な場所に室温動作する単電子トランジスタ(SET)の作製が可能であることを示している。 |
| （英） | It is necessary to develop a hybrid technique of bottom-up and top-down processes for fabrication of room-temperature operating nanodevices at an appropriate position. In this study, an aluminum nanodot was self-organized between source and drain electrodes simultaneously with formation of the source and drain electrodes using the anodization process of an aluminum microelectrode of 3 µm in width. We observed a clear Coulomb staircase with a very large Coulomb energy of about 2 eV at room temperature. This very large Coulomb energy is attributed to the device structure, which depends strongly on the aluminum nanodot formation mechanism. Our results indicate that a single electron transistor (SET) operating at room temperature can be fabricated at an appropriate position using both bottom-up and top-down processes. | |
| キーワード | （和） | 単電子トランジスタ / 陽極酸化 / クーロンブロッケード / 室温動作 / / / / |
| （英） | Single electron transistor / Anodization / Coulomb blockade / Room-temperature operation / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 107, no. 178, CPM2007-39, pp. 15-19, 2007年8月. | |
| 資料番号 | CPM2007-39 | |
| 発行日 | 2007-08-02 (CPM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | CPM2007-39 エレソ技報アーカイブへのリンク：CPM2007-39 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
| 開催期間 | 2007-08-09 - 2007-08-10 |
| 開催地（和） | 山形大学 |
| 開催地（英） | Yamagata Univ. |
| テーマ（和） | 電子部品・材料，一般 |
| テーマ（英） | Electronic Component Parts and Materials, etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | CPM |
| 会議コード | 2007-08-CPM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 陽極酸化により作製したアルミニウムナノドットからのクーロン階段の室温観測 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Room-temperature observation of Coulomb staircases in aluminum nanodots formed by anodization |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 単電子トランジスタ / Single electron transistor |
| キーワード(2)（和/英） | 陽極酸化 / Anodization |
| キーワード(3)（和/英） | クーロンブロッケード / Coulomb blockade |
| キーワード(4)（和/英） | 室温動作 / Room-temperature operation |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 木村 康男 / Yasuo Kimura / キムラ ヤスオ |
| 第1著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 庭野 道夫 / Michio Niwano / ニワノ ミチオ |
| 第2著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
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| 講演者 | 第5著者 |
| 発表日時 | 2007-08-09 14:30:00 |
| 発表時間 | 35分 |
| 申込先研究会 | CPM |
| 資料番号 | CPM2007-39 |
| 巻番号（vol） | vol.107 |
| 号番号（no） | no.178 |
| ページ範囲 | pp.15-19 |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2007-08-02 (CPM) |
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