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講演抄録/キーワード
講演名 2007-08-03 14:20
グラフェンシート構造を有するナノニードルからの電子放出の安定化 ~ 炭素系カソード放射電流変動のモデル提案 ~
根尾陽一郎静岡大)・松本裕貴スタンレー電気)・三村秀典富田 誠静岡大)・南 就将慶大ED2007-138 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2007-138
抄録 (和) グラファイト基板を水素プラズマでスパッタリングすることでグラフェンシートの層状構造を有するナノサイズのチップを高密度で成長・形成可能である。これまでにグラファイトナノニードル(GRANN)を走査型電子顕微鏡(scanning electron beam microscope: SEM)の電子源として搭載しブライトネス測定を行った結果、1011 Asr-1 m-2台の非常に高い輝度を有する事を明らかにした。またGRANNを加熱する事により、チップノイズを大幅に減少可能で、10-3 Pa程度の圧力下において安定したSEMイメージを取得出来る事を示した。本報告では、GRANNの電流変動の温度特性・ガス種依存性について詳細に解析したので報告する。この結果、物理吸着起因による電流変動のモデル化はポアソン布でモデル化可能である事を見出した。この手法により各ガス種のグラファイトへの物理吸着エネルギーの測定が可能であり文献値と非常によく一致する結果となった。 
(英) Abstract A stable field emission under a high residual pressure (10-3 Pa) was obtained by the thermal field oeration of a nanoneedle cathode with a two dimensional graphene sheet structure, A high brightness electron emission of order of 1011 Asr-1 m-2, as well as stable emission, was achieved. The performance of the stabilized cathode was demonstrated by the construction of a compact FE scanning electron microscope system, and clear FE-SEM images were obtained at a residual pressure above 10-3 Pa. The emission current fluctuation as a function of cathode temperature was discussed based on the Poisson distribution.
キーワード (和) グラファイト / 走査型電子顕微鏡(SEM) / ブライトネス / ポアソン分布 / / / /  
(英) graphite / scanning electron beam microscope / brightness / Poisson distribution / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 107, no. 177, ED2007-138, pp. 11-14, 2007年8月.
資料番号 ED2007-138 
発行日 2007-07-27 (ED) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
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技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード ED2007-138 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2007-138

研究会情報
研究会 ED  
開催期間 2007-08-03 - 2007-08-03 
開催地(和) 大阪大学 吹田キャンパス 銀杏会館 
開催地(英)  
テーマ(和) 電子管と真空ナノエレクトロニクス及びその評価技術 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 ED 
会議コード 2007-08-ED 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) グラフェンシート構造を有するナノニードルからの電子放出の安定化 
サブタイトル(和) 炭素系カソード放射電流変動のモデル提案 
タイトル(英) Stabilization of Field emission from nanoneedles with two dimensional graphene sheet structure 
サブタイトル(英)
キーワード(1)(和/英) グラファイト / graphite  
キーワード(2)(和/英) 走査型電子顕微鏡(SEM) / scanning electron beam microscope  
キーワード(3)(和/英) ブライトネス / brightness  
キーワード(4)(和/英) ポアソン分布 / Poisson distribution  
キーワード(5)(和/英) /  
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キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 根尾 陽一郎 / Yoichiro Neo / ネオ ヨウイチロウ
第1著者 所属(和/英) 静岡大学電子工学研究所 (略称: 静岡大)
Research Institute of Electronics, Shizuoka University (略称: Shizuoka Univ)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 松本 裕貴 / Takahiro Matsumoto / マツモト タカヒロ
第2著者 所属(和/英) スタンレー電気株式会社 (略称: スタンレー電気)
Stanley Electric Corporation (略称: Stanley Electric Co.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 三村 秀典 / Hidenori Mimura / ミムラ ヒデノリ
第3著者 所属(和/英) 静岡大学電子工学研究所 (略称: 静岡大)
Research Institute of Electronics, Shizuoka University (略称: Shizuoka Univ)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 富田 誠 / Makoto Tomita / トミタ マコト
第4著者 所属(和/英) 静岡大学理学部 (略称: 静岡大)
Shizuoka University (略称: Shizuoka Univ)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 南 就将 / Nariyuki Minami / ミナミ モトナリ
第5著者 所属(和/英) 慶応義塾大学医学部 (略称: 慶大)
School of Medicine, Keio University (略称: Keio Univ.)
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講演者
発表日時 2007-08-03 14:20:00 
発表時間 25 
申込先研究会 ED 
資料番号 IEICE-ED2007-138 
巻番号(vol) IEICE-107 
号番号(no) no.177 
ページ範囲 pp.11-14 
ページ数 IEICE-4 
発行日 IEICE-ED-2007-07-27 


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